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公开(公告)号:CN203135202U
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201220652912.3
申请日:2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种窄线宽准分子激光器,由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔及输出耦合镜组成。准分子激光先经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄,输出的窄线宽激光经过谐振腔外垂直光路放置的紫外标准具,对其光谱进一步压窄。本实用新型涉及的窄线宽准分子激光器结构紧凑,装调简单,腔内损耗小增益高,因此可以同时获得窄线宽光谱和较高输出能量指标。
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公开(公告)号:CN203133407U
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201220740971.6
申请日:2012-12-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/62
Abstract: 一种棱镜扩束器装调仪,棱镜扩束器装调仪由光源、载物台、精密转台、支柱、二维行程平台、第一直角曲杆、指示光源、第二直角曲杆、滤光片、光电探测器和电脑组成。采用本实用新型棱镜扩束器装调仪进行棱镜扩束器的装调,可精确地标定棱镜的入射角度、保证棱镜扩束器总的扩束倍率和棱镜的平行度。本实用新型可精确的装调棱镜扩束器。
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公开(公告)号:CN201294327Y
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200820155749.3
申请日:2008-11-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/042
Abstract: 一种用于高功率光纤激光器供光纤制冷的筒形光纤整体冷却装置,其特点是:该装置由多通道光纤制冷内筒和多通道光纤制冷外筒组成,所述的多通道光纤制冷内筒的外表面设有内筒螺旋线半圆形凹槽,体内具有多个内筒制冷水通道,该内筒制冷水通道的两端分别为内筒进水口和内筒出水口,所述的多通道光纤外筒的筒体有多个外筒制冷水通道,两端分别有外筒进水口和外筒出水口,该多通道光纤外筒的内壁设有外筒螺旋线半圆形凹槽且与所述的内筒螺旋线半圆形凹槽相对应,供所述的光纤密合固定,以使所述的光纤与所述的多通道光纤制冷内筒和多通道光纤制冷外筒形成良好的热传导关系。本实用新型可使高功率光纤激光器工作在正常温度范围内。
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公开(公告)号:CN201165564Y
公开(公告)日:2008-12-17
申请号:CN200820055759.X
申请日:2008-02-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置,其特点是由激光源、分光器、光束整形系统、多晶硅薄膜基片、光学聚焦系统、受激拉曼光谱接收系统、拉曼数据分析并反馈系统和移动工作台组成,本实用新型可以为多晶硅薄膜的制备的同时进行在线检测,为多晶硅薄膜的制备提供最佳的能量密度,所述的检测为非破坏性测试,具有测试成本低、检测快捷等优点;更重要的是,本装置可以精确地检测多晶硅薄膜的粒度,提高优良率并增加产能。适用于产业化多晶硅薄膜的制备和实时检测,可精确检测晶粒大小并对激光能量密度实时监控。
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公开(公告)号:CN202995253U
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201220629950.7
申请日:2012-11-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种Y型波导激光直写装置,由刻写光源,第一柱透镜,第二柱透镜,导轨、载物台和光学玻璃组成。激光经柱透镜组调制和干涉可实现成丝分叉现象,由于成丝对光学材料折射率的非线性光学调制作用而产生的波导效应,可以实现Y型波导的激光直写。本实用新型利用激光和简单的柱透镜组可实现在光学玻璃体内直写Y型光学波导。
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公开(公告)号:CN201323376Y
公开(公告)日:2009-10-07
申请号:CN200820155748.9
申请日:2008-11-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种内腔倍频蓝光光纤激光器,由泵浦源、光纤系统和倍频系统组成,所述的光纤系统是由光纤光栅两端熔接的传能光纤和掺钕双包层保偏光纤构成,所述的泵浦源接所述的传能光纤,所述的倍频系统是依次由短焦距准直透镜、输出耦合镜、倍频晶体和端镜构成。本实用新型的内腔倍频蓝光光纤激光器融合了双包层光纤结构紧凑、输出功率高、电光转换效率高、光束质量好的优点,同时克服了光纤激光器腔外倍频转换效率低的不足,能够获得高能量、高质量的蓝光激光输出。
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公开(公告)号:CN203299433U
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201320158063.0
申请日:2013-04-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种大尺寸光栅调整装置,由光栅安装框、光栅定位顶丝、光栅俯仰调整平台、安装底座、位移微调旋钮、位移微调旋钮定位顶丝、顶盘、拉簧、拉簧支杆、齿轮组、传动丝杆、轴承、导轨、键、角度微调旋钮、主动齿轮定位块和水平仪组成。本实用新型具有结构简单、操作方便和调整精度高的优点,可应用于需要对大尺寸光栅进行精密调谐的光学系统中。
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公开(公告)号:CN203203714U
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201220628711.X
申请日:2012-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 一种绝对波长校准仪,由校准光源、待测光源、第一光纤、第二光纤、光纤耦合器、第三光纤、小孔、抛物面高反镜、光栅、成像透镜、线性光电探测器和电脑组成。本实用新型采用光纤耦合器将校准光源和待测光源输入到测量系统,有效地解决了空间对准和光路同轴的问题,并降低了波长校准仪的空间尺寸。根据待测波长与校准光源在线性光电探测器上成像的距离、成像透镜的焦距和光栅常数可得到待测光源的绝对波长。本实用新型可精确、方便地校准波长计或光谱仪的波长。
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公开(公告)号:CN201294326Y
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200820155746.X
申请日:2008-11-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/042
Abstract: 一种用于高功率光纤激光器的光纤整体冷却的循环装置,其特点是于:该装置由光纤固定导热下盘、光纤固定导热上盘、冷却盘和水冷机构成,所述的冷却盘是一具有进水接口和出水接口的通冷却水的壳体,所述的光纤固定导热下盘密切地固定在所述的冷却盘上,利用固定螺钉拧入所述的光纤固定导热上盘和光纤固定导热下盘的固定孔中形成可拆卸的连接关系,所述的光纤固定导热上盘和光纤固定导热下盘之间用于放置高功率光纤激光器的双包层光纤,所述冷却盘的进水接口和出水接口再分别通过进水导管和出水导管与所述的水冷机联通,形成冷却水的循环通道。本实用新型可使高功率光纤激光器内工作物质——双包层光纤实现恒温制冷,获得稳定的、高功率的激光输出。
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