-
公开(公告)号：CN100483920C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510061900.8
申请日：2005-12-08
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 本发明涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统，脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘，电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制，转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片，膨胀臂一端固定，另一端与摩擦片相粘合，压簧片一端固定，另一端和一弹簧相连，转子与压簧片、摩擦片相接。本发明的优点是马达输出步距小、速度高，直接由激光驱动，不需导线连接，因而结构相对独立，易于马达的微小化，便于将驱动器置于封闭空间(如真空腔)，并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
-
公开(公告)号：CN1243354C
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN03116339.4
申请日：2003-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B21/08
CPC classification number: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉公开了一种卧式原子力显微镜探头。它具有XYZ压电陶瓷及样品台组成的扫描与反馈控制器和由微悬臂探针、激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统。本发明的优点是结构简洁，技术条件易于实现。由于采用了卧式结构，使原子力方向与微悬臂的重力方向相互垂直，从而有效地避免了重力对原子力的影响，提高了原子力的作用效率和精度。因此，本发明除了原理新颖，结构简洁，易于操作等特点外，更主要的是克服了立式原子力显微镜探头的局限性。因此可获得更好的纳米检测与成像性能。广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
-
公开(公告)号：CN1232987C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN03116763.2
申请日：2003-04-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B21/08
CPC classification number: G01Q30/14
Abstract: 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
-
公开(公告)号：CN1448958A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03116763.2
申请日：2003-04-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B21/08
CPC classification number: G01Q30/14
Abstract: 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
-
公开(公告)号：CN1445525A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN03116770.5
申请日：2003-04-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种双元原子力显微镜检测头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本发明的双元原子力显微镜检测头可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1195961A
公开(公告)日：1998-10-14
申请号：CN98104705.X
申请日：1998-01-22
Applicant: 浙江大学
IPC: H05K3/18
Abstract: 本发明公开了一种基于离子电导的电化学微细加工方法及装置。它是采用金属电极置于充满电解液的毛细管中所组成的加工电极作为阳极,被加工样品置于充满电解液的电解槽中,作为阴级,加工电极横向扫描被加工样品表面时,基于加工电极与被加工样品之间的离子电导变化,利用反馈系统控制两者的间距,当加工电极与被加工样品之间施加直流电压时,在被加工样品表面析出所需的点、线、面图案。本发明原理先进,加工集成度高,为超大规模集成电路的制作提供了新的基础。
-
公开(公告)号：CN104849499B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201510228696.8
申请日：2015-05-07
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种快速扫描原子力显微检测方法及系统。它包括快速扫描原子力显微检测主体探头、光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块、计算机；光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块分别与快速扫描原子力显微检测主体探头、计算机连接。快速扫描原子力显微检测主体探头的X方向快速片状扫描器独立实现微探针的X方向快速扫描，Y方向快速扫描器独立实现样品的Y方向快速扫描，且Z方向反馈与Y方向扫描正交独立。本发明克服了常规型AFM的局限性，可实现微纳米样品的高速度、高精度、无畸变的快速扫描与原子力显微检测成像。
-
公开(公告)号：CN104777604A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201510179974.5
申请日：2015-04-16
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: G02B21/368 , G02B21/32
Abstract: 本发明公开的基于USB显微探头和步进扫描台的可定位显微成像系统包括：具有底座、立柱、横梁、滑块和调节机构的机架，USB显微成像单元以及二维步进扫描单元。由USB显微成像单元实现微纳米样品的数码显微成像，由计算机控制二维步进扫描单元实现样品的二维扫描或移动；同时，通过计算机的软件控制界面，实现样品观察区域的可定位或可重入。本发明结构简单，应用方便，避免了手动操作的定位不准确及产生的各种误差，提高自动化程度，可以减少操作人员的工作量，提高图像采集的工作效率。
-
公开(公告)号：CN102735878B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201210209374.5
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/06
Abstract: 本发明公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本发明的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。
-
公开(公告)号：CN102707094B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201210192186.6
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本发明的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
78
records
(took 0.017 seconds)
