电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法

    公开(公告)号:CN103430272B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201180069268.5

    申请日:2011-06-02

    CPC classification number: B81B3/0018 B81C1/00134 H01H59/0009

    Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。

    静电致动器及其驱动方法
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102190275B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201110043026.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: B81C1/00698 B81B2201/0221 H01G5/18

    Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

    电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法

    公开(公告)号:CN103430272A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201180069268.5

    申请日:2011-06-02

    CPC classification number: B81B3/0018 B81C1/00134 H01H59/0009

    Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。

    可变电容元件
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101859643B

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201010124349.8

    申请日:2010-02-26

    CPC classification number: H01G5/011 H01G5/18

    Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分,可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方,并可相对于固定电极移动,固定部分隔着介电层固定到固定电极。

    可移动微器件
    36.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101256899B

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN200810081333.6

    申请日:2008-02-25

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/011 H01G5/06 H03J3/20

    Abstract: 一种可移动微器件,包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极,其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿,而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。

    可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法

    公开(公告)号:CN102054587A

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN201010532052.5

    申请日:2010-10-27

    CPC classification number: H01G5/015 H01G5/16

    Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极,其相互绝缘;可动电极,其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极;电介质层,其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间;第一接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极;和第二接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极,所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。

    可变电容器
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101231910B

    公开(公告)日:2011-03-02

    申请号:CN200810008929.3

    申请日:2008-01-25

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/01 H01G5/04 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种可变电容器,其适于抑制驱动电压特性的波动并用于实现静态电容量的更大变化率。该可变电容器包括固定电极和可动电极。该固定电极包括第一相对面,同时该可动电极包括面对该第一相对面的第二相对面。该可动电极进一步包括朝向该固定电极突出的弯曲部分。该可变电容器还包括设置在该第一相对面上的介电图案。

    微开关器件及其制造方法
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101226856A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200810001293.X

    申请日:2008-01-17

    Abstract: 一种微开关器件及其制造方法,所述微开关器件包括:固定部;可移动部;第一电极,具有第一触点和第二触点;第二电极,具有与第一触点相接触的第三触点;以及第三电极,具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中,在衬底上形成第一电极,再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后,在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极,第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极,第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。

    微开关器件及其制造方法
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101224865A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200710196910.1

    申请日:2007-12-06

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H2059/0081 Y10T29/49105

    Abstract: 一种微开关器件及其制造方法,所述微开关器件包括:基部衬底;位于衬底上的固定件;可移动部件,具有固定到固定件的端部,并且沿着衬底延伸;可移动接触电极,设置在可移动部件上并且背对衬底;固接接触电极对,接合到固定件,并且包括面对可移动接触电极的区域;可移动驱动器电极,设置在可移动部件上背对衬底的表面上,并位于可移动接触电极与固接端之间;以及固接驱动器电极,接合到固定件,并且包括具有面对可移动驱动器电极的区域的增高部分。增高部分具有面对可移动驱动器电极的台阶,其中距可移动接触电极越远的台阶越靠近衬底。本发明所提供的微开关器件可以有效降低其驱动电压。

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