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公开(公告)号：CN111122021B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201911398996.5
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性复合薄膜的制备方法，包括：在第一柔性薄膜的一表面上形成含铁电材料的前驱体层；然后采用激光对该表面进行辐照，使得该表面形成复合结构，复合结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒；然后将至少部分复合结构转移至第二柔性薄膜的一表面，以在第二柔性薄膜的一表面形成功能层，得到柔性复合薄膜。本发明还提供制备方法得到的柔性复合薄膜，以及柔性压力传感器及其制备方法。本发明的柔性复合薄膜灵敏度高、柔性好。
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公开(公告)号：CN116313367A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202111576517.1
申请日：2021-12-21
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请的压力传感器结构包括磁性柱状体、第一导电线圈层与第二导电线圈层；第一导电线圈层设置在磁性柱状体的高度方向上的一侧，第二导电线圈层设置在磁性柱状体的高度方向上的另一侧，磁性柱状体具有柔性。本申请的压力传感器结构的制备方法：提供一磁性柱状体、第一导电线圈层和第二导电线圈层，磁性柱状体具有柔性；将第一导电线圈层组装至磁性柱状体的高度方向上的一侧，将第二导电线圈层组装至磁性柱状体的高度方向上的另一侧，得到压力传感器结构。本申请的磁性柱状体设置在第一导电线圈层与第二导电线圈层之间，外部压力作用改变磁性柱状体的伸缩状态时，磁性柱状体产生的磁场强度变化，使导电线圈层产生感应电流，实现了自供电压力感应。
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公开(公告)号：CN111883556B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202010671257.5
申请日：2020-07-13
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性触觉传感器及其制备方法，柔性触觉传感器包括第一柔性基板、第二柔性基板以及在第一柔性基板、第二柔性基板之间呈阵列分布的多个柔性传感单元，柔性传感单元包括栅极、微结构栅介电层及源漏极结构，栅极设置在第一柔性基板上，源漏极结构设置在第二柔性基板上并与栅极一一对应，微结构栅介电层设置在第一柔性基板与第二柔性基板之间并与栅极一一对应。柔性触觉传感器的制备方法，包括将第一柔性基板的栅极阵列、第二柔性基板的源漏极结构阵列组装在整面状的微结构栅介电层的两侧，组装过程中，对整面状的微结构栅介电层进行阵列化。本申请的柔性触觉传感器及其制备方法，可以提高传感器的空间分辨率和灵敏度。
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公开(公告)号：CN112254747A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011044691.7
申请日：2020-09-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法，柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板，第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性，第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列，第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列，第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构阵列的微结构间隙均设有介电层，第一微结构阵列与第二微结构阵列相向设置且微结构之间相互错位，以在微结构阵列之间形成微结构与微结构间隙配合的结构。外部压力导致微结构形变时，介电层处的电容信号发生变化以进行触觉反馈；外部剪切力使两个柔性基板的微结构之间的接触面积发生变化时，电阻信号变化以进行滑觉反馈，从而可以同时检测滑触觉，结构简单且更加精准。
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公开(公告)号：CN111883556A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010671257.5
申请日：2020-07-13
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性触觉传感器及其制备方法，柔性触觉传感器包括第一柔性基板、第二柔性基板以及在第一柔性基板、第二柔性基板之间呈阵列分布的多个柔性传感单元，柔性传感单元包括栅极、微结构栅介电层及源漏极结构，栅极设置在第一柔性基板上，源漏极结构设置在第二柔性基板上并与栅极一一对应，微结构栅介电层设置在第一柔性基板与第二柔性基板之间并与栅极一一对应。柔性触觉传感器的制备方法，包括将第一柔性基板的栅极阵列、第二柔性基板的源漏极结构阵列组装在整面状的微结构栅介电层的两侧，组装过程中，对整面状的微结构栅介电层进行阵列化。本申请的柔性触觉传感器及其制备方法，可以提高传感器的空间分辨率和灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111053536A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201911346878.X
申请日：2019-12-24
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/00
Abstract: 本发明涉及脑成像领域，特别是涉及脑成像检测装置。该脑成像检测装置，包括头套、多个探测器多个近红外光源，所述头套的内侧的表面沿着所述头套的厚度方向凸出设有多个接触部，所述探测器及所述近红外光源设于所述接触部的顶部。本发明的优点在于：所述接触部能够拨开人体头部的头发，以使所述探测器及所述近红外光源能够与头皮接触，从而使得探测器能够准确地检测到大脑内的信息，本发明的零部件少，结构简单。
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公开(公告)号：CN111024273A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911382428.6
申请日：2019-12-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种具有温度稳定性的压力传感器及其制备方法，压力传感器包括第一电极、第二电极与聚合物介电层，第一电极与第二电极分别位于聚合物介电层的两个相对表面，聚合物介电层中分散有介电常数温度系数为负值的介电改性物。本申请在聚合物介电层加入介电常数温度系数为负值的介电改性物，从而通过调控介电层的介电常数对温度的变化，以补偿温度变化对介电层厚度和电极面积的影响，获得温度稳定的电容式压力传感器。
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公开(公告)号：CN111110194B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201911397376.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/00 , A61B5/1455
Abstract: 本申请实施例提供了一种脑成像检测装置。其中，脑成像检测装置能够佩戴至人体的头部；脑成像检测装置包括基体、发光单元以及探测单元，发光单元与探测单元均设置于基体的内侧；其中，脑成像检测装置还包括第一电致动罩和第二电致动罩，第一电致动罩设置于发光单元的表面，第二电致动罩设置于探测单元的表面；第一电致动罩和第二电致动罩分别包括相互围设的多个电致动薄膜，多个电致动薄膜能够在通电后绽开，以在发光单元和探测单元的表面形成光路。通过本申请，简化了脑成像检测装置的检测结构，解决了脑成像检测装置的检测结构复杂的问题。
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公开(公告)号：CN111044207B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201911398344.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器，包括介质层和设于介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层，其中，介质层包括基体层和分布于基体层中的复合压电颗粒，复合压电颗粒包括无机压电颗粒以及包覆于无机压电颗粒表面的多巴胺层。本发明的柔性压力传感器的灵敏度高，可靠性好。本发明还提供压力传感器的制备方法。
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公开(公告)号：CN111024296B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201911403189.8
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器及其制备方法，所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层，其中，所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道，所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入，所述孔道的孔壁还附着有压电薄膜层。本发明压力传感器通过孔洞和压电薄膜层的结合，使得检测灵敏度更高。同时，本发明还提供压力传感器的制备方法，该制备方法简单，适合工业化生产。
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