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公开(公告)号：CN113390513B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110655660.3
申请日：2021-06-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微测辐射热计的三层像元结构，包括光吸收层、热敏层、电极层及其衬底。光吸收层与热敏层之间形成光学谐振腔，通过中空桥柱相连，减小微桥热容。热敏层将热敏电阻层最大化增加对红外透过光的吸收率，电极层将电极桥腿从两端弯曲摆布，增加桥腿的长度，减少热导。热敏层与电极层上下均铺有钝化层，电极桥腿分别与热敏电阻层和衬底相连，实现电学连通和热学连通。本发明在兼顾时间响应常数的同时，具有较高的红外吸收率和较低的热导，有效提高了像元的温升，具有更高的温度响应率和热灵敏度。
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