可变放大率光学系统、光学装置和可变放大率光学系统的制造方法

    公开(公告)号:CN104603665A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201380042190.7

    申请日:2013-08-09

    CPC classification number: G02B15/173 G02B1/11 G02B15/28 G02B27/646

    Abstract: 提供了可变放大率光学系统,以及可变放大率光学系统的制造方法,其在变焦时抑制像差的变化,并且从广角端状态到远摄端状态具有良好光学性能,这是因为其按从物体侧的顺序,包括:具有正屈光力的第一透镜组(G1);具有负屈光力的第二透镜组(G2);具有正屈光力的第三透镜组(G3)和具有正屈光力的第四透镜组(G4);在从广角端状态变焦到远摄端状态时,第一透镜组(G1)固定在光轴方向上的位置中;在光轴方向上移动至少第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3),使得第一透镜组(G1)和第二透镜组(G2)之间的距离增加,并且第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3)之间的距离减小;作为减振透镜组,移动第一透镜组(G1)至第四透镜组(G4)的至少一部分使得在垂直于光轴的方向上具有分量;并且满足预定条件表达式。

    变焦镜头、成像设备和制造变焦镜头的方法

    公开(公告)号:CN103250084A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201180059190.9

    申请日:2011-11-10

    Abstract: 本发明按从物体顺序具有:具有正屈光力的第一透镜组(G1);具有负屈光力的第二透镜组(G2);具有正屈光力的第三透镜组(G3);以及具有正屈光力的第四透镜组(G4),其中,通过改变透镜组之间的空气间隔来执行变焦,第四透镜组按从物体的顺序包括:第一正透镜构件(La)、具有面向物体的凸面的第二正透镜构件(Lb),以及负透镜构件(Lc),并且满足下述条件式:0.00<(Rb2-Rb1)/(Rb2+Rb1)<1.00,其中,Rb2表示构成第四透镜组(G4)的第二正透镜构件(Lb)的像侧面的曲率半径,并且Rb1表示构成第四透镜组(G4)的第二正透镜构件(Lb)的物体侧面的曲率半径。

    变焦镜头系统、光学设备和用于制造变焦镜头系统的方法

    公开(公告)号:CN102193175A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110058604.8

    申请日:2011-03-08

    CPC classification number: G02B15/16 G02B15/14 G02B15/173 Y10T29/49826

    Abstract: 以从物体侧起的顺序包括:第一透镜组(G1),具有正折射光焦度;第二透镜组(G2),具有负折射光焦度;第三透镜组(G3),具有正折射光焦度;第四透镜组(G4),具有负折射光焦度;以及,第五透镜组(G5),具有正折射光焦度,孔径光阑被布置到第二透镜组的图像侧,在从广角端状态向远摄端状态变焦时,在第一透镜组和第二透镜组之间的距离增大,在第二透镜组和第三透镜组之间的距离减小,在第三透镜组和第四透镜组之间的距离改变,并且在第四透镜组和第五透镜组之间的距离改变,并且满足给定的条件,由此提供一种通过抑制在像差上的改变而具有高光学性能的变焦镜头系统、配备了其的光学设备和用于制造该变焦镜头系统的方法。

    光学系统
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100443923C

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200510062502.8

    申请日:2005-03-30

    Inventor: 田中一政

    Abstract: 本发明公开了一种光学系统。在由多个光学部件(F、L1~L12)和孔径光圈(P)构成的成像光学系统(10)中,在这些光学部件中的凹面向着孔径光圈P的透光部件(例如,负弯月形透镜(L1、L2))的该凹面(2、3)上形成有防反射膜1,该防反射膜1至少包括一层或以上利用溶胶-凝胶法制成的层。

    衍射光学元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1677135A

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN200510062513.6

    申请日:2005-03-30

    Inventor: 田中一政

    CPC classification number: G02B5/1852 Y10S359/90

    Abstract: 提供一种由材质相互各异的第1要素(10)和第2要素(20)紧密结合,并在第1要素(10)和第2要素(20)的边界面上形成了衍射光栅槽(30)的衍射光学元件(1),在该衍射光学元件(1)中,至少第2要素(20)是光硬化树脂,第2要素(20)是利用通过第1要素(10)的光使之硬化而形成的,为了使基于因第1要素(10)的表面形成的衍射光栅槽(30)的凹凸导致的光的强度差而产生的第2要素(20)中的硬化收缩量的差在不降低衍射光学元件的要求性能的范围之内,上述衍射光学元件被设定为包括相对于上述光的第1要素(10)的内部透过率T1和第2要素(20)的内部透过率T2相等的值在内的预定范围的值。

    光学系统
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1677131A

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN200510062502.8

    申请日:2005-03-30

    Inventor: 田中一政

    Abstract: 本发明公开了一种光学系统。在由多个光学部件(F、L1~L12)和孔径光圈(P)构成的成像光学系统(10)中,在这些光学部件中的凹面向着孔径光圈P的透光部件(例如,负弯月形透镜(L1、L2))的该凹面(2、3)上形成有防反射膜1,该防反射膜1至少包括一层或以上利用溶胶-凝胶法制成的层。

    投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置

    公开(公告)号:CN1293822A

    公开(公告)日:2001-05-02

    申请号:CN00800017.4

    申请日:2000-01-06

    Abstract: 一个至少具有2个石英玻璃光学部件的投影光学系统,其特征是:测定垂直于以与各光学部件的光轴相交的交点为中心的光轴的面内多个位置的复折射值,当其相位超前补偿轴的朝向相对于与光轴的交点于放射方向时取多个复折射值为正,与放射方向平行时取多个复折射值为负,并求出带符号复折射值的分布,相互组合光学部件,以使基于这个分布计算出来的投影光学系统整体的带符号复折射特性值满足-0.5—+0.5nm/cm的配置条件。由此,可以使光学部件内的复折射值的不均匀分布对投影光学系统的成像性能、或者投影曝光装置的解像度的影响降到最小限度,能提供具有高成像性能的投影光学系统、投影光学系统的制造方法以及可以获得高解像度的投影曝光装置。

    变焦镜头系统和光学设备
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105388602B

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201510873801.3

    申请日:2012-01-18

    CPC classification number: G02B15/173 G02B1/115 Y10T29/49826

    Abstract: 本发明涉及变焦镜头系统、光学设备和用于制造变焦镜头系统的方法。一种变焦镜头系统沿着光轴按照从物体侧的次序包括:具有正折射光焦度的第一透镜组;具有负折射光焦度的第二透镜组;具有正折射光焦度的第三透镜组;具有负折射光焦度的第四透镜组;和具有正折射光焦度的第五透镜组,在从广角端状态到远摄端状态变焦时,第一透镜组相对于像平面移动,在第一透镜组和第二透镜组之间的距离增加,在第二透镜组和第三透镜组之间的距离减小,在第三透镜组和第四透镜组之间的距离改变,并且在第四透镜组和第五透镜组之间的距离改变,并且给定的条件表达式得以满足,由此提供一种具有足够高的光学性能的变焦镜头系统。

    变焦镜头、成像设备和制造变焦镜头的方法

    公开(公告)号:CN103250084B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201180059190.9

    申请日:2011-11-10

    Abstract: 本发明按从物体顺序具有:具有正屈光力的第一透镜组(G1);具有负屈光力的第二透镜组(G2);具有正屈光力的第三透镜组(G3);以及具有正屈光力的第四透镜组(G4),其中,通过改变透镜组之间的空气间隔来执行变焦,第四透镜组按从物体的顺序包括:第一正透镜构件(La)、具有面向物体的凸面的第二正透镜构件(Lb),以及负透镜构件(Lc),并且满足下述条件式:0.00<(Rb2?Rb1)/(Rb2+Rb1)<1.00,其中,Rb2表示构成第四透镜组(G4)的第二正透镜构件(Lb)的像侧面的曲率半径,并且Rb1表示构成第四透镜组(G4)的第二正透镜构件(Lb)的物体侧面的曲率半径。

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