公开(公告)号：CN102334161B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201080009890.2

申请日：2010-02-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： M·A·孚德 ,  J·纽曼 ,  J·A·马林 ,  D·J·霍夫曼 ,  S·莫法特 ,  S·文哈弗贝克

IPC: G11B5/73 ,  G11B5/82 ,  G11B5/84

CPC classification number: G11B5/82 ,  C23C14/48 ,  C23C14/50 ,  C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  G11B5/84 ,  G11B5/855 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供用于形成具有经磁性图案化的表面的基板的方法及装置。在一基板上形成包含具有磁性性质的一种或多种材料的一磁层。该磁层经受一图案化制程，在图案化制程中改变该磁层的该表面的选定部分，以使得该经改变的部分具有与非改变部分不同的磁性性质而不改变该基板的构形。在该经图案化的磁层上方沉积一保护层及一润滑层。该图案化经由将基板暴露于具有变动形式的能量的若干制程来实现。本文揭示的装置及方法使得能够同时处理一基板的两个主表面或藉由翻转相继处理一基板的两个主表面。在一些实施例中，该基板表面的磁性性质可藉由等离子体暴露来均匀地改变，且随后藉由暴露于经图案化的能量来选择性地复原磁性性质。

公开(公告)号：CN103996404A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410246897.6

申请日：2009-10-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： O·那拉玛苏 ,  S·文哈弗贝克 ,  M·孚德 ,  M·文卡特杉 ,  N·M·克里希纳

IPC: G11B5/855 ,  G11B5/82 ,  B82Y10/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/48

Abstract: 本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法，所述方法包括：在所述磁性薄膜周围提供图案，其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法，所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。