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公开(公告)号：CN109917828B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201910297225.0
申请日：2019-04-15
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统，属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号，微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系，综合计算输出微小力的数据。微小力发生模块利用静电力方法，采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围。本发明能够在微小力值的多种环境条件，通过干涉方法准确微小力值发生的位移变化进而确定微小力值的大小。本发明具有较高适应性和准确性，结构紧凑。和量值度量。
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公开(公告)号：CN110132184B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201910494551.0
申请日：2019-06-10
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/28
Abstract: 本发明公开的纳米压入面积测量装置，属于光学及力学精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学系统模块、信号解调模块、数据处理模块组成。所述光学系统模块中主要由光源，散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。本发明采用稳定功率输出的激光作为测量光源；光束经分光棱镜后进入会聚物镜聚集于纳米压入压头；调控激光光源的功率，散射光经会聚物镜及分光棱镜在测量接收器件获取测量光电信号，根据信号处理纳米压入压头与被测对象间距及面积，通过散射光功率和光斑范围确定纳米压入面积，提高纳米压入面积测量的准确度，具有较高测量对象适应性。
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公开(公告)号：CN110132184A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910494551.0
申请日：2019-06-10
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/28
Abstract: 本发明公开的纳米压入面积测量装置，属于光学及力学精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学系统模块、信号解调模块、数据处理模块组成。所述光学系统模块中主要由光源，散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。本发明采用稳定功率输出的激光作为测量光源；光束经分光棱镜后进入会聚物镜聚集于纳米压入压头；调控激光光源的功率，散射光经会聚物镜及分光棱镜在测量接收器件获取测量光电信号，根据信号处理纳米压入压头与被测对象间距及面积，通过散射光功率和光斑范围确定纳米压入面积，提高纳米压入面积测量的准确度，具有较高测量对象适应性。
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