公开(公告)号：CN104074717A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410118130.5

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 川村兴太郎 ,  筱原丰司 ,  杉浦哲郎 ,  荒井秀夫 ,  京谷敬史 ,  中泽敏治 ,  石川敬一 ,  柏木诚司 ,  铃木康彦

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/00 ,  B01D53/74

CPC classification number: B01D53/343 ,  C23C16/4412 ,  F04B37/06 ,  F04B37/14 ,  F23G7/065 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。

公开(公告)号：CN101111680A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200680003883.5

申请日：2006-04-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 杉浦哲郎 ,  田中敬二 ,  中泽敏治 ,  木户功一 ,  山崎智行

IPC: F04B49/10

CPC classification number: F04B51/00 ,  F04C18/126 ,  F04C18/16 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/10 ,  F04C2270/80 ,  F04C2280/02

Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。

公开(公告)号：CN301418453S

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201030144206.4

申请日：2010-03-30

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  株式会社荏原菲尔德技术

Designer： 伊东一磨 ,  立田和行 ,  杉浦哲郎

Abstract: 1.该外观设计产品的名称：机组轴承；2.该机组轴承的用途：用于例如真空泵中使用的磁盘装置的旋转式传动装置以及其他制造用旋转装置等中；3.该机组轴承的设计要点：请参考各个视图所示的形状；4.最能表明设计要点的图片或者照片：设计1主视图；5.另外，由于设计1仰视图与设计1俯视图对称，设计2仰视图与设计2俯视图对称，设计1左视图与设计1右视图相同，设计2左视图与设计2右视图相同，因此省略设计1仰视图、设计2仰视图、设计1左视图和设计2左视图；本申请包含同一产品“机组轴承”的两项相似外观设计，其中设计1为基本设计。