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公开(公告)号：CN213498870U
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202022156505.0
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型属于气体输送技术领域，公开了一种钢瓶接头防呆装置，包括：扳手，扳手设置有安装孔，钢瓶接头能够固定设置在安装孔中；驱动装置，驱动装置与扳手固定连接，驱动装置上设置有警示标签；防拆挡板，固定设置于驱动装置的输出端，防拆挡板能够由驱动装置驱动朝向扳手移动，以遮挡钢瓶接头，防拆挡板设有观察孔，当防拆挡板遮挡钢瓶接头时，观察孔正对警示标签；复位机构，复位机构设置在驱动装置与防拆挡板之间，复位机构能够驱动防拆挡板向远离扳手的方向移动。本实用新型提供的钢瓶接头防呆装置操作方便，更换钢瓶时无需携带大量拆装工具，能有效防止工作人员对钢瓶进行误拆，保护工作人员的人身和财产安全。
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公开(公告)号：CN209213472U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201822112431.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 常军
Abstract: 本实用新型涉及气体输送技术领域，公开一种供气装置。其中供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀，所述控制总路包括气源和电控制阀组件，所述气源与所述电控制阀组件连接；各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀，所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连，所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连；所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。本实用新型的供气装置既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开，又能在断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开，从而实现不间断供气。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208852854U
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201821536932.8
申请日：2018-09-19
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 张卫
Abstract: 本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。本实用新型能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。
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公开(公告)号：CN207122639U
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201721137690.0
申请日：2017-09-06
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种气动阀控制装置，包括电磁阀、气动阀以及气体管路，还包括手动阀，所述电磁阀包括第一常开触点和第一常闭触点，所述第一常闭触点与进气端连接，所述电磁阀的输出端与所述气动阀连接；所述手动阀包括第二常开触点，所述第二常开触点与所述第一常闭触点连接，所述手动阀的输出端与所述第一常开触点连接。本实用新型通过在电磁阀的第一常开触点和第一常闭触点之间增加手动阀，提供气动阀的两条控制线路，在断电、PLC故障等情况下，气动阀可以通过手动控制线路得到有效控制，保证气体正常传输，避免了停机停产，达到了节约时间成本、提高生产效率的目的。
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公开(公告)号：CN203565421U
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201320548344.7
申请日：2013-09-04
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
Inventor： 李敏
Abstract: 本实用新型提供的一种大型凹面镜片清洗装置包括可旋转推车、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置、清洗管路系统及电控单元。清洗时，毛刷旋转清洗机构位于可旋转推车的上方，在设备工作区域内还设有喷淋系统、风刀系统及毛刷清洗装置，位于设备工作区域外的清洗管路系统连接毛刷清洗装置及喷淋系统，电控单元控制可旋转推车的旋转机构、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置及清洗管路系统。本实用新型具有以下优点：一、本装置各零部件均为常见机械结构，加工装配容易实现；二、本装置可通过改变镜片转速、毛刷转速、毛刷高度、刷洗时间等参数，对清洗效果进行控制；设备工艺开放度高；三、本装置可兼容实现多种尺寸凹面镜的清洗功能，也可实现其它定制功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202001831U
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201120024215.9
申请日：2011-01-25
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技有限公司
Inventor： 戴志文
IPC: F17C13/00
Abstract: 本实用新型涉及一种抽风罩，包括壳体、磁钢、磁钢固定块、至少2根螺杆和至少2个螺母，所述的壳体由第一圆筒、第二圆筒和碳钢板组成，其中，所述的碳钢板一侧与第一圆筒的一端焊接，另一侧与第二圆筒的一端焊接，第一圆筒和第二圆筒的中轴线位于一条轴线上，第一圆筒的直径大于第二圆筒；所述的第一圆筒的侧面设有开口，前端设有手柄；所述的第一圆筒未与碳钢板焊接的一端均匀分布有所述的螺母；所述的螺杆穿过所述的螺母；所述的螺杆尾端与所述的磁钢固定块相连；所述的磁钢固定在所述的磁钢固定块中。本实用新型能够适用于各种不同外形尺寸的T瓶，并且便于安装和拆卸。
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公开(公告)号：CN209302249U
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201822103847.9
申请日：2018-12-14
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 常军
IPC: B01D19/00
Abstract: 本实用新型涉及化工技术领域，公开一种气液分离装置，包括：真空管，其上设有抽气口；分离管，位于真空管内，分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过抽气口抽出真空管内的气体，使分离管内液体中含有的气体穿过分离管管壁进入真空管内。本实用新型通过抽气单元将真空管内的气体抽出，使真空管内的压强小于等于设定值，由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小，且分离管内外存在压差，气体能够穿过分离管壁进入真空管内，并通过真空单元将其抽出，通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209164706U
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201822032500.X
申请日：2018-12-05
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 常军
Abstract: 本实用新型涉及阀门技术领域，公开一种减压阀保护装置。该减压阀保护装置包括保护罩本体，保护罩本体内设有干燥通道，干燥通道包括进气口、干燥腔及出气口，减压阀的阀本体置于干燥腔内，进气口用于向干燥腔内不断通入干燥气体。本实用新型减压阀的阀本体位于干燥腔内，通过进气口不断地向干燥腔内通入干燥的气体，减压阀工作时，阀本体会收吸收大量的热，导致干燥腔内的气体温度降低，但干燥气体中不含水分而且经过降温的气体会立即被排出，因此，阀本体上既不会出现凝结的现象，更不会产生结露、结霜的现象，减少了减压阀的阀本体冻伤、损坏、寿命减短或气体流量无法达到设计要求的问题发生。
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公开(公告)号：CN207599347U
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201721731766.2
申请日：2017-12-12
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及连续供气技术领域，尤其涉及一种连续供气装置，包括第一供气气路和第二供气气路，第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置，第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置；第一供气气路的进气端与第一气源连通，第二供气气路的进气端与第二气源连通，第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。本实用新型通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值，完全依靠机械结构设计实现供气气源的自动切换和无缝式更换，从而达到连续供气的目的，气路简单，操作简便，成本降低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207569537U
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201721687137.4
申请日：2017-12-06
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
IPC: F17C13/12
Abstract: 本实用新型公开了一种特种气体钢瓶的气动防呆装置，包括：连接在钢瓶接头上的支座；用于遮挡钢瓶接头的遮挡板，遮挡板设置于支座的远离钢瓶接头的一侧；驱动装置，驱动装置连接在支座上，并能够驱动遮挡板朝向或远离钢瓶接头移动。该气动防呆装置能够较好地防护钢瓶的阀口，避免有人误拆钢瓶，减少特种气体泄漏风险。
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