Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN107340687A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710220902.X
申请日：2017-04-06
Applicant: 东友精细化工有限公司
Inventor： 崔汉永 , 梁敦植 , 金相泰 , 成始震
IPC: G03F7/11
CPC classification number: G03F7/11
Abstract: 本发明涉及硬掩模用组合物，更详细而言，所述硬掩模用组合物通过包含分子内含有两个以上叔醇基的化合物和溶剂，能够形成耐热性优异的下层膜(硬掩模)。
