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公开(公告)号：CN102821901A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180016489.6
申请日：2011-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 具备：加工电极（2），是通过卷绕于多个导辊（7a~7d）从而针对被加工物（1）具有多个对置部（2a~2j）的一根导线；驱动部件（3、6），使所述被加工物（1）与多个所述对置部（2a~2j）的相对距离变化；以及多个脉冲发生部件（4a~4j），在所述被加工物（1）与多个所述对置部（2a~2j）之间分别单独地施加放电加工脉冲，其中，控制多个所述脉冲发生部件（4a~4j），以使向相邻的所述对置部（2a~2j）的放电加工脉冲的施加开始时刻不会成为同时。
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公开(公告)号：CN100509234C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200480036162.5
申请日：2004-01-23
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23H7/36 , B23H1/10 , B23H7/265 , B23H9/14 , B23H2400/10
Abstract: 一种电火花加工设备，包括：可以自由滑动地容纳电火花加工用的细丝电极(8)的中棒状的引导电极(7)；将该引导电极(7)保持在固定位置上的引导电极保持机构(9、19、29)；向前述引导电极(7)的内部供应压力流体、从该引导电极(7)的内部向电火花加工侧输送前述细丝电极(8)的压力流体供应机构(10、11)；自动地保持从前述引导电极(7)输送出来的前述细丝电极(8)的细丝电极保持机构(21)。
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公开(公告)号：CN100503115C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200580048770.2
申请日：2005-02-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/26
CPC classification number: B23H9/14 , B23H7/265 , B23H2400/10
Abstract: 将收容于导管(70)的电极丝(W)供给到被加工物(13)的加工区域的放电加工装置(10)具有配置于垂直方向的空心圆筒状的驱动轴(40)，该驱动轴(40)具有沿上下方向的中心轴(Z)收容导管的空间，该导管收容电极丝。头(50)具有保持导管的第1保持部(54)和保持从导管的下端开口突出的电极丝的第2保持部(62)，可自由装拆地设于驱动轴的下端。因此，通过更换头，可更换电极丝。
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公开(公告)号：CN1935434A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610132091.X
申请日：2003-12-05
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括：顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1)；与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7)；向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5)；与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述三方向上移动的联轴节(100)；与该联轴节(100)的端部连接且通过联轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。
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公开(公告)号：CN1409660A
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：CN00817203.X
申请日：2000-10-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/02
CPC classification number: B23H7/04
Abstract: 一种线放电加工装置，利用加工液喷嘴(4a，4b)在线电极(1)与被加工件(2)的极间供给加工液，同时由加工电源装置(11)对所述极间供给放电能量，使所述极间产生放电，对被加工件(2)进行加工，该装置具有检测所述极间正常放电脉冲的正常放电脉冲检测手段(17)、根据所述检测到的正常放电脉冲运算正常放电的正常放电能量脉冲运算手段(18)、保存门限值数据的存储手段和控制手段(20)，所述门限值数据确保从对应于各种加工条件并根据所述正常放电脉冲能量和加工能量设定值的关系求得的线电极断线时工作点偏离的规定余量，所述控制手段控制所述加工能量设定值，使加工工作点接近所述门限值数据。因此，该装置能大幅度提高加工生产率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1398210A
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：CN01803195.1
申请日：2001-09-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/32
CPC classification number: B23H7/32 , B23H7/26 , B23H7/28 , B23H7/30 , B23H2400/10
Abstract: 本发明的放电加工装置，它具有安装加工用电极(101)的电极安装单元(106)；电极驱动单元，该电极驱动单元由沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的径向驱动单元(107)、(108)和沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的轴向驱动单元(111)、(112)构成，并通过由电极驱动单元调整加工用电极(101)的位置从而控制加工状态。根据这样的结构，通过抑制必须同时与电极驱动的部分的质量增加，实现X轴、Y轴、Z轴方向的高速响应性，实现能够改善加工速度和加工精度的放电加工装置。
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公开(公告)号：CN113677470B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN201980095291.8
申请日：2019-04-15
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 线放电加工机(100)具有：线电极(1)，其在与被加工物(4)之间发生放电而对被加工物(4)进行放电加工；加工液喷嘴(5a、5b)，其从与线电极(1)同轴方向将加工液供给至线电极(1)和被加工物(4)之间的间隙；以及加工液引导部(10)，其具有夹具板(10a、10b)，在夹具板(10a、10b)之间的空间配置被加工物(4)，以使得加工液不会从夹具板(10a、10b)之间的空间排出的方式对加工液进行引导，夹具板(10a、10b)的与被加工物(4)相对的面大于被加工物(4)的与夹具板(10a、10b)相对的面。
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公开(公告)号：CN107073613A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480082164.1
申请日：2014-09-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/02
CPC classification number: B23H7/105 , B23H1/028 , B23H7/02 , H01L21/67092 , H01L21/67754
Abstract: 控制部(14)对切断加工和形状修正加工进行控制，切断加工是指，通过一边使被加工物(5)沿与主引导辊(1a～1d)的轴向垂直的面相对于切断线部(CL)在与切断线部(CL)垂直的方向上相对地移动，一边通过放电加工同时进行多个晶片的切断，并且将切断中途的多个晶片的一部分与被加工物(5)连结的连结部残留下来，形状修正加工是指，使多个切断线部(CL)以切断加工时的切断方向上的切断线部(CL)的轨迹一边进行放电加工、一边进行扫描，对在切断加工时切断加工出的多个切断加工面的形状同时进行修正加工。
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公开(公告)号：CN105408045B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201480028904.3
申请日：2014-02-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 为了通过从加工电源稳定地进行供电从而进行高精度的切断加工，在本发明中，在将线电极(3)在主导辊(1a～1d)之间卷挂多次，同时进行多个切割加工的线电极放电加工装置中，缩短将多根线电极(3)向供电件的线电极架设作业，对切割线电极部(CL)进行均匀的供电，谋求稳定的加工，将多个供电件按照排列位置以单元为单位，与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地进行排列，并且配置为至少每隔1根线电极而向切割线电极部进行供电。
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公开(公告)号：CN104220201B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201280072279.3
申请日：2012-10-19
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的特征在于，提供一种线放电加工装置，其具有：多个主导向辊(1a～1d)，它们隔开间隔而平行配设；1根导线(3)，其以一定的间距卷挂在多个主导向辊(1a～1d)之间，从而在一对导向辊(1a、1b)之间形成并列线部(CL)，随着主导向辊(1)的转动而行进；供电件单元(6)，其向切断线部(CL)的各根导线(3)供电，通过切断线部(CL)进行被加工物(5)的切断，在一部分与被加工物(5)连接的状态下，中断来自被加工物(5)的半导体晶片的切出，然后使切断线部(CL)的导线(3)接近一个切断面，在放电加工的状态下进行扫描。
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