材料组织结构大尺寸高通量定量表征三维重构设备和方法

    公开(公告)号:CN109884104B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201910192461.6

    申请日:2019-03-14

    Abstract: 本发明涉及一种材料组织结构大尺寸高通量定量表征三维重构设备和方法,所述设备包括辉光放电溅射单元、样品传送装置、扫描电镜单元和GPU计算机工作站。辉光放电溅射单元可实现样品大尺寸(cm级)、近平坦、快速制备样品,并可控地实现沿样品表面深度方向逐层剥蚀制样,快速扫描电镜实现样品特征图谱大尺寸、高通量地获取,样品传送装置负责将样品在辉光放电溅射光源和扫描电镜之间来回准确定位地传送,GPU计算机工作站将获取的样品特征图谱拼接、处理、识别和定量分布表征,以及对逐层溅射制样的样品组织结构进行三维重构;该设备和方法能实现cm级大尺寸样品的快速制备、特征图谱高通量的获取与评价、微观组织结构的定量统计分布表征及三维重构。

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