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公开(公告)号:CN102621824A
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN201210114482.4
申请日:2012-04-18
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统,包括:加工平台,实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动;空间光调制器,产生设计图形;投影光学系统,包括第一透镜组、第二透镜组和滤波器,所述滤波器设于所述第一透镜组和第二透镜组之间且位于所述第一透镜组的频谱面上。申请的光学加工系统和方法实现的灰度等级不依赖于曝光时间和曝光次数,可以在极短曝光时间内和单次曝光的条件下实现准确的灰度等级,因而完全适用于飞行曝光加工方式,加工效率和定位精度高。
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公开(公告)号:CN102591159A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210076397.3
申请日:2012-03-21
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统,包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中,位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器、位置信号处理模块和偏差筛选模块。本发明的光学加工系统中,加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动,光学模板实现第三运动轴的扫描运动,通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿,实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步,从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工,其加工效率和加工精度大幅提升。
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公开(公告)号:CN101477326B
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN200910028296.7
申请日:2009-02-06
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种多视角图形输入的三维图形直写方法,包括下列步骤:(1)获得三维物体的分视角平面数字图像;(2)对每幅图像进行分色并分割成子图,在各图像中对应位置相同的子图为一组;(3)取一组子图,分别采用迭代傅里叶变换原理,计算每一子图在远场的光场分布,提取位相信息,按视角排列,编码成H1;(4)用空间光调制器显示H1,并放置于透镜的前焦面,在透镜后焦面上形成多视角图像再现,引入干涉光,通过干涉光路在记录材料上记录再现图像;(5)对应下一组子图的位置,移动记录材料的位置;(6)重复上述步骤至所有子图记录完毕,实现三维图形的记录。本发明用激光直写的方式制作三维图形,图形具有丰富的信息表达特征。
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公开(公告)号:CN101510053B
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:CN200910028297.1
申请日:2009-02-06
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头,其特征在于:由物方透镜组A和像方透镜组B两组透镜组成,A组透镜由A3、A2、A1三片透镜组成,B组透镜由B1、B2、B3、B4四片透镜组成;光线传播方向依次为A3、A2、A1、B1、B2、B3、B4;其中,A1、B1为弯月型凹透镜,A2、B2为双凸透镜,A3、B3、B4为弯月型凸透镜。本发明的像方透镜采用四片结构设计,因而其数值孔径大,干涉条纹的结构精细;限定物方数值孔径,可以减少透镜数量,降低实际加工的累积工艺误差,并且便于与干涉镜头物方的衍射光栅配合;可以在激光干涉直写系统上实现亚波长结构的制作。
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公开(公告)号:CN101737707A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200810235232.X
申请日:2008-11-12
Applicant: 苏州维旺科技有限公司 , 苏州大学
IPC: F21V5/00 , F21V5/04 , G02F1/13357
Abstract: 本发明公开了一种背光模组用光扩散膜的制作方法,包括下列步骤:(1)在一基板的一侧表面制备具有粘性的固定层;(2)将微纳米结构尺寸的颗粒经所述固定层排布固定于所述基板表面;(3)将步骤(2)获得的带有表面微结构的基板作为电铸模板进行精密电铸,将微结构转移至电铸金属板上;(4)用步骤(3)获得的金属电铸片作为压印模板,经热压印或紫外压印至光扩散片材料上,制作获得光扩散片。本发明利用微纳米压印技术,在透明基材上压印微透镜结构,方法简单便捷,降低了扩散膜片制作成本,且特别适合制作超薄型结构,能有效减少背光模组的厚度,且具有良好的光学性能。
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公开(公告)号:CN101551482A
公开(公告)日:2009-10-07
申请号:CN200910028285.9
申请日:2009-01-24
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种亚波长光栅结构彩色滤光片及其制作方法,滤光片包括:透明基底、位于该基底上的三色像素阵列,其特征在于:所述三色像素阵列由光栅阵列构成,所述光栅阵列由介质层和金属层构成,金属层位于介质层的外面,每一光栅的周期与其滤光的颜色相对应,三种周期的光栅分别用于对入射光中的红、绿、蓝三色进行滤光。其制作是在透明基底上依次涂布介质层和金属层,并且使该介质层和金属层形成凹凸的光栅结构。本发明只需改变光栅的周期,就可获得针对R、G、B三色的透射光谱,降低了加工彩色滤光片的难度;获得的滤光片具有合适的透射光谱,色纯度好;偏振光透过率高。
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公开(公告)号:CN101526672A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200910025423.8
申请日:2009-03-04
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份公司 , 苏州大学 , 浙江师范大学
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种光学成像薄膜,包括成像元件和遮光元件,其特征在于:所述成像元件和遮光元件为薄膜结构,所在的平面相互平行,其中,所述成像元件包括至少两层微透镜阵列,所述遮光元件位于成像系统的入瞳或出瞳位置,遮光元件上设有孔径光阑阵列,每一孔径光阑与各微透镜阵列中的对应的微透镜单元构成一个成像通道,各成像通道符合综合成像条件,在所述由成像元件和遮光元件构成的薄膜结构的至少一个表面上,涂布有粘接层。本发明利用微透镜阵列以及光阑阵列等微型元件构成成像系统,具有体积小,质量轻,适于批量生产,制作成本低等优点;可以方便地粘贴或者吸附于各种图像、显示器等物体的表面,形成相应的光学成像效果。
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公开(公告)号:CN100495215C
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200610037797.8
申请日:2006-01-12
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种对光滑表面进行光刻蚀的方法,采用大功率激光器作为光源,将激光束准直成平行光,经过光阑及透镜后,由分束元件产生分束光束,再会聚到材料表面,形成均匀干涉条纹光场,在光滑表面材料上进行超过材料损伤阈值的光蚀实现图像制作,其特征在于:所述光源采用紫外光输出的大功率二极管泵浦的固态激光器的三倍频或四倍频,所述光阑为可调矩形光阑,在同一位置进行单次脉冲加工,控制激光器的功率,使得在干涉条纹的光强相长处材料发生气化,在材料表面形成条纹结构。并以此制作方法实现微米级条纹高速激光光蚀系统,从而使得激光微米级光栅图像的加工进入真正意义上的工业化应用阶段,是一种微米级结构的先进制造技术。
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公开(公告)号:CN101290371A
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200810123710.8
申请日:2008-05-30
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
Abstract: 本发明公开了一种亚波长光栅结构偏振片,包括透明基底、介质光栅、第一金属层和第二金属层,所述介质光栅具有周期性间隔设置的脊部和沟槽,所述第一金属层覆盖于介质光栅的脊部,所述第二金属层覆盖于介质光栅的沟槽中,介质光栅的周期小于入射光波长,其特征在于:在所述透明基底和介质光栅之间,设有高折射率介质层,所述高折射率介质层的折射率在1.6至2.4之间。通过在透明基底和介质光栅之间增加高折射率介质层,提高了偏振片的TM光的透射效率和消光比。在整个可见光波段,该偏振片具有高透射效率、高消光比、宽广的入射角度范围。在工艺上,采用纳米压印技术加工制作,制作过程简便易操作,不需要刻蚀工艺,降低了加工成本。
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公开(公告)号:CN100371771C
公开(公告)日:2008-02-27
申请号:CN200610038417.2
申请日:2006-02-16
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
IPC: G02B27/42
Abstract: 本发明公开了一种消色差变色银衍射图像的制作方法,包括下列步骤:(1)制备一种二元光学元件,其远场衍射光场是一条狭缝;(2)构建一个4F光学系统,将步骤(1)获得的二元光学元件放置在其变换平面上,作为分束元件,使得入射光被分成两个条形光场,经透镜组成像后,在记录材料表面形成一个散斑干涉图像单元;(3)改变光学系统与记录材料的相对位置,在记录材料上分别记录对应的条形散斑干涉图像单元,获得消色差变色银衍射图像。本发明同时提供了实现该方法的装置。本发明提供了一种简单、快速、成本低、加工面积大的条形散斑制作方法,使消色差变色银衍射图像进入实用,可以替代现有的银色喷涂技术而实现类似的金属银效果,以解决环保问题。
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