一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112629720A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011378695.9

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开的一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法,涉及一种采用MEMS加工具有低损耗光路的光纤压力传感器及其制作方法,属于光纤压力传感器技术领域。低损耗光纤压力传感器是基于膜片结构的光纤EFPI式压力传感器,包括压力敏感结构、圆柱形中空管和传输光纤,其中压力敏感结构上制作有波导结构。本发明采用基于波导结构的光信号传输方法,能够有效解决基于MEMS工艺技术的光纤EFPI压力传感器敏感结构中基底对回光能量的损耗问题,显著提高光信号的可解调性;本发明采用的玻璃棒波导结构易于刻制加工,与玻璃晶圆片的装配不但可保证压力敏感结构密封性,而且易于加工实现,同时也能够提高光纤压力传感器的耐温能力。

    一种热膜式剪应力传感器的热风洞校准方法

    公开(公告)号:CN108195510A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810064100.9

    申请日:2018-01-23

    Inventor: 陈爽 熊昌友 赵俭

    Abstract: 本发明涉及一种热膜式剪应力传感器的热风洞校准方法,属于剪应力传感器测试与校准技术领域。该方法是将热风洞作为热膜式剪应力传感器的校准媒介,检测出传感器输出电压变化,换算成剪应力。本发明提出了一种在气流冲刷条件下,实现热膜式剪应力传感器的标定和校准方法,该方法能够在不同温度和不同马赫数下对热膜式剪应力传感器进行高精度的校准。通过该方法,提高了热膜式剪应力传感器的校准精度,并因为较好的模拟了发动机的工作环境,拓展了热膜式剪应力传感器在发动机等领域的应用范围。

    一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN107014520A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710353372.6

    申请日:2017-05-18

    CPC classification number: G01K11/32

    Abstract: 本发明涉及一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法,可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量,属于光纤传感测量技术领域。该传感器包括作为温度测量敏感元件的光纤光栅和作为封装结构的非金属毛细管,利用焊接方法实现光纤和毛细管的一体化封装,减小了传感器结构尺寸,降低了封装结构与光纤之间热不匹配性的影响,避免了胶粘剂引起的容易老化和蠕变、以及高温下软化甚至分解的问题,提高了传感器的工作温度范围,以及在高温等恶劣环境下工作的长期稳定性和可靠性,可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量。

    光纤光栅传感器解调装置

    公开(公告)号:CN201589623U

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN200920351995.0

    申请日:2009-12-31

    Abstract: 本实用新型涉及一种光纤光栅传感器解调装置,其包括光学盒(7)、接收器(12)以及连接二者的电路系统(8)。其中,所述光学盒(7)内沿着光束入射放线依次包括光纤接口(1)、准直透镜(2)、第一透射光栅(3)、第二透射光栅(4)、非球面镜(5)和光电探测器(6),且所述非球面镜(5)为会聚镜,所述光电探测器(6)通过电路系统(8)与接收器(12)相连。本实用新型光纤光栅传感器解调装置通过采用双透射光栅,增大了衍射光束的衍射角,提高了解调装置的波长分辨率,同时由于没有移动部件、动态响应快,可应用于高频动态测量。

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