用于电子器件制造装置的指示器、以及该装置的设计及/或管理方法

    公开(公告)号:CN105283516A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201480033301.2

    申请日:2014-08-04

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种指示器、以及使用上述指示器的装置的设计及/或管理方法,所述指示器在电子器件制造装置内,能够简便地检测是否均匀地对基板整体进行了选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种的处理。一种指示器,其是在电子器件制造装置中使用的指示器,其特征在于,(1)所述指示器用于检测选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种,(2)所述指示器的形状与在所述电子器件制造装置中使用的基板的形状相同,(3)所述指示器包括变色层,(4)所述变色层由墨液组合物形成,所述墨液组合物通过与选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种发生反应而变色或脱色。

    测量装置、反应基座和测量方法

    公开(公告)号:CN105164517A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201480021674.8

    申请日:2014-04-15

    Abstract: 本发明涉及用于对混合气的气态的和/或气溶胶状的成分的浓度进行测量的一种测量系统(10)、一种测量装置(12)、一种反应基座(14)和一种测量方法。所述反应基座(14)具有两个流动通道(42)和一个编码件,所述编码件构造用于被位置传感器(36)检测并且能够使所述反应基座独立地定位在为所述流动通道分配的相对位置的每个相对位置中。至少一个流动通道形成具有反应材料(48)的反应室(46),并且所述反应材料与所述混合气的至少一种有待测量的成分进行在光学上能够探测的反应。所述测量装置包括用于对所述反应基座的相对位置进行检测的位置传感器以及用于使所述反应基座相对于进气通道和排气通道(16、18)的气体接头(22、24)进行运动的反应基座输送机构(28),所述反应基座输送机构构造用于:在测量过程中使所述反应基座定位在第一相对位置中,用于为了对所述进气通道进行彻底冲洗而通过第一流动通道在所述气体接头之间建立连接,并且使所述反应基座定位在第二相对位置中,用于为了测量所述混合气成分而通过形成反应室的第二流动通道在所述气体接头之间建立连接。

    用于具有比色传感器的血培养瓶的检测器装置

    公开(公告)号:CN104053991A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201280067584.3

    申请日:2012-01-18

    Abstract: 本文公开了用于包含比色传感器的血培养瓶的检测器装置,由于血培养瓶内的样品培养基的pH或者CO2中的变化,所述比色传感器遭受颜色变化。该检测器装置包括:照亮比色传感器的传感器LED、照亮比色传感器的参照LED、用于选择性地并且交替地激活传感器LED和参照LED的控制电路以及光电检测器。在使用传感器LED和参照LED选择性地并且交替地照亮比色传感器期间,光电检测器测量了来自比色传感器的反射率并且产生了强度信号。选择了参照LED使其具有照明峰值波长,这样被参照LED照亮的光电检测器的强度信号基本上不会被比色传感器的颜色变化所影响。

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