公开(公告)号：CN102053498A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201010190605.3

申请日：2010-05-27

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承

IPC: G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。

公开(公告)号：CN101727006A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910179894.4

申请日：2009-10-20

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑斗瑛 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  郑闵鞠 ,  李种和 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0048 ,  Y10S430/107

Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。