驱动控制微机械装置的设备和方法

    公开(公告)号:CN101276691B

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN200810086194.6

    申请日:2008-03-18

    CPC classification number: H01G5/16 B81B7/008 B81C99/003 H01H2059/0018

    Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中,所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层,在两个所述电极之间提供控制电压,所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流的正侧和负侧,基于检测到的电流,关于所述正侧和负侧获取所述微机械装置的电容的时间常数或用于识别出所述电容的时间常数所需的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样,在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。

    静电致动器及其驱动方法
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102190275A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110043026.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: B81C1/00698 B81B2201/0221 H01G5/18

    Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

    可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备

    公开(公告)号:CN101515503A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200910007666.9

    申请日:2009-02-20

    CPC classification number: H01G5/16

    Abstract: 本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线,其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极,其设置在衬底的表面上、以及可动电极,其设置成与信号线和接地电极相对,可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位,静电吸引由施加到可动电极的电压产生,并且可动电极的移位量根据电压量变化。

    可移动微器件
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101256899A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200810081333.6

    申请日:2008-02-25

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/011 H01G5/06 H03J3/20

    Abstract: 一种可移动微器件,包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极,其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿,而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。

    可变电容器
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101231910A

    公开(公告)日:2008-07-30

    申请号:CN200810008929.3

    申请日:2008-01-25

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/01 H01G5/04 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种可变电容器,其适于抑制驱动电压特性的波动并用于实现静态电容量的更大变化率。该可变电容器包括固定电极和可动电极。该固定电极包括第一相对面,同时该可动电极包括面对该第一相对面的第二相对面。该可动电极进一步包括朝向该固定电极突出的弯曲部分。该可变电容器还包括设置在该第一相对面上的介电图案。

    可变电容器及其制造方法
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101034623A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200710085687.3

    申请日:2007-03-06

    Abstract: 一种可变电容器及其制造方法,该制造方法提供在温度变化影响下电容保持稳定的可变电容器。这种可变电容器包括:固定电极;活动电极膜,其面对该固定电极;以及锚定部,其在该固定电极与该活动电极膜之间提供部分连接。为了制造这种可变电容器,形成第一电极以用作固定电极。然后,在固定电极上形成锚定部,并形成牺牲膜以覆盖固定电极但部分地暴露出锚定部。在牺牲膜上形成第二电极以用作活动电极膜,并接合至锚定部。最后,去除牺牲膜。

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