公开(公告)号：CN1221972A

公开(公告)日：1999-07-07

申请号：CN98126328.3

申请日：1998-12-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 柳田一隆 ,  米原隆夫 ,  近江和明 ,  坂口清文

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/68 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的目的是提供一种用来在多孔层处分离具有多孔层的衬底的装置。具有多孔层(101b)的键合衬底叠层(101)在旋转的情况下由衬底固定部分(120,150)支持。高速高压的水(射流)从喷嘴(102)射出,使射流注入到键合衬底叠层(101)中。衬底固定部分(120,150)将键合衬底叠层(101)固定成使之由于注入的水的压力而能够在其中央部分膨胀。这就有效地施加了从键合衬底叠层(101)内部向外作用的力(分离力)。

公开(公告)号：CN1208672A

公开(公告)日：1999-02-24

申请号：CN98114865.4

申请日：1998-06-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 近江和明 ,  米原隆夫 ,  坂口清文 ,  柳田一隆

IPC: B03B5/00

CPC classification number: H01L21/67092 ,  Y10S134/902 ,  Y10T156/1939

Abstract: 本发明涉及一种用于将具有多孔层的基片从多孔层分离的设备。具有多孔层的粘合基片叠层在转动中由基片夹头支承。喷嘴喷射高速、高压液体或水的射流。射流通过一导向组件向粘合基片中推进。导向组件的轴向位置由一电机调整,使射流集中射入粘合基片叠层的粘合界面。