一种高质量非极性AlGaN微纳复合结构及其加工方法

    公开(公告)号:CN112018199B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN201910461768.1

    申请日:2019-05-30

    Abstract: 本发明涉及一种高质量非极性AlGaN微纳复合结构,包括基底、柱状固体介质阵列结构和孔状非极性AlxGa1‑xN层。本发明可显著降低非极性AlGaN面内应力,从而达到大幅度减弱非极性AlGaN产生位错的根源,实现非极性AlGaN位错密度的有效降低和晶体质量的有效提高。还可以适应非极性AlGaN在不同Al组分条件下应力各向异性的变化,最大限度上解决非极性AlGaN因存在的面内应力各向异性导致的问题。使用该复合结构可进一步生长高质量的非极性AlGaN基薄膜,广泛应用于非极性AlGaN基紫外、深紫外发光器件以及紫外、日盲探测器件的制备,并可显著提高制备器件的性能、稳定性及寿命。

    基于聚苯乙烯微球阵列结构的彩色喷墨打印方法

    公开(公告)号:CN113829759B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202111001867.5

    申请日:2021-08-30

    Abstract: 本发明公开了基于聚苯乙烯微球阵列结构的彩色喷墨打印方法,所述方法包括:利用不同粒径的白色PS小球粉末制备多种浓度且包含不同粒径小球的悬浮液;在需要打印的基板上划分不同区域,根据颜色需要将不同悬浮液喷涂到各个区域;待悬浮液蒸发后,各个区域形成了不同粒径小球构成的薄膜阵列;根据颜色需求再在各个区域喷涂不同厚度的金纳米粉末,由于薄膜阵列和小球缝隙中不同厚度的金粉形成不同颜色,实现彩色打印。本发明基于PS小球构成的结构色薄膜,并在均匀划分的小球阵列喷涂不同厚度金纳米粉末于小球缝隙中;利用聚苯乙烯微球构成的有序阵列和金纳米颗粒的局域表面等离子体激元共振特性即对紫外可见光区的光谱吸收效应来实现颜色的改变。

    基于核/壳纳米周期性线阵列等离子体超材料的光纤氢气传感器

    公开(公告)号:CN111208059B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202010086463.X

    申请日:2020-02-11

    Abstract: 本发明涉及一种基于核/壳纳米周期性线阵列等离子体超材料的光纤氢气传感器,包括光纤和光纤端面上图案化的金核/钯壳纳米线阵列,其制备方法为:在光纤端面上沉积金和铝,通过阳极氧化工艺形成多孔氧化铝结构,腐蚀扩大孔的直径并填充金,形成金纳米线,与氧化铝结构形成氧化铝金纳米线复合薄膜,并在金纳米线周围或端面镀钯,形成金‑钯复合结构;在镀钯的氧化铝金纳米线复合薄膜表面转移一层周期有序的聚苯乙烯纳米微球薄膜,通过离子刻蚀去除未被聚苯乙烯纳米微球掩膜的金‑钯复合纳米线结构,并去除聚苯乙烯纳米微球;最后去除氧化铝基质。本发明是通过电化学技术制造光学传感器,方法简单且成本低,该光纤传感器具有高灵敏性、高安全性。

    一种纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114965302A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210630771.3

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明公开了湿度传感器技术领域的一种纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器及其制备方法,包括:包括能够引起的F_P模式的纳米陀螺形结构阵列,且纳米陀螺形结构阵列中部设置有能够引起圆盘SPP模式的圆盘阵列,所述纳米陀螺形结构阵列的F_P模式和圆盘阵列的圆盘SPP模式叠加形成Fano模式,所述纳米陀螺形结构阵列中还设置有吸水材料,且吸水材料在不同湿度的空气中,通过自身吸水量的变化改变纳米陀螺形结构阵列的谐振模式,进而使纳米陀螺形结构阵列在光照下反射出不同颜色的光。本发明解决现有传感器寿命短,稳定性差,精度低,可重复性差的缺陷。

    一种纳米线结构色彩色显示屏及其制作方法

    公开(公告)号:CN114879390A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210629772.6

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明公开了显示屏技术领域的一种纳米线结构色彩色显示屏及其制作方法,包括由多个金纳米线封装组成的金纳米线阵列,多个所述金纳米线阵列分布于两个透明电极板之间,且每个金纳米线均与透明电极板相对垂直,每个所述金纳米线阵列内均填充液体,所述透明电极板上设置有与各金纳米线阵列相对应的电极,且每个金纳米线阵列内填充的液体高度随对应的电极电压调控而变化,使得每个金纳米线阵列内的谐振波长发生偏移,从而在光源照射下反射出不同颜色的光。本发明通过金纳米线中所填充的液体的高度差,从而引起谐振模式的变化来反射出不同颜色的光,从而实现屏幕的彩色显示,纳米线材料具有硬度高、弹性好的特点,使用寿命将会更长。

    一种基于纳米同轴波导管的光纤氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113324949A

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202110629305.9

    申请日:2021-06-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于纳米同轴波导管的光纤氢气传感器及其制备方法,涉及气体传感器技术领域。该光纤氢气传感器由光纤、设置于光纤端面上的周期性环形同轴波导管阵列结构以及包裹于周期性环形同轴波导管阵列结构外侧的钯层组成。通过光谱仪检测微结构激发表面等离激元共振的波长位置的移动判断氢气浓度的变化,以高灵敏度的光学检测方法测量氢气,同时具有高稳定、低外界干扰的特性。相比于现有氢气传感器,本发明中的结构和制备方法灵敏度高,可靠性高,成本低,体积小,功耗低,易于组成传感网络等。

    一种高质量非极性AlGaN微纳复合结构及其加工方法

    公开(公告)号:CN112018199A

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201910461768.1

    申请日:2019-05-30

    Abstract: 本发明涉及一种高质量非极性AlGaN微纳复合结构,包括基底、柱状固体介质阵列结构和孔状非极性AlxGa1-xN层。本发明可显著降低非极性AlGaN面内应力,从而达到大幅度减弱非极性AlGaN产生位错的根源,实现非极性AlGaN位错密度的有效降低和晶体质量的有效提高。还可以适应非极性AlGaN在不同Al组分条件下应力各向异性的变化,最大限度上解决非极性AlGaN因存在的面内应力各向异性导致的问题。使用该复合结构可进一步生长高质量的非极性AlGaN基薄膜,广泛应用于非极性AlGaN基紫外、深紫外发光器件以及紫外、日盲探测器件的制备,并可显著提高制备器件的性能、稳定性及寿命。

    一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法

    公开(公告)号:CN108195494A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810204154.0

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法,所述光学压力传感器主要构成为:刻蚀有脊形波导阵列的基底,在其表面溅射一层金属膜,外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap-SPP。压力使基底发生形变,进而使阵列之间gap的大小改变,进而引起SPP波长的改变,将压力信号转为光学信号来检测。本发明基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器,本发明对光纤距离敏感膜的距离不敏感,因此可以减少温度的影响,同时易于加工制造。

    基于表面等离激元效应的纳米环形腔SERS基底及其制作方法

    公开(公告)号:CN105842228A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610328132.6

    申请日:2016-05-17

    CPC classification number: G01N21/658 B82Y40/00

    Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离激元效应的纳米环形腔SERS基底,包括基片,基片上设置有纳米级单层PS微球阵列,PS微球阵列中填充有SiO2或者TiO2前驱物溶液形成的凝胶层,凝胶层的厚度小于微球直径,PS微球顶部与凝胶层之间设有纳米级环形凹腔,在基片的表层还覆有金属层,覆有金属层的环形凹腔形成金属环形腔阵列。将待检测样品填充在环形凹腔内,光照时金属环形腔内形成圆柱形表面等离激元,形成强烈的局域电场增强,待检测样品借助增强的电场激发出能够检测到的拉曼信号,结构简单,易于加工制备。本发明还公开了一种SERS基底的制作方法,采用纳米微球和旋涂方法在平面基片制备环形腔阵列,方法简单,易于规模化生产。

    一种可调谐氢气传感器及其制备工艺

    公开(公告)号:CN119915867A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510406178.4

    申请日:2025-04-02

    Abstract: 本发明属于光化学传感器技术领域内的一种可调谐氢气传感器及其制备工艺,包括氢敏金属膜和压电片;所述氢敏金属膜为多个氢敏金属体以阵列方式形成的结构层,所述氢敏金属体为纳米级的碗状结构,两片所述氢敏金属膜以所述氢敏金属体的碗顶相对方式对合压紧,两片所述氢敏金属膜分别连设于一片所述压电片上,两片所述压电片通过形变调节两片所述氢敏金属膜之间的距离。本发明通过压电片能够实现氢敏金属膜之间纳米级距离的精确调控,在低浓度下增强电磁场耦合,放大微弱信号,实现对低浓度氢气的高灵敏检测,而在高浓度下减弱耦合,避免信号饱和,能够适应从低至100 ppm到高浓度的氢气检测需求,适用于燃料电池、工业气体检测等多种应用场景。

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