相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN109665834B

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN201910156692.1

    申请日:2019-03-01

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法。制备方法包括:氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合,得到混合粉末;混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质混合,利用球磨装置,控制球磨参数,进行球磨混合,得到混合物料;混合物料在造粒机上进行喷雾造粒;喷雾造粒得到的产物模压成型,得到靶材素坯;靶材素坯进行烧结,得到相组成可控的IGZO靶材。通过对制备过程中工艺参数的有效控制,根据原料摩尔比获得了物相单一且物相可控的高品质IGZO靶材,靶材中不含有其它杂相成分,晶粒间及内部不存在二次相组织,晶粒间结合致密,靶材致密度高,具有较高的产业利用价值。

    高透射率IGZO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN109468604A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201910026546.7

    申请日:2019-01-11

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种高透射率IGZO薄膜的制备方法,该方法包括:基片处理步骤、预溅射步骤和镀膜步骤。本方法有效地提高了IGZO薄膜的透射率,无需对衬底进行加热或对IGZO透明导电薄膜进行后期热处理,避免了高温热处理过程对沉积IGZO透明导电薄膜的不耐高温的衬底的不利影响,制得的薄膜颗粒尺寸适宜、薄膜连续且均匀,薄膜表面平整、光滑,无孔洞等表面缺陷。降低了生产成本,简化了生产工艺,扩大了IGZO透明导电薄膜的推广领域和范围,具有巨大的工业价值。

    一种管状靶材的内旋转高温烧结方法

    公开(公告)号:CN108409340A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810466234.3

    申请日:2018-05-16

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法,包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯,加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态,以及,降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法,能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材,制备方法简单,易于工业化应用。

    一种金属锡氧化制备纳米二氧化锡的方法

    公开(公告)号:CN108190943A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810281107.6

    申请日:2018-04-02

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明提供一种金属锡氧化合成纳米二氧化锡的方法,该方法具体包括:将金属锡与硝酸溶液反应,得到含有锡酸的浆料;将含有锡酸的浆料进行水热处理;然后将所得浆料进行洗涤;最后将所得浆料烘干、煅烧,得到纳米二氧化锡。本方法工艺过程简单,安全可靠,使用原料少,带入的杂离子少,所得产物纯度高、分散性好、结晶度高。

    高功函数金属氧化物靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN119430867A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411700165.X

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本发明公开了高功函数金属氧化物靶材及其制备方法。该制备方法包括:将高功函数金属氧化物粉体、氧化铟粉体、氧化锌粉体按设定质量比混合为混合粉体;将混合粉体设置在去离子水中,并加入分散剂,调制成浆料;将浆料进行高能砂磨,且在砂磨结束前加入粘结剂;将浆料喷雾造粒,得到球形造粒粉;将球形造粒粉模压成型、冷等静压,得到靶材素坯;将靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理,得到高功函数金属氧化物靶材。本发明实施例公开的高功函数金属氧化物靶材,晶粒尺寸小,分布均匀,靶材密度高,电学性能优良,可用于制备柔性OLED阳极层薄膜材料,简化器件结构,降本增效。

    优分散性纳米氧化铟镓锌粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN119219053A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202411329695.8

    申请日:2024-09-24

    Abstract: 本发明实施例公开了优分散性纳米氧化铟镓锌粉体的制备方法,包括:将氨水与碳酸氢铵溶液组成的沉淀剂滴加至反应物混合溶液中,搅拌反应物混合溶液进行第一次沉淀反应,温度为40~60℃,搅拌速度为300~500rpm/min,当pH值达到3.2~4.8时,停止滴加沉淀剂;温度为60~80℃、搅拌速度为500~700rpm/min下继续滴加沉淀剂进行第二次沉淀反应,至混合溶液pH值达到5.4~6.5;温度控制在60~80℃、搅拌速度控制在700~1000rpm/min下继续滴加沉淀剂进行第三次沉淀反应,当pH值达到7.8~8.3时,停止滴加沉淀剂;保持溶液的pH值在7.8~8.3进行第四次沉淀反应,持续搅拌2~4h直至无气泡产生;混合溶液进行老化处理,得到白色沉淀物;白色沉淀物进行烘干处理,得到前驱体粉体;前驱体粉体进行高温煅烧处理,得到优分散性的纳米氧化铟镓锌粉体。

    一种原位沉淀自分散氧化铟粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN116986625B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202310528473.8

    申请日:2023-05-11

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明提出了一种原位沉淀自分散氧化铟粉体的制备方法,属于氧化物粉体制备的技术领域,用以解决化学沉淀法制备In2O3粉体时易产生团聚的技术问题。其制备方法为在搅拌状态下向铟盐溶液中滴加沉淀剂进行沉淀反应,反应结束后取出沉淀完成的前驱体浆料对其静置老化,老化后进行洗涤、煅烧处理,获得原位沉淀自分散粉体;所述沉淀剂包括碳酸氢铵和氨水。本发明采用碳酸氢铵加氨水混合溶液作为沉淀剂,而并非传统的单一氨水沉淀剂。不需要其它外加辅助设备,利用了碳酸氢铵高温易分解的特性,有效降低化学沉淀法生产In2O3粉体中存在的团聚问题,并且由于是原位冲散形核质点使其均匀化,粉体的粒径及分散均匀性也得到提升。

    一种棒状氧化镓及其制备方法
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118270829A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410409361.5

    申请日:2024-04-07

    Abstract: 本发明属于半导体粉体制备技术领域,公开了一种棒状氧化镓及其制备方法,用以提出一种棒状纳米氧化镓的制备方法。本发明以尿素作为沉淀剂,通过将其加入到镓盐溶液中,经沉淀反应、室温老化后得到沉淀物,后经洗涤、离心、干燥、研磨和筛分后得到前驱体羟基氧化镓;然后经梯度升温、降温处理后得到棒状氧化镓。通过调控氧化镓的合成过程,使用一种节能、高效、不需高温高压、低成本的制备方法,获得棒状氧化镓材料,为工业生产氧化镓半导体器件提供一种棒状氧化镓粉末材料。

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