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公开(公告)号：CN102902059A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210251682.4
申请日：2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0208 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/44 , G01J3/51 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，形成于固定基板的与可动基板相对的面；第二反射膜，设置于可动基板，并与第一反射膜有间隙地对置；第一电极，设置于固定基板的与可动基板相对的面；第二电极，设置于可动基板，并与第一电极相对；接合部，设置于固定基板和可动基板互相对置的面，接合固定基板与可动基板；以及槽部，设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。
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公开(公告)号：CN102628987A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210024540.4
申请日：2012-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
CPC classification number: G02B26/02 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01N21/251 , G02B5/28
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备。该滤光器包括：第一基板；第二基板；第一反射膜，设置在第一基板上；第二反射膜，设置在第二基板上；第一固定电极及第二固定电极，设置在第一基板上，在俯视图中位于第一反射膜的周围；以及第一可变电极和第二可变电极，设置在第二基板上，与第一固定电极及第二固定电极相向，其中，第一可变电极和第二可变电极以成为以反射膜为中心的中心对称构造的方式形成有第二可变电极的狭缝部。
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公开(公告)号：CN102193186A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110064935.2
申请日：2011-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B6/29346 , G02B6/29395
Abstract: 本发明涉及滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备。该滤光器具有对置的第1反射膜和第2反射膜、第1电极、第2电极、第3电极、第4电极、电位差控制部，第1电极和第3电极隔开第1距离地对置，第2电极和第4电极隔开与第1距离不同的第2距离地对置，通过电位差控制部使第1电极和第3电极之间产生电位差来使第1电极和第3电极抵接，使第2电极和第4电极之间产生电位差来使第2电极和上述第4电极抵接，从而能够高精度地控制第1反射膜和第2反射膜之间的间隙。
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公开(公告)号：CN1803453A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200510138117.7
申请日：2005-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可以实现设备的小型化，并可以有效地防止水分等进入到间隙内的静电驱动器等。其具备具有作为固定电极的单独电极(12)的电极基板(10)、和具有与单独电极(12)隔开距离相对并利用在与单独电极(12)之间产生的静电力动作的作为可动电极的振动板(22)的腔室基板(20)，在电极基板(10)或腔室基板(20)的一方上将多层由遮断在单独电极(12)和振动板(22)之间形成的空间和外界气体的密封材(25)构成的密封层(TEOS层25a、水分透过防止层25b)层叠在一起，形成密封部(26a)。
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公开(公告)号：CN114675364A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111591560.5
申请日：2021-12-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
IPC: G02B5/28
Abstract: 一种波长可变光学滤波器，可靠性高。波长可变光学滤波器(11)具有第一基板(12)、第二基板(13)以及接合膜(14)，接合膜(14)通过与第一反射膜(15)和第二反射膜(21)接触而与第一基板(12)和第二基板(13)接合，接合膜(14)相对于规定的波长段的光具有透射性，贯穿第一反射膜(15)、接合膜(14)以及第二反射膜(21)的光路相对于规定波长段的光具有透射性，且相对于使用波长可变滤波器(11a)测量的波长的范围不具有透射率的峰值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112311980B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010719618.9
申请日：2020-07-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种分光相机，能够易于对波长可变干涉滤光器与摄像元件进行对位，并且能够拍摄准确的分光图像。分光相机具备：干涉滤光器，具备一对反射膜；以及摄像元件，拍摄透射过一对所述反射膜的图像光，所述干涉滤光器在与穿过一对反射膜的所述图像光的光路重叠的位置处，设置有使所述图像光的透射特性变化的标记。
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公开(公告)号：CN104007498B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201410058489.8
申请日：2014-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/0264 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸设定为与比测定对象波长区域小的第一波长的光相应的第一尺寸；截止滤波器（11），阻截比测定对象波长区域小的波长的光；以及光量获取部（23），获取在将间隙尺寸设为第一尺寸时由检测器（12）接收的杂散光的光量。
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公开(公告)号：CN102313984B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201110189166.9
申请日：2011-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/288 , G01J3/26 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了滤光器、滤光器模块、分光测量仪和光设备。该滤光器具有：第一可变波长带通滤波器，其能够将第一波段(400nm～460nm)分光，并且具有以上述第一波段内的第一波长为中心波长的第一光谱带以及以第一波段内的第二波长为中心波长的第二光谱带；以及第二可变波长带通滤波器，其能够将邻接于第一波段的第二波段(480nm～540nm)分光，并且具有以第二波段内的第三波长为中心波长的第三光谱带以及以第二波段内的第四波长为中心波长的第四光谱带。
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公开(公告)号：CN104656176A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410659191.2
申请日：2014-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01J2003/1213 , G01J2003/1234 , G02B5/22 , G02B5/26 , G02B5/28 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。光学滤波器装置(500)具备：波长可变干涉滤波器(501)，具有彼此相对的一对反射膜(54、55)以及改变一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器(56)；带通滤波器(502)，设置在一对反射膜(54、55)的光轴上。带通滤波器(502)具有多个使光透过的透过波段。
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