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公开(公告)号：CN1208672A
公开(公告)日：1999-02-24
申请号：CN98114865.4
申请日：1998-06-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B03B5/00
CPC classification number: H01L21/67092 , Y10S134/902 , Y10T156/1939
Abstract: 本发明涉及一种用于将具有多孔层的基片从多孔层分离的设备。具有多孔层的粘合基片叠层在转动中由基片夹头支承。喷嘴喷射高速、高压液体或水的射流。射流通过一导向组件向粘合基片中推进。导向组件的轴向位置由一电机调整,使射流集中射入粘合基片叠层的粘合界面。
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