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公开(公告)号：CN100586718C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200710008093.2
申请日：2007-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/07 , B41J3/407 , H01L51/00 , G02F1/1337
Abstract: 本发明的图案形成方法，通过朝向基板喷出图案形成材料的液滴，从而在基板上形成由液滴构成的图案。所述液滴沿从基板的法线向规定方向倾斜了规定角度的方向喷出，且该喷出在所述规定方向上按规定距离进行。基于所述液滴的直径以及所述规定距离设定所述规定角度，以使着落于基板的由各液滴构成的墨点在所述规定方向上的尺寸是所述规定距离以上。因此，能够提高图案的膜厚均匀性。
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公开(公告)号：CN100581832C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610149375.X
申请日：2006-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J29/38 , B41J2/175 , B41J2/17509 , B41J2/17596
Abstract: 液滴喷出装置包括向对象物喷出液滴的液滴喷出单元。所述液滴喷出单元被搭载于多关节机器人，所述多关节机器人使所述液滴喷出单元在所述对象物的上方在二维方向上移动。所述液滴喷出单元具有：液滴喷头、液状体箱、和自封闭阀。自封闭阀将从所述液状体箱供给到所述液滴喷头的液状体的压力控制为规定的压力。所述自封闭阀具有阀体，该阀体对应于所述液滴喷头一侧的液状体的压力与所述液状体箱一侧的液状体的压力之间的压差，能够在闭锁位置与开放位置之间移动。配置所述阀体，使得产生可以使所述阀体从所述闭锁位置向所述开放位置移动的力的加速度的方向，与在所述二维方向上移动时的所述液滴喷出单元的加速度的方向不同。
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公开(公告)号：CN101024332A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710005855.3
申请日：2007-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岩田裕二
CPC classification number: B41J3/543 , B41J3/407 , G02F1/133516
Abstract: 向第1形成区域(Sa)喷出来自第1喷出方向(Aa)的第1液滴(Fa)，赋予射中的第1液滴(Fa)从第1形成区域(Sa)的内侧向外侧(第2形成区域(Sb)的一侧)的速度成分(第1切线速度(Va))。另外，向第2形成区域(Sb)喷出来自第2喷出方向(Ab)的第2液滴(Fb)，赋予射中的第2液滴(Fb)从第2形成区域(Sb)的内侧向外侧(第1形成区域(Sa)的一侧)的速度成分(第2切线速度(Vb))。提供提高由液滴构成的图案的膜厚均匀性的图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1966274A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200610149375.X
申请日：2006-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J29/38 , B41J2/175 , B41J2/17509 , B41J2/17596
Abstract: 液滴喷出装置包括向对象物喷出液滴的液滴喷出单元。所述液滴喷出单元被搭载于多关节机器人，所述多关节机器人使所述液滴喷出单元在所述对象物的上方在二维方向上移动。所述液滴喷出单元具有：液滴喷头、液状体箱、和自封闭阀。自封闭阀将从所述液状体箱供给到所述液滴喷头的液状体的压力控制为规定的压力。所述自封闭阀具有阀体，该阀体对应于所述液滴喷头一侧的液状体的压力与所述液状体箱一侧的液状体的压力之间的压差，能够在闭锁位置与开放位置之间移动。配置所述阀体，使得产生可以使所述阀体从所述闭锁位置向所述开放位置移动的力的加速度的方向，与在所述二维方向上移动时的所述液滴喷出单元的加速度的方向不同。
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公开(公告)号：CN1962272A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200610143303.4
申请日：2006-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B27/0006
Abstract: 在液滴喷出装置的基座上设置有清洗槽。在清洗槽上连结有向清洗槽导入清洗液的清洗液供给部、和从清洗槽导出清洗液的清洗液排出部。在形成点后，使喷头组件移动到清洗槽的正上方。然后，在清洗槽中，在导入清洗液的导入管的附近浸渍反射镜，在导出清洗液的导出管的附近浸渍喷出头。
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公开(公告)号：CN1885135A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610094632.4
申请日：2006-06-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: B41J11/002 , H01L51/0005
Abstract: 本发明的目的在于，通过在将功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，以基板载置于同一载物台的状态使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷/干燥工序重复一次以上，来防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损。在步骤S8中判断图案是否完成。在图案未完成的情况下，通过作为载物台移动工序的步骤S9，使载物台(5)移动到描绘单元(3)下方的规定位置。返回到步骤S3，从功能液滴喷头(11)喷出功能液滴(10)，在基板(50)上制作图案。从而，在图案完成前至少重复进行一次以上该处理。另外，当图案完成时，从载物台(5)取下基板(50)，结束作业。
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公开(公告)号：CN1286644C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200410001849.7
申请日：2004-01-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岩田裕二
CPC classification number: B41J29/393 , B41J2202/09
Abstract: 本发明的目的是提供一种可以辨别基于移动机构的机械精度所引起的精度不良和基于功能液滴喷头的喷出精度所引起的精度不良的液滴喷出装置的绘图精度检查装置。本发明的绘图精度检查装置，通过移动机构(11)，对工件W一边相对移动功能液滴喷头(5)一边喷出功能液滴而进行绘图的液滴喷出装置，包括：点画机构(6)和点画控制机构(81)；其中所述点画机构是和功能液滴喷头(5)同时设在移动机构(11)，伴随上述的相对移动，对工件W照射相干光，在工件W上进行视觉辨认可能的点画；所述点画控制机构(81)是所定的频率时间来点画驱动点画机构(6)。
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公开(公告)号：CN1707325A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510073783.7
申请日：2005-05-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岩田裕二
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1337
Abstract: 提供液晶基板的制造方法，该方法包括：对于容纳在具有均匀厚度的随行工作台基部(70)上装卸自由地设置的矩阵状的格栅框架内的多个基板(301～3025)、…上，涂布取向膜油墨的工序；从随行工作台基部(70)向外取出格栅框架(60)的工序；和借助于随行工作台基部(70)对多个基板(301～3025)、…加热的工序，可以借助于随行工作台基部(70)对分别被涂布在基板(301～3025)、…上的取向膜油墨加热干燥。采用本发明的方法提高了成品率。
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