微压电加速度传感器芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN105540527A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510919806.5

    申请日:2015-12-10

    Inventor: 田边 刘汉月 杨宁

    CPC classification number: B81B3/0021 B81C1/0015 G01P15/09

    Abstract: 本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法,芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空,质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离,使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动,充分利用空间,增加质量块质量,从而增加了结构的灵敏度,敏感梁上布置了压电薄膜,压电薄膜的上下表面都布置有上下电极,其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构,正面光刻并溅射形成芯片的上下电极,在硅质基底的背面粘结硼玻璃,硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙,最后得到芯片,该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。

    一种基于颗粒包裹处理含氯废水的方法

    公开(公告)号:CN116514255A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310580106.2

    申请日:2023-05-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于颗粒包裹处理含氯废水的方法,属于污水处理技术领域。本发明公开的方法采用海藻酸钠和壳聚糖固体粉末混合并配置成水溶液,在含氯废水中加入乙酸镁和硝酸镁,通过滴加海藻酸钠/壳聚糖水溶液引发界面聚合反应,形成固体颗粒,同时将氯离子包裹在固体颗粒内,能有效降低氯离子浓度;对于氯离子浓度高达10000到50000mg/L的废水,最终残留氯离子浓度仅为2000mg/L左右,为工业处理氯废水提供新的思路和方法,在环保方面具有非常广阔的应用前景。

    一种连续式污泥厌氧消化气体收集测量系统

    公开(公告)号:CN114590982A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202210207358.6

    申请日:2022-03-03

    Abstract: 本发明公开了一种连续式污泥厌氧消化气体收集测量系统,包括厌氧消化装置,厌氧消化装置包括发酵瓶,发酵瓶上端开口,开口内安装有密封端盖,密封端盖上依次开孔设置有用于实时监测发酵瓶内数据的氧化还原电位测试探头、温度测试探头和pH测试探头;氧化还原电位测试探头、温度测试探头和pH测试探头分别通过数据处理单元将监测到的实时数据传输至外界;所述密封端盖上还开孔设置有用于向发酵瓶内加入反应物的进料管、用于搅拌反应物的机械搅拌器和供沼气排出的第一出气口;所述发酵瓶开孔设置有斜向的用于排出反应物消化后残渣的出料管。本发明能够实现厌氧消化过程中温度、pH值和氧化还原电位等的实时监测。

    一种基于电磁脉冲激励的空间装备静电放电方法及装置

    公开(公告)号:CN112014660B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202010666941.4

    申请日:2020-07-10

    Abstract: 本公开揭示了一种基于电磁脉冲激励的空间装备静电放电装置,包括:真空室、抽气模块、充电模块、电位监测模块、传送模块、石英介质腔和电磁激励模块。本公开还揭示了一种基于电磁脉冲激励的空间装备静电放电方法。本公开通过石英介质腔体结合真空室,可以有效实现电磁波诱发充电后样品的静电放电,从而研究诱发放电所需的电磁波参数。

    一种高沿面耐电强度的聚酰亚胺复合材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN112210110B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202011035696.3

    申请日:2020-09-27

    Abstract: 本申请提供了一种高沿面耐电强度的聚酰亚胺复合材料,包括依次叠加设置的聚酰亚胺层、金属氧化物层和氟化层,所述聚酰亚胺复合材料的表面粗糙度为11~86nm。本申请提供的聚酰亚胺复合材料,在聚酰亚胺薄膜表面上引入金属氧化物层后再于金属氧化物层上引入氟化物层,使得具有一定厚度的氟化层在聚酰亚胺上的粘结性强,各层彼此之间的层间结合力更好,并且最终获得的材料在不破坏聚酰亚胺原有的优异性能的基础上,还具有优异的机械性能、更低的二次电子发射系数、更高的沿面闪络电压及超疏水性能,适用于作为航天器的绝缘部件材料。

    一种材料中等应变速率拉伸冲击试验台

    公开(公告)号:CN112683698A

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN202011521737.X

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种材料中等应变速率拉伸冲击试验台,包括底座,三维应变变形系统,冲击台板固接在底座导柱上,底座和冲击台板中间安装拉伸装置,冲击台板上固接立架、导轨和限位缓冲装置,导轨和立架顶端装有顶板,吊钩抓取机构和冲击重锤沿导轨滑动,提升卷扬机通过钢丝绳带动吊钩抓取机构升降;所述的冲击重锤侧面支架绕有弹性绳;所述的拉伸装置安有拉伸试件和柱式拉力传感器。本发明能够精确测量金属及复合材料的中等应变速率拉伸应力应变数值,适用范围广,可多次进行重复试验。

    基于水中高压脉冲放电的物料破碎装置及其方法

    公开(公告)号:CN111632714A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010466427.6

    申请日:2020-05-28

    Abstract: 公开了基于水中高压脉冲放电的物料破碎装置及方法,装置中,快前沿脉冲模块生成预定幅值和预定脉宽的脉冲电压,触发控制单元连接且控制所述快前沿脉冲模块的通断,光信号控制模块连接所述触发控制单元,所述光信号控制模块控制所述触发控制单元以调节所述快前沿脉冲模块输出的脉冲电压的频率和放电次数;破碎腔体容纳水以及水中的待破碎物料,筛网地电极设在破碎腔体中并穿过破碎腔体接地,所述筛网地电极与破碎腔体中的水平面具有预定夹角,响应于脉冲电压,所述筛网地电极与多针高压电极之间在水中产生脉冲放电以破碎所述物料。

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