一种热原子层沉积技术生长GeTe合金薄膜的方法

    公开(公告)号:CN107142459A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710255160.4

    申请日:2017-04-19

    Applicant: 江南大学

    CPC classification number: C23C16/18 C23C16/455

    Abstract: 本发明公开了一种热原子层沉积技术生长GeTe合金薄膜的方法,属于半导体制备技术领域。本发明采用了具有式I结构的Ge源和具有式Ⅱ结构的Te源,将其应用在热原子层沉积技术(T‑ALD)中,使得能够在纳米级的半导体器件上沉积形成保型性较好的GeTe沉积层。并且,采用本发明中的方法制得的沉积态GeTe合金薄膜的电阻更高即纯度更高。本发明制得的GeTe合金薄膜的电阻在1.4~4*105Ω·cm,薄膜的均方根粗糙度在0.7nm。

    一种以肼类为还原剂单原子层沉积技术生长金属Cu的方法

    公开(公告)号:CN106498361A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201611035067.4

    申请日:2016-11-22

    Applicant: 江南大学

    CPC classification number: C23C16/18 C23C16/45525 C23C16/45557

    Abstract: 本发明公开了一种以肼类为还原剂单原子层沉积技术生长金属Cu的方法,属于半导体制备技术领域。本发明采用肼类作为还原剂,能直接将具有一定结构的Cu前驱体还原,将其应用在单原子层沉积技术(ALD)中,使得能够在纳米级的半导体器件上沉积形成保型性较好的金属Cu沉积层,方法简单有效。采用本发明中的方法制得的金属Cu膜电阻率更低,实验结果表明,本发明制得的金属Cu薄膜电阻率在2.1~6.5μΩ·cm。

    一种具有护发功效的有机硅超分子离子盐及其制备方法

    公开(公告)号:CN119039339A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202411136932.9

    申请日:2024-08-19

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有护发功效的有机硅超分子离子盐及其制备方法,属于超分子技术领域。本发明的有机硅超分子离子盐使用硅氧烷链作为中心骨架连接双烯键结构,给产物提供修复头发能力的同时,还引入了硅氧烷结构,使产物能从根本上修复头发,同时还能在头发表面形成硅氧烷保护膜,使处理后的头发更加柔顺且能防止进一步的损伤。本发明的有机硅超分子离子盐属于超分子离子盐,将完全疏水的硅氧烷链处理成水溶性,更方便配方的设计;且生产过程可以不额外添加溶剂或直接使用水为溶剂,反应率和产率均较高,可以直接由产物端应用到产品端的配方设计。

    一种多功能乳液及其在烟草领域的应用

    公开(公告)号:CN114259080B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202210002311.6

    申请日:2022-01-04

    Applicant: 江南大学

    Inventor: 杜立永 杨井国

    Abstract: 本发明公开了一种多功能乳液及其在烟草领域的应用,属于加热不燃烧卷烟及传统卷烟技术领域。本发明中制备多功能乳液的方法,包括:(1)将气溶胶形成剂、香精与离子胶凝剂进行充分预混,得到预混体系;其中,所述气溶胶形成剂、香精与离子胶凝剂的质量比为1:0.2~2:0.8~4;(2)均质搅拌下,将乳化剂的水溶液缓慢加入预混体系,直至形成稳定的第一乳液;(3)对第一乳液进行高压均质,形成第二乳液;(4)机械搅拌下,缓慢向第二乳液中加入金属盐溶液,混合均匀,即得多功能乳液。本发明的多功能乳液的平均粒径在200微米以下;且将多功能乳液应用于烟草制品中,可以同时解决烟支的防潮与香精缓释两个关键问题。

    一种纳米FeCx材料的制备方法

    公开(公告)号:CN112626491B

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202011471267.0

    申请日:2020-12-14

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种纳米FeCx材料的制备方法,属于纳米材料领域。将衬底置于反应腔,在真空下,以脉冲形式向反应腔中通入气相Fe前驱体,得到沉积有Fe前驱体的衬底;然后充入惰性气体进行吹扫后,将气相碳源以脉冲形式通入反应腔,与沉积在衬底上的Fe前驱体进行反应,得到含单原子层FeCx纳米材料的衬底;再向充入惰性气体清洗;重复上述ALD生长循环多次,即可得到生长FeCx纳米材料的衬底;其中,所述碳源为甲醇、乙醇、丙醇、或丁醇中的一种或几种;所述Fe前驱体为具有式1所示结构的化合物。本发明沉积速率高,沉积速率可达0.060nm/循环,且本发明所制备的FeCx纳米材料的电阻率低。

    一种纳米FeCx材料的制备方法

    公开(公告)号:CN112626491A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011471267.0

    申请日:2020-12-14

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种纳米FeCx材料的制备方法,属于纳米材料领域。将衬底置于反应腔,在真空下,以脉冲形式向反应腔中通入气相Fe前驱体,得到沉积有Fe前驱体的衬底;然后充入惰性气体进行吹扫后,将气相碳源以脉冲形式通入反应腔,与沉积在衬底上的Fe前驱体进行反应,得到含单原子层FeCx纳米材料的衬底;再向充入惰性气体清洗;重复上述ALD生长循环多次,即可得到生长FeCx纳米材料的衬底;其中,所述碳源为甲醇、乙醇、丙醇、或丁醇中的一种或几种;所述Fe前驱体为具有式1所示结构的化合物。本发明沉积速率高,沉积速率可达0.060nm/循环,且本发明所制备的FeCx纳米材料的电阻率低。

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