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公开(公告)号：CN115655500A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211288736.4
申请日：2022-10-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种钢坯结晶器用海藻酸盐水凝胶薄膜热流传感器，包括海藻酸盐水凝胶基底，海藻酸盐水凝胶基底为U型平面结构，U型平面结构包括长边和短边，海藻酸盐水凝胶基底的内表面分别设置有第一薄膜热电偶和第二薄膜热电偶，第一薄膜热电偶和第二薄膜热电偶通过交联方式连接。本发明方案合理，结构简单，容易实现，能充分发挥微结构气膜孔定向流动的优势。
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公开(公告)号：CN114414845B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210094930.2
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，尤其涉及一种芯片级集成式法布里珀罗光学MEMS加速度传感器，包括由下到上依次设置的激光器驱动芯片、Vcsel激光芯片、法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片、敏感光电检测芯片和前置放大芯片，所述Vcsel激光芯片的两侧水平对称设置有第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片，所述Vcsel激光芯片、第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片均设置于激光器驱动芯片上。本发明实现了芯片级集成，具有体积小、功耗低、稳定性高、易于三轴集成的优势；此外，该方案同时具备参考和敏感光电检测芯片，使得加速度传感器具有高的分辨率。
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公开(公告)号：CN114523341B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202210240897.X
申请日：2022-03-10
Applicant: 西安交通大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明公开了一种非球面圆弧包络磨削的对刀误差补偿方法及系统，建立非球面的几何模型；基于非球面几何模型建立圆弧面平行砂轮表面几何模型；当存在进给方向对刀误差，基于非球面几何模型和砂轮表面几何模型之间的相对运动关系，建立进给方向的对刀误差模型；当存在侧向方向对刀误差，基于非球面几何模型和砂轮表面几何模型之间的相对运动关系，建立侧向对刀误差模型；根据磨削后工件的表面轮廓判断对刀误差方向，基于进给方向的对刀误差模型和侧向对刀误差模型进行对刀误差补偿。本发明避免了非球面工件外圆柱面直径误差和圆柱度误差对砂轮对刀精度的影响；可用于自动对刀误差补偿，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN111498795B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202010479167.6
申请日：2020-05-29
Applicant: 西安交通大学 , 陕西省计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法，属于MEMS压阻式压力传感器领域，传感器芯片由浮雕薄膜结构层和背腔结构层组成，浮雕薄膜结构层分为浮雕层和薄膜层，浮雕层由位于薄膜内部带圆角的十字形结构组成，浮雕结构与薄膜边缘相接处布置有压敏电阻条，压敏电阻条的有效长度沿着压阻系数最大的晶向，且每个压敏电阻条内部间隙布置隔离槽阵列结构，使应力集中在制备压敏电阻条的位置上，提高了传感器的灵敏度。金属引线将四个压敏电阻条两两连接形成两个电阻，且将压敏电阻条与布置在基底上的四个焊盘连接，并与外置相同阻值的两个电阻连接组成惠斯通全桥实现电信号的输入输出。背腔是C型腔结构，制作工艺简单。
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公开(公告)号：CN115355853A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210550265.3
申请日：2022-05-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法，掘进机，包括主驱动轴、主轴承、前轴承座、后轴承座和超声波位移传感器，主轴承套设于主驱动轴上，前轴承座和后轴承座安装在主轴承两侧以支撑并固定主轴承，在后轴承座上开设安装通孔，超声波位移传感器设置在所述安装通孔内，超声波位移传感器的声波发射端与主轴承的内圈端面正对。本发明能够实现主轴承游隙的非接触式在线连续测量，避免了接触式测量可能造成的碰撞、冲击等不利影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114441801B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210111144.9
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种双光路结构的加速度传感器及噪底自标定系统及方法；加速度传感器包括加速度传感器芯片，双路检测装置、PCB支撑板与加速度传感器框架；其中，噪底自标定系统包括加速度传感器、双路激光驱动模块、双路IV转换模块、同步采集模块、双通道互相关模块以及环境背景信息提取模块；同步采集模块采集到的双路位移检测模块的输出信号中具有完全相同的环境噪声信号和各自不同的自噪声信号，通过双通道互相关算法可以去除所述完全相同的环境噪声，得到所述各自不同自噪声信号，实现法布里珀罗加速度传感器噪底的自标定。
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公开(公告)号：CN111766403B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202010699169.6
申请日：2020-07-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种抗高g值冲击的梳齿微加速度计及其制备方法，第一固定锚块位于可动质量块的左侧，第二固定锚块位于可动质量块的右侧，其中，第一固定锚块与可动质量块之间设置有第一止档块及第一支撑梁，第二固定锚块与可动质量块之间设置有第二止档块及第二支撑梁；第一支撑梁及第二支撑梁均为U型折叠结构，其中，第一支撑梁的一端固定于第一固定锚块上，第一支撑梁的另一端固定于可动质量块的左侧面上，第二支撑梁的一端固定于第二固定锚块上，第二支撑梁的另一端固定于可动质量块的右侧面上，第一止挡块固定于第一固定锚块上，第二止挡块固定于第二固定锚块上，该加速度计具有高稳定性及抗高g值冲击能力。
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公开(公告)号：CN111199549B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN201911304796.9
申请日：2019-12-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: G06T7/11
Abstract: 本发明公开了一种基于叶片型面测量点云的叶型提取方法。首先，本发明研究了提高型面重建质量和速度的前处理方法，包括分割、统计学滤波、基于八叉树结构的精简若干步骤。然后，研究了网格包络的型面重建方法，对固定高度叶型进行空间插值计算出精确的叶型数据。具体的，该方法采用基于距离统计的离群点滤波方法进行数据滤波，以及基于八叉树数据结构点云精简等技术对点云数据进行预处理，然后采用基于区域增长的重建算法结合Delaunay的准则实现叶片点云的快速重建，最后利用零件图纸规定高度的平面与拓扑网格相交，通过空间插值完成叶型数据的提取。本发明计算效率高，克服投影法的难以精确保留叶型特征的问题，有很好的工程应用前景。
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公开(公告)号：CN111965388B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202010852095.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基和第一双端固支石英音叉、第二双端固支石英音叉，金属基包括金属基座、第一挠性铰链、第二挠性铰链、质量块和金属外框，质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与金属基座相连，金属基座的左右两侧及前侧与金属外框连接；第一双端固支石英音叉和第二双端固支石英音叉的结构相同，贴装于金属基的正面与反面，以差动方式布置；第一挠性铰链和第二挠性铰链在敏感方向SA上具有弹性特性；本发明能够降低封装应力和热应力对加速度计输出的影响，具有灵敏度高、温漂小、精度高、尺寸小等优点。
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