公开(公告)号：CN112091419A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202010978499.9

申请日：2020-09-17

Applicant: 吉林大学

Inventor： 徐淮良 ,  苏越

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/352 ,  B23K26/362 ,  B23K26/60 ,  G01L1/18 ,  G01L9/06

Abstract: 本发明公开了一种基于百TW/cm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法，属于柔性压力传感器模板技术领域，首先基于百TW/cm2高强度激光在硅片以及金属表面上制备微结构模板，通过扫描振镜系统调控高强度激光的运动轨迹及速度，可以实现模板的图案化制备，接下来对模板进行表面硅烷化处理，并通过生长一层Parylene的方式减少模板与PDMS间的粘附性，增加翻模成功率，并且在模板表面形成坚固光滑的保护膜以便于多次翻模。在本发明中主要采用高强度激光烧蚀的方式一方面可以实现模板高效快速制备，并且对材料没有选择性，另一方面通过引入尺寸较小的微纳米结构，有效的提高器件的稳定性以及灵敏度，这在传感器制备领域具有巨大的应用潜力以及诱人的发展前景。

公开(公告)号：CN112067079A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010978512.0

申请日：2020-09-17

Applicant: 吉林大学

Inventor： 徐淮良 ,  苏越

IPC: G01F23/14 ,  G01L9/06

Abstract: 本发明公开了一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域，采用飞秒激光光丝实现图案化高浓度掺杂，制备出压敏电阻，采用飞秒直写系统对注入层进行退火处理，沉积钝化层并通过光刻、刻蚀得到接触孔，通过光刻、磁控溅射得到金属铝导线和焊盘。在背面通过光刻、刻蚀得到硅杯窗口，通过腐蚀得到应变膜。制备好的器件与硼硅玻璃进行键合，制备出阵列式硅杯型压力传感器，本发明采用飞秒激光光丝掺杂与飞秒激光退火相结合方式，操作简单、掺杂效率高、选择性在晶圆表面进行激光处理，可避免热退火所导致的衬底电学参数变坏、注入杂质再分布以及注入图形发生畸变的问题，整体采用阵列式结构以便于液面不同高度的检测。

公开(公告)号：CN109483058B

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN201811507061.1

申请日：2018-12-10

Applicant: 吉林大学

Inventor： 徐淮良 ,  苏越 ,  付尧

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/60

Abstract: 本发明提出一种在不规则金属曲面上快速大面积远程制备超疏水抗反射结构的方法，属于多功能材料的制备技术领域，采用飞秒激光光丝加工以及化学氟化处理相结合的方法来实现在具有不规则的不锈钢和钛合金金属曲面样品表面上快速大面积远程制备多功能表面，通过程序化控制三维位移平台的运动轨迹来实现飞秒激光光丝对样品的连续扫描，进而对样品进行化学氟化处理，最终在具有不规则的不锈钢和钛合金金属曲面样品表面上实现具有抗反射性以及超疏水特性的多功能表面的制备，其反射率在紫外到近红外的光谱范围内不高于10％，并且其水接触角可高达150°以上。