CVD装置以及用于清洁CVD装置过程室的方法

    公开(公告)号:CN118843712A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202380026316.5

    申请日:2023-03-07

    摘要: 本发明涉及一种用于运行CVD反应器的方法,其中,在过程室(2)中在一个或多个衬底上沉积一个或多个层之后,通过清洁气体清洁过程室(2)的一个或多个表面以去掉其上附着的沉积物,其中,清洁气体与载气一起通过清洁气体入口(3)输入过程室(2)中,其流过被置于第一高温(T1)的过程室(2)、在此与沉积物发生化学反应生成气态的反应产物并且反应产物由载气作为废气通过气体出口(5)在低于所述第一高温(T1)的第一低温(T2)下输送到气体清洁设备(6、7),其中,气体清洁设备(6,7)具有预处理设备(7),在预处理设备(7)中反应产物在高于所述第一低温(T2)的第二高温(T3)下预处理,并且其中,预处理过的反应产物输送到冷却井(6),在冷却井中反应产物在低于所述第二高温(T3)的第二低温(T4)下冷凝。为了提高气体清洁的效率,建议将冷却到最高160℃的废气在预处理设备(7)中用气体加热设备(8)总体加热到更高的优选200℃的温度,以便在之前冷却中形成的附聚物再次分解。

    一种基于物理化学方法的土壤修复改良系统

    公开(公告)号:CN118831943A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410835222.9

    申请日:2024-06-26

    摘要: 本发明属于土壤修复改良技术领域,特别涉及一种基于物理化学方法的土壤修复改良系统。其技术方案为:一种基于物理化学方法的土壤修复改良系统,包括土壤污染处理装置、土壤改良装置和水蒸气处理装置,土壤污染处理装置的下部和土壤改良装置的上部之间连接有进料履带,土壤污染处理装置的顶部和水蒸气处理装置通过管道连接。本发明提供了一种基于物理化学方法的土壤修复改良系统,具有高效、环保且成本合理的特点,能够应对多种类型的有机和无机污染物,并减少二次污染风险。

    一种气体干燥装置和干燥方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118831421A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202411166880.X

    申请日:2024-08-23

    IPC分类号: B01D53/26 B01D53/00

    摘要: 本发明公开了一种气体干燥装置和干燥方法,其中,气泵第一接口与气体干燥单元第一接口连接,第二接口与水汽再富集单元的第一接口连接,第三接口与水汽凝结单元的第一接口连接;气体出入口连接气体干燥单元的第二接口和第四接口;水汽再富集单元第二接口与气体干燥单元的第三接口连接,用于对气体干燥单元的第一干燥器解吸;水汽凝结单元第二接口与水汽再富集单元第三接口连接,用于对第二干燥器进行水汽解吸以及对解吸后的气体进行水汽凝结;液态水收集单元的第一接口与水汽凝结单元的第三接口连接,用于对水汽凝结单元进行水汽凝结后的液态水进行收集。本发明所提供的气体干燥装置能够实现以循环呼吸方式的对于气体进行干燥,装置便于维护。

    一种氨气纯化处理装置
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118831402A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410995149.1

    申请日:2024-07-24

    IPC分类号: B01D53/00 B01D5/00 B01J19/14

    摘要: 本申请提供了一种氨气纯化处理装置,包括气液分离机构和液氨回收机构,气液分离机构的内部设置换热器,液氨吹扫物输送至气液分离机构内,换热器对液氨吹扫物进行初步降温,以使液氨吹扫物中的氨气进行降温液化回收。气液分离机构的顶部设置第一排气管道,第一排气管道用于排出液氨吹扫物中的混合气体。液氨回收机构包括制冷剂储存部和液氨凝结部,液氨凝结部与第一排气管道连接,用于对混合气体进行冷凝,以使氨气进行液化回收。本申请对液氮吹扫物进行气液分离,对氮气与氨气混合物进行冷却与冷凝处理,液氨吹扫物中的液氨在气液分离机构内进行回收,通过液氮回收机构的设置,使氮气内所含的氨气浓度大幅降低。

    一种爆炸物焚毁用分体式防爆炉
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118816667A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410999749.5

    申请日:2024-07-24

    摘要: 本发明涉及防爆炉技术领域,提出了一种爆炸物焚毁用分体式防爆炉,包括基座、筒体和内胆,筒体包括上筒和下筒,上筒设置在基座上,还包括上料机构、排气机构和净气机构,上料机构用于向筒体的内部输送爆炸物,上料机构包括旋转进料部件、进料通道和闸板结构,旋转进料部件和上筒连通,进料通道和旋转进料部件连通,闸板结构设置有两个,闸板结构设置在进料通道上,用于对进料通道进行开闭,排气机构用于排放燃烧烟气,排气机构包括出气管、进气管和单向阀,净气机构用于对排放的烟气进行净化。通过上述技术方案,解决了现有技术中在进出料过程中有烟气逸出,对周围环境造成破坏的问题。

    一种臭氧催化系统小试装置
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118811999A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411100158.6

    申请日:2024-08-12

    摘要: 本发明公开了一种臭氧催化系统小试装置,包括:催化单元、液体传输单元、气体处理单元,所述催化单元内部可发生催化反应,液体传输单元连通设置在催化单元的两侧,所述气体处理单元连通设置在催化单元的顶端和底端;所述催化单元包括:外壳,所述外壳内部设有提供催化反应的空腔,且其顶端设有开口,用于所述催化单元的清洗和维修;盖板,放置在外壳的顶端,密封所述开口;承托盘,用于承托催化层,所述承托盘包括:第一支撑板和纱网,所述第一支撑板固定于外壳高度的三分之一至二分之一处,其平行于外壳的底面固定在外壳的内壁上,且其尺寸与外壳的底面一致;所述第一支撑板的表面设有若干第一流通孔;所述纱网设置在第一支撑板的上表面。

    一种含氨废气废水处理净化系统
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118811911A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411295810.4

    申请日:2024-09-18

    摘要: 本发明涉及除氨技术领域,尤其涉及一种含氨废气废水处理净化系统,包括有脱氨塔体、隔离板、检修门、填料支撑板和转动杆等;脱氨塔体内设置有用于使散装填料均匀分布的若干个隔离板,每个隔离板均呈波纹状的可折叠设置;脱氨塔体上转动连接有检修门;脱氨塔体内固接有两个填料支撑板;两个填料支撑板共同转动连接有转动杆,位于下方的填料支撑板上固接有转动电机,转动电机的输出轴与转动杆固接。通过隔离板的反复折叠让散装填料在填料填充部进行位置变换,从而达到对散装填料进行揉搓的效果,使得散装填料表面形成的垢层被及时揉搓下来,避免垢层凝结在散装填料上。

    一种具有冷凝除雾系统的VOC活性炭吸附高温排气设备

    公开(公告)号:CN118807428A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411282513.6

    申请日:2024-09-13

    IPC分类号: B01D53/26 B01D46/04 B01D53/00

    摘要: 本发明涉及VOCs回收机技术领域,且公开了一种具有冷凝除雾系统的VOC活性炭吸附高温排气设备,包括循环式冷凝机构以及离心力除雾机构。该具有冷凝除雾系统的VOC活性炭吸附高温排气设备,能够从外部接入冷却介质,利用该冷却介质对蒸汽及溶剂等混合高温气体进行温度降低,而后将冷却形成的水分进行定向引导,最后利用高速转动的离心力除雾机构对内部的雾气进行除雾效果,使得雾气中的液体颗粒汇聚并集中引导排放,从而使得剩余干净常温尾气正常排出,以使得排放的尾气能够达到稳定的达标尾气浓度。