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公开(公告)号：CN209412308U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201920073200.8
申请日：2019-01-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括依次连接的动力输入轴、万向节、支撑架及转盘，所述动力输入轴用于提供动力，所述动力输入轴和万向节驱动转盘转动，待镀膜工件在所述转盘中，随所述转盘的转动而转动，以实现工件的镀膜。本实用新型中的真空镀膜装置，能够满足轴承滚珠等球形或类球形工件的真空镀膜需求，工件的整个球面可以均匀镀膜。镀膜后工件表面的表面圆度、粗糙度及膜层厚度能得到保证，解决了镀膜不均匀及效果差的问题。同时可用于不同直径的球形工件的真空镀膜，装置体积小，结构简单，实用性、通用性强，镀膜工件数量多，镀膜品质好，成品率高，可以在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个镀膜装置，提高效率。
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