光纤法珀压力传感器
    32.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214893787U

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202121545055.2

    申请日:2021-07-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型描述一种光纤法珀压力传感器,其包括敏感单元和光学组件,敏感单元包括层叠设置的具有第一光学表面的第一膜片以及具有第二光学表面的第二膜片,第一光学表面与第二光学表面相对且平行地设置并且在第一光学表面与第二光学表面之间形成有空腔,第一膜片具有与空腔连通的通孔,光学组件嵌设于通孔中,经由光学组件而进入空腔的光线能够在光学组件嵌入于通孔中的一端的端面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号,其中,第二膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变,通过感测光学信号以感测压力。根据本实用新型,能够在高温环境中感测压力。

    LTCC光纤法珀高温压力传感器及传感系统

    公开(公告)号:CN205679342U

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201620450511.8

    申请日:2016-05-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器及传感系统,该传感器主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本实用新型采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座,用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内,采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接,使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔,通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化,从而进行压力测量。本实用新型解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外,采用光纤传输可以隔绝高温,消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下,所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。

    非本征光纤法珀压力传感器

    公开(公告)号:CN214893786U

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202121545052.9

    申请日:2021-07-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型描述一种非本征光纤法珀压力传感器,其包括敏感单元、以及与敏感单元连接的光学组件,敏感单元包括依次层叠的第一膜片、配置为光线可透射而过的第二膜片、以及具有通孔的第三膜片,第一膜片与第二膜片之间形成有空腔,通孔的轴线正交于第一光学表面,光学组件嵌设于通孔中,经由光学组件和第二膜片而进入空腔的光线能够在第一光学表面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号,其中,第一膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变,通过感测光学信号以对压力进行感测。根据本实用新型,能够提供一种在高温环境中感测压力的压力传感器。

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