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公开(公告)号：CN102590282A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210007367.7
申请日：2012-01-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法，对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本发明的测试方法简单，测试设备要求低，测试结构的加工过程与微机电器件MEMS同步，没有特殊加工要求，符合在线测试的要求，计算方法仅限于简单数学方程，测试与计算过程稳定，输出结果可靠。
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公开(公告)号：CN105628277B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201610029440.9
申请日：2016-01-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明公开一种基于角度变化的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、两个锚区、两根被测悬臂梁、四根小悬挂梁和六根细短梁，整个测试结构分为关于纵向中轴线L完全对称的左边结构和右边结构；所述测试结构中的四根小悬挂梁、两根被测悬臂梁的末端，以及相连的六根细短梁，围成一矩形环状。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，将会带动矩形环变形，成为类似菱形环的形状，通过测量类菱形环的夹角，即可判断出结构层应力梯度的大小。本发明方法与常用光学方法比较，降低了对观测设备的要求，直观、方便。
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公开(公告)号：CN105547542A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610027409.1
申请日：2016-01-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/24
CPC classification number: G01L1/24
Abstract: 本发明公开一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、两个长锚区、六根带有检测孔的被测悬臂梁。所述两个长锚区固定在衬底的上表面上；所述被测悬臂梁的一端固定在长锚区的一个侧面，另一端刻蚀着一个方形通孔作为检测孔，检测孔的侧壁垂直于表面；所述六根带有检测孔的悬臂梁每三根一组，相互平行的固定在一个长锚区上；所述两组悬臂梁的悬置端两两相对，完全对称的相向放置。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，检测孔的侧壁会随之发生倾斜，根据观察到前侧壁或后侧壁在水平面上的投影面积，即可判断被测悬臂梁的弯曲情况。本测试方法降低了对观测设备的要求，直观、方便。
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公开(公告)号：CN104445056B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410765428.5
申请日：2014-12-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 一种用于测试MEMS振动疲劳或扭转疲劳的四梁测试结构，包括衬底、沉积于衬底上表面的四块正方形下板板、水平悬置在衬底上方的一块大正方形上极板、连接于上极板的四根窄梁、水平连接在衬底上的一个方形环框架。所述四块正方形下极板相互独立，表面均涂有介质薄层，以2×2排列方式构成一个大正方形；所述四根窄梁的一端分别垂直连接在正方形上极板四条边的侧面的中部，另一端分别连接在外围方形环框架的四个侧面，上极板和四根窄梁及方形环框架的顶面处同一平面；所述上极板通过四根窄梁和方形环框架的支撑悬置在整个下极板的正上方。该发明结构简单，测试方便，易于加工且功能强。
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公开(公告)号：CN103552974B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310565414.4
申请日：2013-11-14
Applicant: 东南大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构，包括衬底、悬臂梁的锚区、悬臂粱、涂覆于衬底表面的静电下拉电极和接触电极以及弯梁电热执行器。所述弯梁电热执行器由锚区和通电可膨胀的两个弯梁分支组成；所述弯梁通过连接在分支末端的两个锚区的支撑，悬浮在衬底的上方和悬臂梁末端附近的下方，通电加热后，弯折端可向前延伸。本发明提供一种可以有效解决粘附失效问题的悬臂梁结构，从结构设计上增加弯梁电热执行器消除粘附，改善了因粘附而导致的故障率高、维护难、效率低的缺陷，提高运作的稳定性和可靠性，具有重要的实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103604536B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310618847.1
申请日：2013-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构，包括衬底、两块下极板和上极板、直角梁和两个锚区；下极板沉积于衬底上表面；两个锚区置于衬底上；上极板悬置在下极板上方，直角梁以上极板为轴分为完全对称的两部分，每一部分包括两个直角边，其中一个直角边连接上极板的一侧，另一个直角边固定在一个锚区侧面；上极板与直角梁位于同一平面，该平面与衬底所在平面平行；两块下极板与上极板之间分别形成平板电容C1和C2。结构层残余应力在引起上极板的平移后，电容C1和C2会发生变化，通过MEMS电容常规测试，即可获取残余应力的具体信息。本发明通过简单的电容结构，实现了表面微机械加工过程中产生的残余应力的测试，且成本低廉，易于操作。
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公开(公告)号：CN103017942B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210516984.X
申请日：2012-12-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/00
Abstract: 本发明公开了一种微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构，包括衬底、十字梁、下拉电极、拉动电极和衬底接触电极阵列；十字梁由横梁和扭转支撑梁组成，扭转支撑梁连接在衬底上；衬底接触电极阵列采用离子注入的掺杂方式形成在衬底的顶面，衬底接触电极阵列包括至少三根相互平行布置的条形电极，每根条形电极的一端连接一个压焊块；下拉电极、拉动电极、衬底接触电极阵列均连接在衬底上，衬底接触电极阵列和下拉电极位于横梁同一侧下方；拉动电极位于横梁另一侧下方。该测量结构解决了一般条形电极所存在的表面高低起伏的问题，并且获得的可动粱接触粘附信息准确。同时，本发明还公开了该测量结构的测量方法，该测量方法简单易行。
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公开(公告)号：CN103904932A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410164513.6
申请日：2014-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: H02N1/06
Abstract: 本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法，采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体，在腔体内设置有可动金属电极(23)，可动金属电极（23）能够在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)表面运动，储存在电荷陷阱型非易失性存储器结构中的电荷极化可动金属电极。本发明提供的静电式振动能量收集器无需外加电源，设计和结构简单，具有高的能量采集效率，与CMOS工艺兼容，易于微型化，可靠性高，并能应用于高温、高湿等恶劣环境。
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公开(公告)号：CN103888888A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410159536.8
申请日：2014-04-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种电容式硅微型麦克风及其制作方法。一种电容式硅微型麦克风，包括衬底、背板以及支撑结构，所述衬底上设有隧穿层，所述隧穿层上设有介质层，所述介质层作为存储层，所述存储层上设有阻挡层；在所述衬底正中下方位置开设有一空腔，位于所述空腔正上方的衬底、隧穿层、存储层以及阻挡层共同构成一振膜；所述背板设在所述衬底上方，所述背板设有通孔；所述背板和所述振膜之间通过支撑结构连接，并在所述振膜正上方形成一间隙。本发明提供的电容式硅微型麦克风无需外加电源，与CMOS工艺兼容，具有易于微型化、低成本、高精度、高可靠性的优点，并能应用于高温、高湿等恶劣环境。
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公开(公告)号：CN102590282B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210007367.7
申请日：2012-01-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法，对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本发明的测试方法简单，测试设备要求低，测试结构的加工过程与微机电器件MEMS同步，没有特殊加工要求，符合在线测试的要求，计算方法仅限于简单数学方程，测试与计算过程稳定，输出结果可靠。
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