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公开(公告)号：CN104858121A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510235735.7
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，中心磁轭上设有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104849006A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510235706.0
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 涡流补偿的双永磁管两端对称励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，两圆筒形永磁管对称安装在磁路结构两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104848930A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510235674.4
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN103438840A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310112783.8
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间二维柔性铰链结构的精密测头姿态调整架属于超精密测量领域，调整装置的大L板与小L板之间、小L板与前调姿板之间均采用弹性片进行柔性连接，且均留有一定的间隙用于调节倾角，通过调节旋配在细牙螺母中的螺钉可以分别对测头装卡件的二维倾角进行精密调节；本发明具有二维倾角精密调节的特性，可有效解决超精密测量仪器对测头垂直度的要求。
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公开(公告)号：CN103162625A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310078588.8
申请日：2013-03-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于差动象散离焦检测的超精密三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，由差动象散离焦检测单元、柔性悬挂机构、精密调节机构和外壳组成，柔性悬挂机构由刚性十字架、弹性膜片、反射镜支架、测针组成，将测针的位移以高位移传递率传递到反射镜；差动象散离焦检测单元由DVD激光头、反射镜组成，对反射镜的位移进行高精度差动检测；精密调节机构由可移动楔形块、从动楔形块组成，实现初始状态下DVD激光头的高精度零位聚焦；本发明最大可测深宽比可达40∶1及以上，分辨力可达纳米级，解耦方便，抗干扰能力强，为具有大深宽比特征的深孔、狭槽等内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106338333B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610667674.6
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于波片偏航的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104897047B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510341862.5
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 无正交误差的双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104931125B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510340552.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104880290B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510236284.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104907242B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235731.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的长永磁管向心励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，中心磁轭上均匀地绕有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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