一种低检测限MEMS乙炔气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN116281841A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310249660.2

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种低检测限MEMS乙炔气体传感器及制备方法,包括在Si基底正面和背面,分别制备SiO2‑Si3N4双层复合薄膜;正面复合薄膜上,沉积绝缘层,以自组装单层SiO2微球为模板,配合金属氧化物SnO2的射频溅射,通过在丙酮中超声去除SiO2微球制备SnO2多孔薄膜,在此基础上利用电子束蒸发技术蒸镀Au,热处理以形成团聚粒子;在硅片正面得到敏感电极及引线盘、加热电极及引线盘,刻蚀得到背面凹槽,得到带有绝热槽的传感器。Au纳米粒子修饰SnO2多孔薄膜的一致性高、传感器响应速度快、功耗低,满足乙炔检测中超低检测限与体积限制要求。

    一种用于循环肿瘤细胞捕获的三维仿生纳米材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN105771015B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201610102092.3

    申请日:2016-02-24

    Abstract: 本发明提供了一种用于循环肿瘤细胞捕获的三维仿生纳米材料及其制备方法,该材料由多孔石墨烯、硅微球、硅基底三种材料组成,以静电吸附自组装而成三维阵列结构,经过对石墨烯和硅微球表面进行化学改性,分别修饰固定用于细胞捕获的E‑selectin蛋白分子和配体,实现了强化细胞识别的仿生结构;该材料可集成于微流控芯片中,增强芯片对循环肿瘤细胞的识别和捕获,提高分离效率并有利于对捕获细胞的检测分析;改变固定的识别配体,也可用于对不同类型细胞的有效捕获,可从外周血样中识别并捕获稀有的肿瘤细胞。

    一种组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置

    公开(公告)号:CN105647799B

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201610102072.6

    申请日:2016-02-24

    Abstract: 本发明提供了一种组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置,从上而下分别包括上盖板、通道板和基底板;采用场流分离和特异分子亲和识别两步分离法,其中场流分离采用声表面波和介电泳驱动两种模式,分别实现横向的细胞分组迁移和垂直面内的细胞分层,将红细胞从其他细胞群内初步分离;余下的白细胞混合液则经过细胞识别区域,由识别配体将循环肿瘤细胞固定于识别区域,最后经过释放操作获得肿瘤细胞样品;该装置可以实现快速、无标记的循环肿瘤细胞分离,对于患者疾病诊断、治疗监控、病理学研究等都具有重要意义,亦可用于其他细胞、大分子蛋白、以及微颗粒的分离过程。

    一种组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置

    公开(公告)号:CN105647799A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201610102072.6

    申请日:2016-02-24

    CPC classification number: C12M23/16 C12M35/02 C12M35/04 C12M45/07

    Abstract: 本发明提供了一种组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置,从上而下分别包括上盖板、通道板和基底板;采用场流分离和特异分子亲和识别两步分离法,其中场流分离采用声表面波和介电泳驱动两种模式,分别实现横向的细胞分组迁移和垂直面内的细胞分层,将红细胞从其他细胞群内初步分离;余下的白细胞混合液则经过细胞识别区域,由识别配体将循环肿瘤细胞固定于识别区域,最后经过释放操作获得肿瘤细胞样品;该装置可以实现快速、无标记的循环肿瘤细胞分离,对于患者疾病诊断、治疗监控、病理学研究等都具有重要意义,亦可用于其他细胞、大分子蛋白、以及微颗粒的分离过程。

    一种无源无线微型胎压传感器

    公开(公告)号:CN102922962B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201210451891.3

    申请日:2012-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种无源无线微型胎压传感器,包括上层板和下层底板,上层板上设有对外部压力进行敏感的多层复合弹性薄膜,多层复合弹性薄膜中设有声表面波器件,有声表面波器件包括换能器和叉指电极,下层底板上设有与声表面波器件相耦合的微型天线。本发明可植入轮胎内部工作,自主实现能量获取并完成压力监测任务,以无源无线方式实现对轮胎压力的测量和结果传输,具有体积小、质量轻、无污染、节能环保等优点。

    适用于微量液体混合生化反应的微反应器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103585943A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201310524165.4

    申请日:2013-10-29

    Abstract: 本发明公开了一种适用于微量液体混合生化反应的微反应器及其制造方法,包括上盖板以及与上盖板相对接的下底板;下底板与上盖板之间设置有压电薄膜,压电薄膜上设置有微流道;微流道的出口和入口分别与上盖板上的液体出口和液体入口相对应;在下底板与压电薄膜之间还设置有声表面波发生装置。本发明将温度控制系统集成到发明中,是微反应器中的反应可以在一个恒温的条件下发生。所以,本发明在声表面波作用过程中,不仅可以产生机械振动驱动非带电流体混合,同时在换能器上侧还会产生交流电场,使得本发明带有声表面波振荡液体功能和交变电场驱动液体功能以及微环境温度控制功能,可以极大地提高微量液体化学发光反应的效能,因此此结构也具有更加广泛的应用范围对于带电流体的驱动作用会更加明显。

    一种无源无线微型胎压传感器

    公开(公告)号:CN102922962A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210451891.3

    申请日:2012-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种无源无线微型胎压传感,包括上层板和下层底板,上层板上设有对外部压力进行敏感的多层复合弹性薄膜,多层复合弹性薄膜中设有声表面波器件,有声表面波器件包括换能器和叉指电极,下层底板上设有与声表面波器件相耦合的微型天线。本发明可植入轮胎内部工作,自主实现能量获取并完成压力监测任务,以无源无线方式实现对轮胎压力的测量和结果传输,具有体积小、质量轻、无污染、节能环保等优点。

    生物组织微阵列芯片自动制备仪及其控制方法

    公开(公告)号:CN1635157A

    公开(公告)日:2005-07-06

    申请号:CN200410073180.2

    申请日:2004-11-08

    Abstract: 生物组织微阵列芯片自动制备仪,包括X-Y工作台系统,在Y轴滑台的上端面固定有受体蜡块架和供体蜡块架,X轴滑台的一侧设置有转台和Z轴滑台,Z轴滑台上固定有T型架,各滑台和转台分别连接有用于控制各滑台和转台的交流伺服电机,X轴、Y轴、Z轴滑台均安置光栅尺,各交流伺服电机和光栅尺通讯接口通过四轴联动运动控制卡与计算机相连接,T型架上分别固定有空白蜡块打孔器、与计算机的图像采集卡相连接的CCD图像采集器及组织蜡块填埋器和电磁铁。本发明采用自动化控制,并采用图像自动寻优法,从供体蜡块上自动寻找组织最佳挖取点。运用机器视觉反馈自动控制挖取需要填埋的组织核心,然后自动将所挖取的组织核心填埋到受体阵列孔中。

    微型钻床
    30.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2447092Y

    公开(公告)日:2001-09-12

    申请号:CN00226950.3

    申请日:2000-11-02

    Abstract: 一种应用于加工微小孔径的钻床,包括一箱体,箱体上方配置有由电机带动的钻头,箱体底部配置一Z向平动工作台、其上为X—Y平动工作平台,平动工作平台上配置一真空吸附夹具,在保证微型机械电子系统器件孔径加工精度的前提下,大幅度降低了加工成本和加工周期。

Patent Agency Ranking