公开(公告)号：CN102975112B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201210568634.8

申请日：2012-12-24

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  吴沿鹏 ,  杨炜 ,  叶卉

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/005

Abstract: 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。

公开(公告)号：CN102873594B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201210366271.X

申请日：2012-09-27

Applicant: 厦门大学

Inventor： 杨炜 ,  姜涛 ,  郭隐彪

IPC: B24B1/04

Abstract: 一种高度可调的倾角式超声振动加工装置，涉及一种光电产业与半导体产业硬脆性材料加工装置。提供一种固定磨粒超声椭圆振动的角度与高度可调，可提高加工效率的一种高度可调的倾角式超声振动加工装置。氧化铈固结磨料砂轮与应变片式压力传感器粘贴在超声振子的底部，超声振子与弹簧座固定，弹簧座上装有2个弹簧，弹簧座与微动平台固定，微动平台固定在转轴的凹槽上，转轴与主轴相连接，主轴通过联轴器与旋转电机连接，旋转电机与旋转电机转接板和电机支撑板固定在箱体上，倾角旋转臂将倾角旋转电机与箱体连接，倾角旋转电机与倾角旋转电机锁板固定。

公开(公告)号：CN103438800A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310383473.X

申请日：2013-08-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  张东旭 ,  杨平 ,  杨炜 ,  王詹帅

IPC: G01B11/00

Abstract: 用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法，涉及光学元件检测。将空间误差分解为X、Y平面内误差和该平面沿Z轴运动后由Z轴所引起的误差，综合利用这两部分误差值，通过分别对X、Y两轴联动误差、Z轴定位误差进行多项式拟合以及将Z轴实际运动轨迹分别向ZO1X和ZO1Y平面垂直投影和解多个相关直角三角形的方法计算出空间误差值。因为所应用的误差值均可通过已有设备进行测量，从而实现了大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算。

公开(公告)号：CN103331694A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201310314412.8

申请日：2013-07-24

Applicant: 厦门大学

Inventor： 杨炜 ,  叶卉 ,  吴沿鹏 ,  郭隐彪

IPC: B24B39/06

Abstract: 一种抛光区域可调式抛光装置，涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构；所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板；所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座；所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式，实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光，调整灵活，方便可行。

公开(公告)号：CN102049716B

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201010227864.9

申请日：2010-07-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  姜晨 ,  杨炜 ,  唐旎 ,  潘日

IPC: B24B13/00

Abstract: 一种用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置，涉及一种压力装置。提供一种用于调节工件的抛光面在加工时所受的压强，不仅可改善工件的抛光质量和控制材料去除率，而且结构简单且实用的用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置。设有质量块和夹具平板。质量块作为压力源；夹具平板设有支杆、底座和吸附基模，支杆用于装载质量块，底座下部连接吸附基模，其中吸附基模设有基体和薄膜，底座通过吸附基模的薄膜吸附在工件表面，使得整个装置固定在工件的相应部位。