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公开(公告)号：CN109245602B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201811188178.8
申请日：2018-10-12
Applicant: 东南大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明公开了一种低挤压膜阻尼微谐振器，具有均匀穿孔比0.2的振子、弹性支撑梁、固定支撑和基底。在振子上大量穿通孔，这些通孔均匀对称分布。这些通孔能将挤压膜间隙内的气体释放出来，大大降低了挤压膜内外的压力差，从而大大降低挤压膜阻尼，显著提高了品质因数。同时也减小了振子质量，改变了器件动态性能。在很多场合下，这是不能接受的。本发明提出的穿孔比0.2的振子，挤压膜阻尼降低超过2/3，但其质量仅降低4%。
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公开(公告)号：CN102147393A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110007284.3
申请日：2011-01-14
Applicant: 东南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本发明涉及一种高粘度液体中气泡含量的低压声学检测装置及方法。该装置包括真空抽气装置，与真空抽气装置连接的减压室（4），与减压室（4）连接的声传感器(5)、信号采集装置(6)及信号处理及分析装置（7）；真空抽气装置用于抽取减压室（4）内的空气，减压室（4）内盛放有待测的含有气泡(9)的高粘度液体（8），信号采集装置(6)采集声传感器(5)接收到的气泡破裂时发出的声信号，并将该声信号传送给信号处理分析装置（7），根据处理后的声信号可以分析出高粘度液体（8）中的气泡的含量。该装置及方法能快速完成检测。
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公开(公告)号：CN101402444A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810235049.X
申请日：2008-11-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公布了一种模态激励两端固定微梁及其模态形状电极的宽度确定方法，属微机电系统MEMS领域。所述模态激励两端固定微梁，包括弹性微梁、两端固定支承模块、模态形状电极。所述模态形状电极的宽度确定方法包括：确定两端固定微梁的尺寸，通过两端固定支承模块在弹性微梁和驱动电极间加电压，采用模态函数曲线作为驱动电极的基本形状，得到模态形状电极宽度。本发明结构简单，模态阶数可以按需求选择，不会引起模态截断误差，测试精度高。
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公开(公告)号：CN101402443A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810235048.5
申请日：2008-11-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公布了一种模态激励悬臂微梁及其模态形状电极的宽度确定方法，属微机电系统MEMS领域。所述模态激励悬臂微梁，包括弹性微梁、悬臂支承模块、模态形状电极。所述模态形状电极的宽度确定方法包括：确定悬臂微梁的尺寸，通过悬臂支承模块在弹性微梁和驱动电极间加电压，采用模态函数曲线作为驱动电极的基本形状，得到模态形状电极宽度。本发明结构简单，模态阶数可以按需求选择，不会引起模态截断误差，测试精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN201775989U
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201020145315.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 江苏天明机械集团有限公司 , 东南大学
IPC: B01D19/00
Abstract: 高粘度液体脱泡装置涉及一种高粘度液体脱泡装置及其脱泡方法，该装置包括圆罐体(2)、锥形搅拌槽(5)、薄膜脱泡装置；其中，锥形搅拌槽(5)与圆罐体(2)相连形成真空组合脱泡装置的外壳，薄膜脱泡装置位于该外壳内；罐体部分的圆罐体(2)侧面的上部圆角过渡处设有进料口(1)和抽真空口(8)，旋转轴(4)设在真空组合脱泡装置的外壳中的轴线上，在旋转轴(4)上从上到下顺序设有双层对置伞状薄板(3)、脱泡伞(10)、双锥形螺带(6)，脱泡伞支撑杆(9)的一端连接脱泡伞(10)，另一端连接圆罐体(2)的内侧；锥形搅拌槽(5)的下端是出料口(7)。本实用新型提供的装置，能在同一真空条件下完成了四次脱泡，能提高脱泡效率。
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公开(公告)号：CN201069862Y
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200720037415.1
申请日：2007-05-15
Applicant: 东南大学
Inventor： 李普
Abstract: 具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器属于硅微机械滤波器制造技术领域。该微机械滤波器包括耦合梁、梳状振子、折叠梁。通过设定耦合梁与折叠梁在振动方向的具有相同的宽度，并且在梳状振子上的开设多个鲁棒补偿孔，让一个梳状振子外边沿的周长与该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的周长之和，同折叠梁在振动方向上的宽度的乘积，等于一个梳状振子外边沿所包围的面积减去该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的面积所得之差的六倍，把加工工艺误差对固有频率的影响降为二阶小，工艺误差不会明显改变固有频率，进而保证了滤波器的通带位置与通带宽度的稳定，使该机械滤波器具有对硅微加工工艺误差不敏感的特性。
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公开(公告)号：CN201993340U
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201120010463.8
申请日：2011-01-14
Applicant: 东南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本实用新型涉及一种高粘度液体中气泡含量的低压声学检测装置。该装置包括真空抽气装置，与真空抽气装置连接的减压室（4），与减压室（4）连接的声传感器(5)、信号采集装置(6)及信号处理及分析装置（7）；真空抽气装置用于抽取减压室（4）内的空气，减压室（4）内盛放有待测的含有气泡(9)的高粘度液体（8），信号采集装置(6)采集声传感器(5)接收到的气泡破裂时发出的声信号，并将该声信号传送给信号处理分析装置（7），根据处理后的声信号可以分析出高粘度液体（8）中的气泡的含量。该装置及方法能快速完成检测。
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公开(公告)号：CN203675064U
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201420001856.6
申请日：2014-01-02
Applicant: 东南大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 本实用新型公开了一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的低热弹性阻尼结构、驱动电极和感应电极，以及由低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板，低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所在的轴线旋转，驱动电极和感应电极对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的矩形截面的长边垂直于基底。本实用新型中扭转支撑梁横截面的长边保持垂直于基底平面，此时产生的热弹性阻尼是小于长边水平放置，尤其是高频时，热弹性阻尼明显下降。
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公开(公告)号：CN203675063U
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201420000914.3
申请日：2014-01-02
Applicant: 东南大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 本实用新型公布了一种具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的第一驱动电极、第二驱动电极、感应电极、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，以及由第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁共同支撑的扭转平板。扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所构成的扭转轴线旋转，第一驱动电极和第二驱动电极设置在扭转轴线的同一侧，感应电极设置在扭转轴线的另一侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的横向截面积相等。本实用新型的微机电谐振器件中，驱动电极能产生纯扭转力矩，纯扭转力矩引起纯扭转变形，纯扭转变形不产生热弹性阻尼。
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