公开(公告)号：CN111656277A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201980010595.X

申请日：2019-01-15

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 东后行伦 ,  谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明的课题为得到高灵敏度、因颜料所致的显影残渣的产生得以抑制、耐热性及遮光性优异的固化膜及形成该固化膜的负型感光性树脂组合物，本发明的主旨为得到负型感光性树脂组合物及使用该负型感光性树脂组合物，所述负型感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(Da)黑色颜料，其中，(A)碱溶性树脂包含选自(A1-1)聚酰亚胺、(A1-2)聚酰亚胺前体、(A1-3)聚苯并噁唑及(A1-4)聚苯并噁唑前体中的1种以上，(C)光聚合引发剂至少包含(C1)肟酯系光聚合引发剂及(C2)α-羟基酮系光聚合引发剂，前述(C1)肟酯系光聚合引发剂在前述(C)光聚合引发剂中所占的含有比率为51～95质量％，在负型感光性树脂组合物的全部固体成分中，前述(Da)黑色颜料的含有比率为5～50质量％。

公开(公告)号：CN110095941A

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201910328781.X

申请日：2012-12-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚 ,  诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明提供了一种感光性树脂组合物，是显示正型或负型感光性、能够作为离子注入工序中的掩模使用的感光性树脂组合物，作为树脂含有(A)聚硅氧烷。本发明的感光性树脂组合物具有高耐热性、能够控制图案形状，并且具有优异的离子注入掩模性能，适合用于低成本的高温离子注入工艺。

公开(公告)号：CN108027562B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201680055814.2

申请日：2016-09-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 龟本聪 ,  谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  C08G73/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038

CPC classification number: G03F7/0387 ,  C08G69/32 ,  C08G73/1039 ,  C08G73/1053 ,  C08G73/1071 ,  C08G73/14 ,  C08G73/22 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  C09K19/04 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/105 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/40 ,  H01L27/3258

Abstract: 本发明提供耐热性优异且可形成正锥形的固化膜的负型着色感光性树脂组合物。该负型着色感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物及(D)着色剂，上述(A)碱溶性树脂含有(A‑1)聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物，上述(A‑1)树脂在主链骨架中具有三氟甲基。

公开(公告)号：CN104428713B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201380036812.5

申请日：2013-06-06

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚 ,  舛田伊知郎 ,  福崎雄介

IPC: G03F7/038 ,  C08F290/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0388 ,  C08F290/126 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0755 ,  G06F2203/04103 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明的目的是提供负型感光性树脂组合物，其不损害高硬度、高透明、高耐热和高耐药品性这样的特性、保存稳定性极其优异、可进行碱显影。本发明提供感光性树脂组合物，其包含在共聚物具有的一部分酸基上加成了含有环氧基的不饱和化合物(C)的含有不饱和基的树脂(D)，所述共聚物是使(甲基)丙烯酸酯(A)、与含有不饱和基和酸的化合物(B)共聚了的共聚物、具有特定结构的(甲基)丙烯酸系化合物(E)、具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺和异氰酸酯基中的取代基的硅烷化合物(G)、和光聚合引发剂(F)。

公开(公告)号：CN109328322A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201780039637.3

申请日：2017-06-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 松木真一 ,  谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供具有高的颜料分散性稳定性、并且能够减少显影时的未曝光部的残渣的负型感光性树脂组合物。本发明为负型感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)具有大于0的胺值的分散剂、(C)具有酰胺结构的苯并呋喃酮系有机颜料、(D)自由基聚合性化合物、及(E)光聚合引发剂，其中，上述(A)碱溶性树脂包含选自由(A1)聚酰亚胺、(A2)聚酰亚胺前体、(A3)聚苯并噁唑及(A4)聚苯并噁唑前体组成的组中的一种以上，并且，上述(B)具有大于0的胺值的分散剂包含：(B1)包含通式(2)表示的重复单元及通式(3)表示的重复单元的分散剂；和(B2)作为胺值为15～60mgKOH/g的丙烯酸嵌段共聚物的分散剂及/或(B3)具有氨基甲酸酯键的分散剂。(通式(2)中，R1表示亚烷基。R2及R3可以相同也可以不同，各自表示氢、烷基或羟基。x表示0～20的整数。其中，x为0时，R2、R3中的至少任一者为烷基。m表示1～100的整数。通式(3)中，n表示1～100的整数。)

公开(公告)号：CN108604062A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009369.0

申请日：2017-03-15

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  崎井大辅 ,  龟本聪

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物，其能够得到高敏感度且低锥度的图案形状，并能够得到耐热性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂，上述(A)碱溶性树脂含有选自(A-1)聚酰亚胺、(A-2)聚苯并噁唑、(A-3)聚酰亚胺前体、(A-4)聚苯并噁唑前体、(A-5)聚硅氧烷及(A-6)Cardo系树脂中的一种以上的树脂，上述(B)自由基聚合性化合物在51～99质量％的范围内含有(B-1)在分子内具有5个烯键式不饱和键合基团的化合物。

公开(公告)号：CN104487516B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201380037773.0

申请日：2013-07-16

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  谷垣勇刚

IPC: C08L83/04 ,  C09D183/04

CPC classification number: C09D183/04 ,  C08G77/80

Abstract: 本发明的课题是提供图案固化被膜的密合性印刷图案的转印性优异的适合于墨液用的聚硅氧烷组合物、由该墨液组合物形成的固化被膜以及电子器件或光学器件。一种适合于墨液的硅氧烷组合物，其特征在于，包含：(A)通过使包含选自通式(1)～(3)中的1种以上硅烷化合物的硅烷化合物水解和缩合而得的聚硅氧烷，和(b)溶剂。R02‑nR1nSi(OR9)2(1)(R0表示氢、烷基、链烯基、苯基或它们的取代体。R1表示多环式芳香族基或其取代体。R9表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。n为1或2。在n为2的情况下，多个R1可以相同也可以不同。)R2Si(OR10)3(2)(R2表示多环式芳香族基或其取代体。R10表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。)(R11O)mR43‑mSi‑R3‑Si(OR12)lR53‑l(3)(R3表示2价的多环式芳香族基或其取代体。R4和R5表示氢、烷基、链烯基、芳基或它们的取代体，分别可以相同也可以不同。R11和R12表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，分别可以相同也可以不同。m和l各自独立地为1～3的整数。)。

公开(公告)号：CN102667625B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080058514.2

申请日：2010-12-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  内田圭一 ,  谷垣勇刚 ,  诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  C08G77/04 ,  C08G77/14 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023

CPC classification number: C08G77/14 ,  C08G77/70 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物，可以提供具有高耐热性、高透明性的特性，并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外，可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。