流体控制装置
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102979704A

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201210326054.8

    申请日:2012-09-05

    CPC classification number: F04B43/043 F04B45/047

    Abstract: 一种流体控制装置,包括振动板单元、驱动体、可挠板及基板。上述振动板单元具有振动板和框板,其中,上述振动板具有第一主面和第二主面,上述框板围住上述振动板的周围。所述驱动体与所述振动板的所述第一主面或所述第二主面中的任一主面接合,并使所述振动板振动。所述可挠板设有孔,并以与所述振动板相对的方式与接合在所述框板上。所述基板与所述可挠板的和所述振动板相反一侧的主面接合。所述框板的材料的线膨胀系数和所述基板的材料的线膨胀系数之间的大小关系与所述振动板及所述驱动体中的、远离所述可挠板的一方的材料的线膨胀系数和所述振动板及所述驱动体中的、靠近所述可挠板较近的一方的材料的线膨胀系数之间的大小关系相同。

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