一种柔性材料辅助聚合物微结构超声波键合封装方法

    公开(公告)号:CN103640211A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310717194.2

    申请日:2013-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种柔性材料辅助聚合物微结构超声波键合封装方法,属于聚合物MEMS制造领域,用于聚合物微结构的密封性键合封装。其特征是该技术将器件的连接和微结构的密封分开处理,采用宏观尺度的导能筋结构和超声波方法实现器件的快速、高强度、永久性连接,利用柔性辅助材料实现微结构的密封性封装,充分利用超声波熔融连接强度高、速度快的优点,而规避了熔融液流延难以控制的缺陷。本发明的效果和益处:能够解决传统的超声波封装方法由于引入导能筋结构造成的器件制作工序复杂和制作精度要求高的难题。封装过程中导能筋离微结构较远,所以不会发生微结构严重变形或堵塞问题。而且由于柔性膜作为微结构的一个侧壁被引入微结构中,所以可以根据器件的功能,在柔性膜上提前喷涂所需要的活性成分、催化剂或靶物质,从而丰富了微器件的功能设计。

    基于刺槐豆胶/钛酸铋钠的QCM湿敏传感器及其制备方法、应用和呼吸监测系统

    公开(公告)号:CN118169233B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202410334337.X

    申请日:2024-03-22

    Abstract: 本申请公开了一种基于刺槐豆胶/钛酸铋钠的QCM湿敏传感器及其制备方法、应用和呼吸监测系统,属于QCM传感器技术领域。该QCM湿敏传感器包括湿敏涂层和基板,湿敏涂层为LBG/NBT复合薄膜,可以缓解薄膜高湿溶胀,机械稳定性好,重复性好,响应/恢复时间短,频移响应高,灵敏度高,湿度滞后小,长期稳定性好,选择性优异,能够快速准确地感知人体皮肤表面的湿度变化,以及快速准确地感知中低度湿度变化。由QCM湿敏传感器、QCM测试仪、分析模块、显示模块以及终端构成的呼吸监测系统,可对阻塞性睡眠呼吸状态进行监测和识别。

    一种二氧化钛量子点修饰二氧化锡的氢敏材料和氢气传感器及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116735675B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202310240375.4

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 本发明涉及半导体气体传感器技术领域,具体涉及一种二氧化钛量子点修饰二氧化锡的氢敏材料和氢气传感器及其制备方法和应用。基于煅烧法和改良溶剂热反应法相结合的方式合成由TiO2量子点修饰的SnO2纳米片复合材料,SnO2纳米片与TiO2量子点之间具有的n‑n同质结效应,改良溶剂热反应法所制备的二氧化钛量子点纯度高、均匀性好、合成温度低、反应条件易于控制、制备工艺相对简单、无需特殊贵重仪器,并且基于该二氧化钛量子点的TiO2QDs‑SnO2氢气传感器具有宽检测范围、超快响应/恢复时间、优秀的重复响应特性和选择性,可以实现对变压器油溶解氢气的快速有效检测。TiO2量子点对TiO2QDs‑SnO2复合材料传感性能的显著提升作用。

    一种基于摩擦纳米发电机的硅胶基柔性触觉感知传感器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN116399483B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202310285713.6

    申请日:2023-03-22

    Abstract: 本发明属于摩擦纳米发电机与传感器技术领域,具体涉及一种基于摩擦纳米发电机的硅胶基柔性触觉感知传感器及其制备方法与应用。由硅胶/聚乙烯醇层、硅胶/石墨相氮化碳层和MXene棉纺电极组成,以硅胶/聚乙烯醇层为摩擦发电层,以硅胶/石墨相氮化碳层作为中间层,以MXene棉纺电极作为底层电极。本发明将摩擦纳米发电机应用于触觉感知传感器,所述硅胶基柔性触觉感知传感器不仅可以用于智能家居的远程控制开关,还可以将该触觉感知传感器与卷积门控循环单元机器学习算法结合实现机器人机械手对不同物体的实时识别,在智能家居、机器人触觉感知、智能辅助分拣系统、人机交互等方面具有重要的应用潜力。

    一种针对人体运动/语音检测的柔性压力传感器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN116295952B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202211095286.7

    申请日:2022-09-05

    Abstract: 本发明属于柔性应变传感器技术领域,具体涉及一种针对人体运动/语音检测的柔性压力传感器及其制备方法与应用。由MoS2/HEC/PU海绵、电极和PI胶带封装层组成,以聚氨酯海绵为弹性基底,以MoS2/HEC涂层为导电感知层,所述电极由导电银浆固定于MoS2/HEC/PU海绵的上下两面,用PI胶带粘贴于电极两侧使电极更加固定,并与外界绝缘,所述电极为柔性导电镀银胶带。该柔性压力传感器对宽范围压力检测具有高灵敏度、快速响应优势,不仅可用于人体动作信号监测,而且将该柔性压力传感器与机器学习算法结合可实现通过喉部运动实现语音的识别,在失声者辅助发声,语音辅助输出系统、人体健康评价、人机交互、电子皮肤等方面具有重要的应用价值。

    基于刺槐豆胶/钛酸铋钠的QCM湿敏传感器及其制备方法、应用和呼吸监测系统

    公开(公告)号:CN118169233A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410334337.X

    申请日:2024-03-22

    Abstract: 本申请公开了一种基于刺槐豆胶/钛酸铋钠的QCM湿敏传感器及其制备方法、应用和呼吸监测系统,属于QCM传感器技术领域。该QCM湿敏传感器包括湿敏涂层和基板,湿敏涂层为LBG/NBT复合薄膜,可以缓解薄膜高湿溶胀,机械稳定性好,重复性好,响应/恢复时间短,频移响应高,灵敏度高,湿度滞后小,长期稳定性好,选择性优异,能够快速准确地感知人体皮肤表面的湿度变化,以及快速准确地感知中低度湿度变化。由QCM湿敏传感器、QCM测试仪、分析模块、显示模块以及终端构成的呼吸监测系统,可对阻塞性睡眠呼吸状态进行监测和识别。

    一种基于二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜的湿度传感器

    公开(公告)号:CN105527325B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN201610035490.8

    申请日:2016-01-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜的湿度传感器,包括湿度传感元件、电容‑电压转换电路、STM32F103微处理器、SI4432无线通讯模块、声光报警器。湿度传感元件采用二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜作为湿敏传感薄膜,沉积在具有回形叉指电极的聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上。通过测量二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜湿度传感元件的电容变化实现对环境湿度的检测,具有数据采集、存储、显示以及声光报警功能,将监测数据传送给上位机及无线远程通讯,并根据设定值做出警报,可实现有效的实时监控和管理。该传感器具有高灵敏度、响应快、稳定可靠的优点,适用于物联网环境湿度实时监测。

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