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公开(公告)号：CN110880922A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911127186.6
申请日：2019-11-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种二维超高频谐振器，具体指一种可以提高谐振器机电耦合系数的超高频谐振器机构，该种谐振器仅在压电材料上部布置有二维方向分布的正负电极，电极上部有桥状结构，电极间距大于四个波长。此种谐振器结构能够有效的提高谐振器的谐振频率和机电耦合系数。
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公开(公告)号：CN110868188A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201911164874.X
申请日：2019-11-25
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/125
Abstract: 本发明公开了一种基于环形电极的超高频谐振器结构，具体指一种大带宽且可以有效抑制伪模式和其他模态的超高频谐振器结构；包括压电材料、电极和连接线，在压电材料表面沉积形成多圈结构的环形电极，相邻两圈电极间距是大于电极宽度至少一个波长的距离，所述电极间距是波长的倍数关系，电极通过连接线引出。本发明有效提高了谐振器的机电耦合效率，抑制了伪模态和其他阶模态，为实现超高频、大带宽的滤波器等射频器件提供了高性能的基础元件。
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公开(公告)号：CN110681560A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910851350.1
申请日：2019-09-10
Applicant: 武汉大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 一种MEMS超声定位传感器，包括：上层衬底(3)；亥姆霍兹谐振腔(2)，形成于上层衬底(3)内；压电式超声发射单元(9)，位于上层衬底(3)上，其上具有至少一个与亥姆霍兹谐振腔(2)连通的通孔(7)；超声接收单元(1)，位于亥姆霍兹谐振腔(2)底部；其中，亥姆霍兹谐振腔(2)的谐振频率与压电式超声发射单元(9)的谐振频率相同，超声接收单元(1)的谐振频率大于或等于压电式超声发射单元(9)的谐振频率。本公开的MEMS超声定位传感器，可以提高传感器的能量转换效率和避免传感器的串扰。
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公开(公告)号：CN110681559A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910851197.2
申请日：2019-09-10
Applicant: 武汉大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 一种MEMS压电超声换能器，压电式超声换能器(11)形成在衬底层(1)上，该衬底层(1)内形成有亥姆霍兹谐振腔(16)，亥姆霍兹谐振腔(16)的谐振频率与压电式超声换能器(11)的谐振频率一致，亥姆霍兹谐振腔(16)包括高度大于压电式超声换能器(11)最大振幅的第一空腔(6)，第一空腔(6)的中部下沉形成第二空腔(9)，第一空腔(6)通过压电式超声换能器(11)上的通孔(7)与外部连通。本公开明显减小了亥姆霍兹谐振腔的容积，提高了亥姆霍兹谐振腔的谐振频率。将换能器的谐振频率与亥姆霍兹谐振腔匹配可以最终提高MEMS压电超声换能器的谐振频率。
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公开(公告)号：CN110635778A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910875873.X
申请日：2019-09-17
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/56
Abstract: 本公开涉及一种单片集成的双工器，该双工器包括在一片晶圆上制造的接收端带通滤波器和发射端带通滤波器，所述接收端带通滤波器和所述发射端带通滤波器包括一个或多个兰姆波谐振器和一个或多个FBAR。兰姆波谐振器的压电层底部的电极以及封闭式空腔结构，提高了整个结构的机械稳定性和机电耦合系数。此外，兰姆波谐振器的压电层部分刻蚀沟槽，提高了兰姆波谐振器的机电耦合系数，增大了双工器的接收端和发射端滤波器的带宽，相同的频段内可以减少双工器的数量，使得移动通讯设备可以更加小型化。此外，通过兰姆波谐振器和FBAR上的负载层，以及对二者压电层厚度的修整，使得二者更容易进行谐振频率匹配，从而更为方便地搭建双工器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110560349A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910759760.3
申请日：2019-08-16
Applicant: 武汉大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 基于Helmholtz共振腔并减小空气阻尼的接收超声换能器，包括位于上部的Helmholtz共振腔以及位于下部的MEMS压电超声换能器，Helmholtz共振腔与MEMS压电超声换能器之间通过键合结合；MEMS压电超声换能器由上部压电叠层结构和下部的带腔体硅衬底组成，Helmholtz共振腔由压电叠层结构上方的带有上部开口的带腔体硅结构组成，带腔体硅结构上部设置有上部开口形成Helmholtz共振腔孔，其中的空气组成Helmholtz共振腔的空气柱；压电叠层结构中部刻蚀有孔洞形成压电叠层孔洞使Helmholtz共振腔与带腔体硅衬底连通，且在压电叠层结构上以压电叠层孔洞为中心刻蚀有若干条放射沟槽，若干条放射沟槽之间的压电叠层结构形成悬臂梁，悬臂梁与压电叠层结构相连一端为固定端，与压电叠层孔洞相连一端为自由端。
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公开(公告)号：CN110475191A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910806852.2
申请日：2019-08-29
Applicant: 武汉大学
IPC: H04R19/04
Abstract: 一种低空气阻尼MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括设置在晶圆衬底顶面的固定端和悬置于空腔上方的自由端，相邻的悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，所述悬臂梁上设置有与所述空腔相通的孔口。本发明通过增设压电式麦克风与空腔相贯通的孔口，减小了悬臂梁振动时空气阻尼的影响，提高了麦克风的信噪比。
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公开(公告)号：CN110277977A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910595492.6
申请日：2019-07-03
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/70
Abstract: 本发明公开了一种双面集成的单片体声波双工器，包括相互连接的发射带通滤波器、接收带通滤波器和阻抗匹配电路；其中：该单片体声波双工器中间设置有一个衬底，衬底上下两面均刻蚀有凹槽状的空腔；发射带通滤波器和接收带通滤波器分别沉积在衬底的上下两面。本发明专利提出的结构工艺可以将发射带通滤波器和接收滤波器集成在同一衬底的上下两个面上，从而将体声波双工器集成在同一片衬底上，因此可以有效地减小双工器的面积和体积，从而减少双工器制作的成本。
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公开(公告)号：CN110255489A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910468431.3
申请日：2019-05-31
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS系统集成制造技术领域，公开了一种三维单片集成传感器系统，包括：集成电路晶圆、传感器层、薄膜封装层；传感器层包括多个传感器，传感器集成在集成电路晶圆上，薄膜封装层位于传感器层之上；集成电路晶圆包括：衬底、电路模块层、第一绝缘层。本发明解决了现有技术中传感器系统体积较大、不易高度集成化、成品率较低的问题，能够满足高度集成化和小型化的传感器系统制作需求。
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公开(公告)号：CN109622245A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811557071.6
申请日：2018-12-19
Applicant: 武汉大学
CPC classification number: B04B5/0442 , B04B9/00 , B04B2005/045
Abstract: 本发明提供了一种便携式血液分离仪，包括驱动部件和离心箱体及分离管道。压电马达做驱动部件，离心箱体内的旋转沟槽设计为圆柱体或者圆台，对应的分离管道呈圆形宽管道，方便血液成分在离心之后的沉积分布。离心宽管道的终端设计有几个由阀门控制的独立的分离管道，便于精确分离。本发明最终解决了现行血细胞分离机体积庞大，运行时间长，噪声大，效率低等问题，有利于医疗仪器和医疗器械领域的发展，具有较高的应用价值。
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