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公开(公告)号:CN103176363A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210316718.2
申请日:2012-08-30
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233
Abstract: 本发明披露了正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜、以及包含该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物,包括(A)由下列化学式1表示的含磷二胺制备的碱溶性树脂,(B)光敏重氮醌化合物,和(C)溶剂。在化学式1中,每一个取代基都与具体实施方式中定义的相同。该正型光敏树脂组合物具有改善的光敏性、在曝光部分高的残余物去除率、以及极好的耐蚀刻性和耐热性,并且可以用于半导体电路的保护层或有机发光二极管(OLED)显示器的像素晶体层。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102557945A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110374282.8
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0226 , C07C69/84 , G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物,所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN102540725A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110374325.2
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物,所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。在上述化学式1中,各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104375379B
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201410211550.8
申请日:2014-05-19
Applicant: 第一毛织株式会社
Inventor: 权志伦 , 姜真熙 , 金大润 , 金上权 , 金尚洙 , 金容台 , 卢健培 , 朴银碧 , 白载烈 , 宋在焕 , 尹银卿 , 李范珍 , 李种和 , 李珍泳 , 洪忠范 , 黄银夏 , 黄仁澈
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0045 , G03F7/0233 , G03F7/0755
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物、光敏树脂膜和用其制备的显示装置。所述正性光敏树脂组合物包括:(A)碱溶性树脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)包含由化学式1或化学式2表示的化合物中的至少一种的第一溶解控制剂;(D)包含由化学式3表示的化合物的第二溶解控制剂;以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN103186047B
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201210331594.5
申请日:2012-09-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0755 , G03F7/085 , Y10S430/107
Abstract: 本申请公开了一种正型光敏树脂组合物和使用其的显示器件及有机发光器件。该正型光敏树脂组合物,包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体及其组合的碱性可溶解树脂,(B)光敏性的二氮醌(diazoquinone)化合物,(C)下列化学式1代表的化合物,和(D)溶剂,以及使用其的显示器件和有机发光器件。化学式1与具体实施方式中的限定的是相同的。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104641292A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201380048934.6
申请日:2013-04-09
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/105
Abstract: 本发明是有关于用于显示装置绝缘膜的一光敏树脂组成物、使用其的绝缘膜、及使用其的显示装置,所述组成物包括(A)一碱可溶树脂;(B)一光敏重氮醌化合物;(C)一有色材料,其具有400-550nm的最大吸收波长;及(D)一溶剂。
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公开(公告)号:CN104597713A
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201410211495.2
申请日:2014-05-19
Applicant: 第一毛织株式会社
Inventor: 姜真熙 , 权志伦 , 金大润 , 金上权 , 金尚洙 , 金容台 , 卢健培 , 朴银碧 , 白载烈 , 宋在焕 , 李范珍 , 李种和 , 李珍泳 , 洪忠范 , 黄银夏 , 黄仁澈
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物、用其制备的光敏树脂膜及显示装置,所述正性光敏树脂组合物包含:(A)具有1至1.6的多分散性的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)热生酸剂;以及(D)溶剂。
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公开(公告)号:CN104040430A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201280065652.2
申请日:2012-07-17
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03C1/61 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/105
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物,该正性光敏树脂组合物包含:(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、以及它们的组合的碱溶性树脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)苯酚化合物;(D)有机染料以及(E)溶剂,其中,有机染料(D)包含至少一种具有590nm至700nm的吸收波长的红染料、至少一种具有550nm至590nm的吸收波长的黄染料、以及至少一种具有450nm至500nm的吸收波长的蓝染料。
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公开(公告)号:CN103135354A
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN201210272274.7
申请日:2012-08-01
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/016 , G02F1/1333 , H01L23/29
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物,其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体,该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元,在至少一个末端具有可热聚官能团;(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂,该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;(E)产酸剂;以及(F)溶剂;本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。
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