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公开(公告)号：CN105655718A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201511029919.4
申请日：2015-12-31
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H01Q15/08 , H01Q15/0086
Abstract: 本发明公开了二维单向椭圆隐身器件，为椭圆柱体结构，隐身器件由圆柱体结构且中空的隐身区域和位于隐身区域外侧的隐形介质区域组成，隐身器件的底面的椭圆形结构在短轴方向的两个端点处外切于隐身区域的底面的圆形结构，对隐形介质区域的电磁参数进行离散化处理，用每个单位区域内中心点处的电磁参数代替区域内的电磁参数。本发明具有如下优点：隐身范围限定于对二维平面内单向入射的电磁波，简化了所需隐身介质的电磁参数；可以根据需要调节隐身器件的尺寸参数，设计出适用于不同大小障碍物的隐身器件。
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公开(公告)号：CN103268382B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310204940.8
申请日：2013-05-28
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开一种晶圆铜膜厚度离线测量模块控制系统，采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式，上层控制系统和底层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接，其中，底层控制系统中，采用可编程控制器PLC负责直接控制离线测量模块的各个部分；上层控制系统中，采用工控机IPC通过PLC实时监控离线测量模块的状态，并为工艺人员提供操作软件，实现数据的管理。根据工艺需求，设置XY模式和全局模式两种主要测量模式。工艺流程分为标定和测量。上层控制系统软件利用Matlab实现绘图子程序，方便主程序灵活调用。本发明具有无损测试、操作简单、便于维护以及安全可靠的优点。
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公开(公告)号：CN104697910A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510097363.6
申请日：2015-03-05
Applicant: 清华大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明涉及一种润滑油液中铁磁性磨粒含量的在线检测传感器，属于测量仪器技术领域。本传感器中，滤片固定在滤片下夹板和滤片上夹板之间，滤片下夹板和滤片上夹板的中央分别开有与待使用本检测传感器的油路通道相同尺寸的方孔，滤片上夹板的左侧和右侧分别开有方孔。电流输入输出电极和前后检测电极分别通过电极固定板固定在滤片上夹板的方孔中。本发明的在线检测传感器，通过设计串联不同孔径的碳纤维滤网，可以同时在线测量油液中多种粒径大小的铁磁颗粒含量，而且分析速度快，测试精度较高；传感器中使用的碳纤维滤片，由于碳纤维的电阻率随温度变化很小，因此传感器的适用温度范围较大，拓展了传感器的应用领域。
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公开(公告)号：CN103337709B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201310221443.9
申请日：2013-06-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种可调谐全介质各向同性相位控制器及相位控制方法，属于电磁波控制技术领域。该相位控制器由基板、介质颗粒以及温控装置组成。基板上加工有周期性圆形阵列排布或椭圆形阵列排布的小孔，介质颗粒置于小孔中。基板及介质颗粒放置于温控装置中。该相位控制器能够实现在特定频段的有效介电常数或有效磁导率接近于零，从而实现对出射电磁波的相位进行控制，并且具有各向同性的电磁响应特性。利用介质颗粒的介电常数对温度的敏感响应特性，通过温控装置调节温度，实现不同频段的电磁波相位的控制。本发明对于电磁波相位的控制、波源位置的伪装具有重要意义，能够在电磁波控制领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN103944456A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410149087.9
申请日：2014-04-14
Applicant: 清华大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提出一种马达，包括：轴承；转子，被构造为与轴承相适配的桶状，转子可旋转地套设在轴承内且转子沿所述轴承的轴向可上下移动；旋转磁芯组件，围绕所述轴承设置且与轴承间隔开，用于为转子提供扭矩以使转子在轴承内旋转；悬浮磁芯组件，位于轴承的下方且与轴承同轴设置，用于对转子的下表面提供推力以使转子悬浮；以及底座，旋转磁芯组件和悬浮磁芯组件固定在底座上。本发明的马达，转子的转速更高、旋转自稳定性好，且控制电路简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519413B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201110452330.0
申请日：2011-12-29
Applicant: 清华大学
IPC: G01B21/08
Abstract: 本发明公开一种用于晶圆台的晶圆膜厚度测量误差补偿的时空变换方法，包括如下步骤：测量系统误差并存入测量数据库；控制系统控制升降气缸升起以接收晶圆，控制电机旋转以检测电机的零位点，根据电机的零位点建立电机极坐标系，控制电机停止并退回至电机的零位点；吸盘对晶圆进行吸附并控制升降气缸下降；控制电机旋转360度以检测晶圆的缺口以及角度值，根据晶圆的缺口定位晶圆极坐标系，将晶圆的缺口处的角度值发送至测量数据库；晶圆测量系统对晶圆进行测量以获得晶圆的初始膜厚值并根据系统误差和晶圆的缺口处的角度值对初始膜厚值进行补偿，获得膜厚修正值。本发明可以实现对测量得到的晶圆的膜厚的误差补偿，得到更为精确的膜厚值。
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公开(公告)号：CN103617960A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310571584.3
申请日：2013-11-13
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/67703 , H01L21/67706
Abstract: 本发明涉及一种脆性薄片的转移装置，属于精密及超精密加工技术领域。包括拉绳、支架和多个运动机构，多个运动机构固定在支架的底座上。运动机构中的导轨通过螺栓与支架底座相对固定，拉绳从支架顶部穿过支架中孔后经滑块上的导线孔固定在滑块上，弹簧置于支架底座与滑块之间，吸附转移面通过胶黏剂固定在滑块的底部其有柱状凸起。本转移装置依靠改变脆性薄片和吸附转移面之间的范德华力作用来实现对脆性薄片的吸附和脱附，减少了对脆性薄片的污染，保证了生产过程的可靠性，而且结构简单，操作方便，适合用于脆性薄片的加工流水线作业。
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公开(公告)号：CN102049733B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201010236186.2
申请日：2010-07-26
Applicant: 清华大学
IPC: B24B49/10
Abstract: 电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内，该电涡流传感器包括线圈、壳体和压紧螺母。多频信号发生器为电涡流传感器提供激励信号；因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元。本发明可克服由振动引起的提离值变化对终点检测的影响，提供准确的终点检测；同时电涡流传感器安装拆卸方便，且可解决因电涡流传感器的安装间隙所引起的抛光液的渗漏问题。
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公开(公告)号：CN101459270B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200810239814.5
申请日：2008-12-12
Applicant: 清华大学
IPC: H01P3/20
Abstract: 可调谐全介质多频段各向同性零折射平板透镜及其制备方法，该透镜由一种非金属、非磁性的介质颗粒周期性排列或随机排列成阵列并固化在另一种远小于其介电常数的环氧树脂基体中而形成的全介质复合材料平板以及温控装置组成。该透镜能同时实现在某频段有效介电常数为零，而在某频段有效磁导率为零，从而实现了零折射效应，并且具有各向同性的电磁响应特性。利用颗粒介电常数对温度的敏感响应特性来实现温度可调控零折射效应。该透镜能使位于其中的电磁波源在界面处发生零折射，从而使得出射电磁波变为平行光，改善了光源的方向性，能够广泛的应用于电磁波通讯领域。
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公开(公告)号：CN100507440C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200610080833.9
申请日：2006-05-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了属于光学测量技术领域的一种测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法。包括横向塞曼双频激光器、依次放置在激光器发射端轴线上的低反射分光分束器、半反射分光分束器和全反射镜构成的分束角可调机构、渥拉斯顿偏振分光棱镜，大口径长焦距透镜，放置在透镜后焦面上的硬盘磁头结构；还包括分别放置在两路干涉测量光和参考光返回合束光方向的全反射镜、检偏器、带检偏器探测器。本发明提高测量精度、分辨率以及采样频率，改进补偿硬盘盘片稳态位置变化引入的阿贝误差，满足硬盘磁头的模拟飞行高度测量研究，并适合在生产线检测硬盘磁头的飞行姿态。具有低成本，广泛应用于硬盘工业检测、微机械器件振动检测等领域。
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