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公开(公告)号：CN108475895B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201780006760.5
申请日：2017-01-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/10 , B23K26/064 , B23K26/067 , G02B5/18 , G02B5/30 , H01S3/00
Abstract: 得到能够容易地进行向被加工物的稳定的激光加工的激光加工装置、及在该激光加工装置中使用的用于激光的功率平衡装置。用于激光的功率平衡装置具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。
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公开(公告)号：CN111656250A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201980009412.2
申请日：2019-01-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B26/10 , B23K26/082 , G02B26/08
Abstract: 电扫描器(100)的特征在于，具有：轴(22)，其以中心轴线为中心进行旋转；圆筒部，其形成供轴(22)插入的插入孔；固定部，其从圆筒部的外周沿圆筒部的径向延伸；光栅板(50)，其在表面形成光学图案，固定于固定部；以及凸起部，其形成在相对于中心轴线(60)而成为固定部的相反侧的位置，沿外周的径向延伸。
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公开(公告)号：CN105745796B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201480056463.8
申请日：2014-05-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/0971 , H01S3/041
Abstract: 目的在于通过提高激光介质气体的冷却能力，获得一种小型且高输出的正交激励型气体激光振荡装置。正交激励型气体激光振荡装置具备：放电部，具有一对放电电极；轴流送风机，具有多个动叶，通过永磁铁式马达而工作；第一热交换器，多个冷却片配置于与光轴正交的平面上；第二热交换器，多个冷却片配置于与光轴正交的平面上；及风道，架设于放电部和第一热交换器之间，在气体通路上配设有轴流送风机。轴流送风机相比第一热交换器配置于上风侧。第二热交换器相比轴流送风机配置于上风侧。
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公开(公告)号：CN107534262A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023276.9
申请日：2016-04-20
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 对于在基座框架上经由运动学安装件搭载有放大装置的激光器装置、和使用该激光器装置的极端远紫外(EUV)装置，使得即使在运动学安装件的构造中产生热膨胀及收缩，光轴也不变化，不会发生激光器的品质恶化的情况。运动学安装件(31～33)由具有0自由度、1自由度及2自由度的3点(O，A，B)构成，从与由上述3点构成的平面垂直的方向观察，激光(18)的向放大装置(28)射入的入射光轴或者从放大装置射出的出射光轴的延长线(SU、CT)朝向0自由度的点(O)，1自由度的点(A)的行进方向朝向0自由度的点(O)，相比于1自由度的点(A)的一侧，光轴的延长线从所述2自由度的点(B)的一侧通过。
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公开(公告)号：CN103547809B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180070960.X
申请日：2011-06-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: F04D29/64
CPC classification number: F04D29/644 , F04D29/601 , F04D29/64 , F04D29/668 , H01S3/036
Abstract: 本发明提供一种鼓风机装置（10），其具备马达（1）、动翼（3）、鼓风机壳体（4）、将被突出地设置在鼓风机壳体（4）的外周部的安装部（41）安装在被配置于安装部（41）的吸入口侧的鼓风机支撑部件（6）的弹性部件（7）、和在安装部（41）的吸入口侧被设置在鼓风机壳体（4）的外周部全周的法兰部（42）。弹性部件（7）在与旋转轴（2）大致正交的同一平面内被配置3个或3个以上，且在各弹性部件（7）的旋转轴方向两端部具有与旋转轴（2）大致正交的粘接面（73A、73B），在一方的粘接面（73A）上通过粘接固定安装部（41），在另一方的粘接面（73B）上通过粘接固定鼓风机支撑部件（6）。法兰部（42）被设置成，经比弹性部件（7）的旋转轴方向的厚度小的缝隙与鼓风机支撑部件（6）面对面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105075035A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480017479.8
申请日：2014-03-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/036
CPC classification number: H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/2232
Abstract: 本发明涉及通过激光气体的激励而产生激光的气体激光器装置，具有用于封入激光气体的框体。框体具有：主体部(10)，其具有在两侧形成了开口部的框状构造；以及一对盖部件(30)，其以覆盖各开口部的方式可自由装卸地安装。主体部(10)具有：上板(12)及下板(13)，其沿激光的光轴延伸；以及一对侧板(11)，其分别将上板(12)及下板(13)的两端连结。各盖部件(30)具有：局部圆筒部件(31)，其在与光轴垂直的平面内具有圆弧状的剖面形状，沿光轴延伸；以及一对侧壁部件(32)，其对局部圆筒部件(31)的两端进行闭塞。局部圆筒部件(31)具有将高部和低部沿光轴相连地成型而得到的波纹部(4)。通过上述结构，即使框体大型化，也能够实现轻量且低成本的盖构造。
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公开(公告)号：CN103529507A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310261976.X
申请日：2013-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B5/30 , G02B5/18 , B23K26/067 , B23K26/382
Abstract: 本发明提供一种制作容易且远红外光的透过光量损失少的透过型的偏振光相位差板以及使用了该偏振光相位差板的激光加工机。偏振光相位差板（100），在基板（102）的至少一方的主面上，由与基板（102）相同的材料形成排列了多个凸部（103）的具有一定的周期P的衍射光栅，利用衍射光栅的构造性双折射。衍射光栅的周期P在入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n时，满足P＜λ/n。凸部（103）的截面形状从其底部到顶部形成为锥形状（106）。作为基板材料使用ZnS。
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公开(公告)号：CN101971441B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200880128079.9
申请日：2008-03-18
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/025 , G02F1/37 , H01S3/0092 , H01S3/042 , H01S3/09415
Abstract: 在构成具备搭载了固体激光器元件、激励光源和波长变换元件的散热器、以及支撑散热器的晶体管管座的激光光源模块时，将散热器分割成3个块、即在上表面搭载了固体激光器元件用的激光振荡部的第1块、在上表面搭载了射出激光振荡部用的激励光的半导体激光器元件和第1温度传感器并在规定的面搭载了第1加热器的第2块、以及在上表面搭载了对激光振荡部振荡出的基波激光进行波长变换的波长变换元件和第2温度传感器并在规定的面搭载了第2加热器的第3块，仅将第2块利用该第2块的侧面或者底面而固定到晶体管管座，在第2块的另一个侧面固定第1块，在第1块的侧面固定第3块，从而实现小型化以及各元件的位置精度的提高。
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公开(公告)号：CN100585444C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200610163149.7
申请日：2006-11-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B7/1825
Abstract: 本发明提供的激光振荡器，即使反射镜保持部的、与反射镜接触的面的加工精度不高，也能将反射镜的变形量控制在容许范围内地安装反射镜。备有：反射激光的圆形反射镜(1)、保持反射镜的保持座(2)、从反射面一侧将反射镜(1)推压固定在保持座(2)上的弹性部件即螺旋弹簧(16)。螺旋弹簧(16)，用根据反射镜(1)的质量、厚度、半径、纵弹性率、反射镜(1)与保持座(2)间的摩擦系数、激光波长及重力加速度的公式导出的推压力(F)，推压反射镜(1)。
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公开(公告)号：CN100468187C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200510081840.6
申请日：2005-06-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明之目的是不使光学性能降低地提供一种可薄型化的摄像装置。涉及本发明的摄像装置(100)由摄像元件(50)、包含非圆形透镜(1、3、7)的多个透镜构成。这里，摄像元件(50)具有长方形的感光面(50a)。另外，摄像元件(50)是将成像在感光面(50a)上的光学图像变换成电气信号的元件。另外，通过多个透镜，被摄物体的像被成像在感光面(50a)上。另外，非圆形透镜(1、3、7)具有从圆形透镜除去了对感光面(50a)的成像没有贡献的部分的形状。
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