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公开(公告)号：CN106352863A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510419856.7
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式Z轴气流角速度传感器，由开放式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式Z轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，出口敏感室中下硅板表面设置一对长的平行热线分别作为PCB电路板中惠斯登电桥的两个臂。本发明出口敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106338614A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510415596.6
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式Z轴PET角速度传感器，该气流式角速度传感器包括单循环气流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式Z轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有一对平行敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PET盖板、硅板和PET底座依次连接构成单循环气流式Z轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器射流敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强；以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，角速度传感器的稳定性好，角速度传感器灵敏度较大。
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公开(公告)号：CN210155164U
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201921102015.3
申请日：2019-07-15
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种热膨胀流三轴加速计，包括：顶盖和底座；顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，凸缘内设置有圆柱形上腔室，上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝；所述底座的顶面设置有与所述凸缘相适配的凹槽，所述凹槽内设置有圆柱形下腔室，所述下腔室内设置有两两相对且平行的四对绝缘子，每对绝缘子上设置有一根热敏丝；用于敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝中心设置有热源硅片，所述热源硅片通过绝缘子固定设置在所述下腔室内。本实用新型可以实现三轴加速度的测量。其结构简单、寿命长、抗冲击能力强、成本低，同时可抵抗外界环境的干扰和提高流体加速度计的灵敏度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209055107U
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201822048889.7
申请日：2018-12-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 本实用新型涉及水平姿态传感器领域，尤其是涉及一种使用石英力敏谐振器作敏感元件的水平姿态传感器。该水平姿态传感器包括：敏感元件、电路板、敏感质量块、底座、托盘、过载防护架、基座以及外壳；其中，所述敏感元件由两片六电极石英敏感元件构成，两片所述六电极石英敏感元件前后平行设置，二者的底部均与所述底座固定连接，顶部均与所述敏感质量块固定连接。本实用新型对应的六电极石英力敏元件，每个力敏元件经组合可得到15个差频信号，将此15个差频信号进行叠加求和，得到的力频转换系数可达n×103Hz/N的量级。
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公开(公告)号：CN208907900U
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201821769445.6
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210222060U
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201921478051.X
申请日：2019-09-06
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本实用新型涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本实用新型采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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