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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103356232B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201310105467.8
申请日：2013-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4444 , A61B8/4494 , A61B8/461 , A61B8/462 , B06B1/0622 , B06B1/0688
Abstract: 本发明提供一种超声波探测器、电子设备以及超声波诊断装置。该超声波探测器具有：元件芯片，包括在基板上阵列状配置的设置于开口上的超声波换能器元件；柔性配线部件，与所述元件芯片连接并形成环绕空间的环状体；以及控制电路，与所述柔性配线部件相结合，并与所述超声波换能器元件电连接。
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公开(公告)号：CN103654848B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201310379245.5
申请日：2013-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
CPC classification number: A61B8/4483 , A61B8/4494 , B06B1/0215 , B06B1/0629 , B06B2201/76
Abstract: 本发明涉及超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中，上述超声波换能器装置的特征在于，具备：基板，具有多个开口；振动膜，闭塞上述开口；压电元件，针对每个上述开口地设置在上述振动膜上；输入部，对上述压电元件中的一部分压电元件输入驱动信号；以及检测部，在对上述压电元件中的一部分压电元件输入驱动信号期间，该检测部检测上述压电元件中未输入上述驱动信号的压电元件的振动。
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公开(公告)号：CN102809451B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201210177719.3
申请日：2012-05-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供一种应力检测元件，传感器组件以及电子设备。该应力检测元件具备：传感器基板，具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部；支撑膜，用于封闭开口部；第一压电元件，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第一弹性部，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第二弹性部，在俯视图中，以沿第二直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上，第一弹性部的第一弹性端部以及第二弹性部的第二弹性端部之间存在间隔。
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公开(公告)号：CN102809451A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210177719.3
申请日：2012-05-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供一种应力检测元件，传感器组件以及电子设备。该应力检测元件具备：传感器基板，具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部；支撑膜，用于封闭开口部；第一压电元件，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第一弹性部，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第二弹性部，在俯视图中，以沿第二直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上，第一弹性部的第一弹性端部以及第二弹性部的第二弹性端部之间存在间隔。
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公开(公告)号：CN1911665A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610109730.0
申请日：2006-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以保持良好的压电体层的压电特性并且可以防止上电极剥离的致动器装置及其制造方法、以及液体喷射头和液体喷射装置。所述方法具有在基板上形成振动板的步骤以及在振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤，在形成压电元件的步骤中，通过溅射法在压电体层上形成上电极，使溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10－7Ω·m)以下的上电极。
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