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公开(公告)号：CN109968188A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811547580.0
申请日：2018-12-18
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 金石烈 , 金圣协 , 李尚勋
IPC: B24B37/26 , B24B37/20
Abstract: 一种晶片抛光垫包括第一垫，该第一垫具有构造成接收台板的第一表面。突起设置在第一垫的第一表面上。突起设置在第一垫的在平面图中的边缘区域上，使得当第一垫设置在台板上时，突起的侧表面与台板的侧表面接触。
