公开(公告)号：CN105051145B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201480017289.6

申请日：2014-03-14

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 土屋公亮 ,  丹所久典 ,  市坪大辉

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/04 ,  C09G1/02 ,  H01L21/02

CPC classification number: C09G1/02 ,  C08F216/06 ,  C09G1/16 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1454 ,  H01L21/02024

Abstract: 本发明提供包含水溶性聚合物的研磨用组合物、利用规定的方法求出的蚀刻速率及磨粒吸附率分别在规定的范围的研磨用组合物，其中，所述水溶性聚合物具有包含SP值不同的多种重复单元的分子结构。此外，本发明还提供一种研磨用组合物制造方法，其为使用磨粒、碱性化合物、水溶性聚合物H及水来制造研磨用组合物的方法，所述水溶性聚合物H具有在碱性条件下表现出水解反应性的官能团，该方法包括如下工序：准备至少包含前述碱性化合物的A剂的工序；和准备至少包含前述水溶性聚合物H的B剂的工序。