公开(公告)号：CN215935147U

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202121028338.X

申请日：2021-05-14

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 刘祥群 ,  刘宇 ,  余鹏程 ,  张逍 ,  雷久侯 ,  曹金祥

IPC: H05H1/24

Abstract: 本实用新型公开一种用于外场试验的便携式等离子体实验装置，包括平装探针或其它传感器(1)，机械泵浦(2)，便携式气压计(3)，等离子体发生装置(4)，高频电源(5)，和气源(6)；等离子体发生装置(4)一端设置有三通接口，其中三通接口的第一接口为探针端口(7)，三通接口的第二接口连接机械泵浦(2)，三通接口的第三接口连接便携式气压计(3)；等离子体发生装置(4)的另一端连接气源(6)；空心螺线管(11)缠绕在等离子体发生装置(4)的外表面上；高频电源(5)与空心螺线管(11)相连接。本实用新型装置尺寸较小，但构造巧妙，操作简单，等离子体分布区域满足探针测量，能够长时间稳态工作。

公开(公告)号：CN208172617U

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201820735889.1

申请日：2018-05-17

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 刘宇 ,  雷久侯 ,  曹金祥 ,  余鹏程 ,  李敏迟

IPC: G05D16/20 ,  H05H1/26

Abstract: 本实用新型公开了一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，包括气压维持仓，气压维持仓内设有活塞，活塞与螺杆传动装置连接，螺杆传动装置与步进电机连接，气压维持仓设有注气口、出气口和气压表，注气口和出气口分别设有电磁阀控制。气压维持仓设有活塞位置检测装置。气压表、电磁阀控制、步进电机的控制单元和活塞位置检测装置分别与控制系统连接。出气口与产生等离子体的真空室相连，注气口与电负性气体气瓶相连，能够动态维持气压，维持电负性气体释放速度稳定，从而保证物理实验结果的精确性。解决了电负性气体释放中气压不断下降的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN211792198U

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201921134276.3

申请日：2019-07-18

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 刘宇 ,  张仲恺 ,  雷久侯 ,  曹金祥

IPC: H05H1/46

Abstract: 本实用新型公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置，本实用新型技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本实用新型技术方案所述装置具有结构简单、电磁波-等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达1012cm-3量级的等离子体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207816558U

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201721688777.7

申请日：2017-12-07

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 余鹏程 ,  徐亮 ,  张仲凯 ,  刘宇 ,  张逍 ,  曹金祥

IPC: G01M9/06

Abstract: 本实用新型公开了一种用于高速流场等离子体参数诊断的平装探针装置，该装置包括平装探针，其中，平装探针将探针电极表面与绝缘套表面相齐平。该结构很好的解决了在高速流场等离子体中，传统的静电探针由于电极裸露而在流场中易被损坏，以及传统静电探针伸出飞行物表面而影响飞行安全的问题。由此可见，在高速流场等离子体环境中，平装探针可以代替静电探针更好的诊断等离子体参数信息。本实用新型采用电极表面和飞行物表面相齐平的结构，成功的解决了传统朗缪尔探针电极裸露易绝缘和损坏的难点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利