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公开(公告)号：CN109913855B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN201910335154.9
申请日：2019-04-24
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/02 , C23C16/56 , C09K3/18
摘要： 本发明公开了一种疏水材料，其特征在于，该疏水材料用于以等离子增强化学气相沉积法在物质表面形成疏水膜；所述疏水材料的化学通式为：R‑Si‑(ORX)3，其中，R为多碳长链烷基，碳原子数量3‑16；RX‑为Cl、‑CH3、‑C2H5其中一种或者多种。使用上述疏水材料镀疏水膜方法，包括以下步骤：(1)、将待镀膜面进行清洁处理；(2)、将等离子气体在具有微波的反应腔内活化；(3)、在待镀膜面形成疏水膜；(4)、反应腔内破真空，获得具有疏水膜的工件。疏水材料为无氟疏水材料，在镀膜过程中不产生含氟废气，也没有含氟材料溢出，对环境友好，不存在环保问题。
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公开(公告)号：CN113275217B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202110536961.4
申请日：2021-05-18
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
发明人： 梁宸
摘要： 本发明公开一种等离子体接枝共聚膜层的制备方法，包括以下步骤：将待处理基材放置于工作室内并使工作室达到真空状态；向达到真空状态的工作室内通入工艺气体，所述工艺气体至少包含氮源气体、氧气和氟碳不饱和烃；开启电源，在工作室内产生均匀等离子体以激发来自工艺气体的自由电子，促使基材表面引入的氮氧基团和氟碳类不饱和烃反应生成利于后续接枝共聚膜层固定的微刻蚀及氟碳交联结构；停止通入工艺气体，向工作室内通入作为接枝共聚膜层气源的单体蒸汽，单体于等离子体气氛下在基材表面沉积并发生接枝共聚反应，形成所述接枝共聚疏水膜层。所述方法实现在基材表面尤其是复杂结构异构件表面沉积附着性能优异、形貌均匀的功能膜层。
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公开(公告)号：CN114453213A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111629022.0
申请日：2021-12-28
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： B05D1/00
摘要： 本发明公开一种等离子气相沉积制备疏水膜的方法。所述方法包括以下步骤：基材的活化处理；将镀膜材料汽化；所述镀膜材料具有对称结构且含有硅元素；将汽化的镀膜材料通入反应腔，开启射频电源，设定射频功率和真空度，以在基材表面沉积镀膜材料形成疏水膜。该方法在不影响基材性质的情况下，通过等离子化学气相沉积在基材表面生成厚度达到纳米级别的环保疏水膜。
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公开(公告)号：CN111519171B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010097456.X
申请日：2020-02-17
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/02
摘要： 本发明公开了本发明提供一种膜层致密的等离子化学气相沉积法镀疏水膜方法，包括以下步骤：(1)、前处理：将待处理工件放入反应腔，向反应腔内通入C3F6和/或C4F8，在真空条件下以电离的C3F6和/或C4F8对工件表面进行处理；(2)、活化；(3)、汽化：将亲水材料和疏水材料混合均匀得到混合镀膜材料，汽化后的混合镀膜材料进入反应腔；(4)、沉积亲水膜：设定反应腔内的射频功率位第一功率，在真空度下沉积亲水膜，在沉积过程中对真空度由低到高进行调整；(5)、沉积疏水膜：在沉积过程中对真空度由低到高进行调整；(6)、后处理。本发明的方法具有疏水膜沉积速度快、附着牢固、膜层致密、生产周期短的优点。
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公开(公告)号：CN113299534A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110536954.4
申请日：2021-05-18
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
发明人： 梁宸
IPC分类号： H01J37/32 , C23C16/509
摘要： 本发明提供一种等离子体接枝共聚膜层的镀膜装置，具备射频电源、反应单元、抽气单元及配气单元；反应单元内部形成为供反应的腔室；射频电源安装于反应单元外部且与反应单元的腔室连通；抽气单元安装于反应单元外部且与反应单元的腔室连通；配气单元安装于反应单元外部且通过供给管路与反应单元的腔室连通；在反应单元的腔室内靠近射频电源的位置处设置狭缝天线。根据本发明，可产生高密度且均匀一致的表面波等离子体，基于表面波等离子体化学气相沉积方式在基材表面生成接枝共聚膜层，大幅提高产品膜层厚度的均匀性，改善批量处理产品的良率，尤其对于具有复杂曲面的工件具有良好的成膜特性。
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公开(公告)号：CN111962049A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010872344.7
申请日：2020-08-26
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/40 , C09D175/04 , C09D133/04 , C09D5/00 , C09D7/61 , C09D7/63 , B05D1/00 , B05D5/00 , B05D5/08 , B05D7/24
摘要： 本发明涉及化工涂料技术领域，具体涉及一种等离子化学气相沉积的纳米超疏水涂层及其制备方法。包括以下步骤：S1)对基材的表面进行清洗；S2)对基材的表面进行活化；S3)疏水涂层的制备；S4)纳米沉积超疏水膜的制备：对所述疏水涂层进行活化沉积处理，纳米沉积超疏水膜沉积吸附于所述疏水涂层的表面。本发明还提出了所述等离子化学气相沉积的纳米超疏水涂层，根据所述的等离子化学气相沉积的纳米超疏水涂层的制备方法制得，具有无污染、安全可靠的特点，具有出色的耐摩擦、耐水浸泡、耐溶剂和耐盐雾性能，使用寿命长久。所述纳米沉积超疏水膜为吸附于所述疏水涂层的外表的等离子化学沉积的纳米疏水膜。
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公开(公告)号：CN111330824A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010213097.X
申请日：2020-03-24
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种有机板面等离子超亲水纳米防雾处理的方法，包括以下步骤：(1)、清洁基材表面；(2)、基材表面等离子活化处理；(3)、在活化处理后的基材表面涂覆超亲水前驱体溶液，然后擦拭干净；(4)、晾干后进行等离子镀亲水膜；(5)、后处理。本发明还公开了上述方法在护目镜的应用。本发明的方法中，经火化后的基材表面粗糙度增加同时得到很好的活化，超亲水前驱体溶液中的成分能与基材的粗糙表面有更好的附着力，为之后的等离子镀膜提供了预反应的效果。镀亲水膜后，在基材表面已有前驱体粒子的挤出上，再沉积结合成一层纳米亲水膜，有利于增强亲水膜的附着力、增强超亲水持久性和防雾特性。
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公开(公告)号：CN111188032A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010097649.5
申请日：2020-02-17
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/02
摘要： 本发明公开了本发明提供一种膜间结合方式的等离子化学气相沉积法镀疏水膜方法，包括以下步骤：(1)、前处理：将待处理工件放入反应腔，向反应腔内通入C3F6和/或C4F8，在真空条件下以电离的C3F6和/或C4F8对工件表面进行处理；(2)、活化；(3)、汽化：将亲水材料和疏水材料混合均匀得到混合镀膜材料，汽化后的混合镀膜材料进入反应腔；(4)、沉积：设定反应腔内的射频功率位第一功率，在真空度下沉积亲水膜，之后调整反应腔内的射频功率位第二功率，在真空度下沉积疏水膜；(5)、后处理。本发明的方法具有疏水膜沉积速度快、附着牢固、膜层致密、生产周期短的优点。
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公开(公告)号：CN111020535A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN202010028125.0
申请日：2020-01-10
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/02
摘要： 本发明公开一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，包括以下步骤：(1)、前处理，对细胞计数板进行前处理；(2)、等离子气体活化处理，在反应腔内，等离子活化气体对清洁后的细胞计数板进行处理；(3)、静态镀膜，将汽化的镀膜材料通入反应腔，所述镀膜材料为疏水材料或亲水材料，持续通入10s后关闭反应腔进出口，开始静态镀膜过程，维持此静态过程1-3min，之后再次通入汽化的镀膜材料，重复上述操作3-5次；(4)、净化，反应腔内破真空；(5)、后处理，将反应腔中的镀有纳米膜的细胞计数板取出，进行密封包装处理。本发明具有膜层质量好、能耗小、生产效率高、节省镀膜材料的优点。
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公开(公告)号：CN106268518A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610719566.9
申请日：2016-08-24
申请人： 佛山市思博睿科技有限公司
发明人： 梁磊
摘要： 本发明公开一种无论多路气路如何切换，都可以保证流量器流出气量稳定的真空反应系统，包括有多条主气路和真空反应腔，每条主气路与真空反应腔连接，在主气路上沿供气方向依次设有流量器和主路隔膜阀，真空反应腔的出口管路上设有真空规、真空蝶阀和真空泵，在每条主气路上流量器和主路隔膜阀之间引出一条旁路，旁路接驳在真空反应腔和真空规之间的出口管道上，每条旁路都设有旁路隔膜阀，主路隔膜阀、旁路隔膜阀和真空蝶阀受PLC控制器控制开关。
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