公开(公告)号：CN111286703A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN202010245239.0

申请日：2020-03-31

Applicant: 贵研铂业股份有限公司

Inventor： 王传军 ,  闻明 ,  谭志龙 ,  沈月 ,  许彦亭 ,  管伟明 ,  郭俊梅 ,  陈家林

IPC: C23C14/34 ,  C22C19/03 ,  C22C1/02 ,  B22D27/08 ,  C22F1/10

Abstract: 本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法，所述镍铂合金溅射靶材中铂的含量为21～31%原子百分比，镍铂溅射靶材溅射面的（111）面的取向率大于30%，（200）面的取向率小于（111）面且大于20%。所述制备方法包括以下步骤：以4N5镍和铂为原料，配制成铂的含量为21～31%的合金，将合金放入熔炼炉中进行熔炼，待原料熔化后置于浇铸模具中进行浇铸获得铸锭；再将铸锭采用温轧轧制形成坯料后再结晶退火，最后加工成型获得靶材。本发明制备获得了成品率高，稳定性好的含铂为21～31原子%的NiPt合金溅射靶材，通过控制晶粒取向改善了靶材的成膜速率和薄膜性能稳定性，获得了沉积速率和膜厚均匀性较好的NiPt薄膜，大大提高了生产效率，极大节约了成本。

公开(公告)号：CN110592540A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201910923533.X

申请日：2019-09-27

Applicant: 贵研铂业股份有限公司

Inventor： 王传军 ,  闻明 ,  谭志龙 ,  沈月 ,  许彦亭 ,  刘牛 ,  管伟明

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明公开了一种靶材的加工装置和加工方法。靶材的加工装置包括夹具、内固定件和外固定件。内固定件包括底板和内定位销，外固定件包括压板和外定位销。靶材加工方法包括：提供夹具，将靶材装夹于夹具上，加工靶材的溅射面；将靶材翻面，在靶材的装配面开设内固定孔；提供底板，在底板上开设内定位孔；采用固定件将靶材固定在底板上；将底板装夹于夹具上，加工靶材的装配面的外曲面；提供压板，在压板上加工配合曲面；在底板开设外固定孔，在压板开设第三固定孔；将靶材固定于底板和压板之间；加工靶材的内曲面和定位槽。本发明的优点是定位精度高，能保证靶材加工的尺寸和精度，同时效率高，成本低。